参数1. 30kW射频电源MF4-40100一台；2. 柱形溅射阴极RSC-ID80-L1200共10套，各含冷却水及磁控；3. 货期要求两个月以内。 质保及售后服务按行业标准提供服务 信息来自：https://www.easyjcx.com/?#/purchase/detail/e1c4e12f- 查看详情>>
300 W的等离子射频电源，一个炉管直径为50 mm的开启式管式炉（带有真空法兰和连接管道）和机械泵组成。 2.管式炉输入电源：208–240 V AC，功率：1.2 kW。 3.最高工作温度1200℃，小于60分钟；连续工作温度1100℃。 4.炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维，内炉膛表面涂有美 查看详情>>
服务 5 射频电源模块 2/台 Soft-Hertz DPCX_PM 1、24V输入，提供射频20V,5V和3.3V供电， 2、同步整流，效率>85%，总功率100瓦 3、具有短路保护和过流保护功能 按行业标准提供服务 6 射频控制模块 2/台 Soft-Hert 查看详情>>
起化学反应的气体，射频电源将反应气体电离产生等离子体，基底被浸渍于高反应活性的等离子体中，基底表面未被掩蔽的部分与气体离子进行反应，反应产物呈气态排出腔室，从而实现材料刻蚀； 2） 该设备主要用于硅快速刻蚀及其他硅基材料的刻蚀，在衬底上形成高深宽比（如Aspect Ratio100以上）的图案结构微 查看详情>>
起化学反应的气体，射频电源将反应气体电离产生等离子体，基底被浸渍于高反应活性的等离子体中，基底表面未被掩蔽的部分与气体离子进行反应，反应产物呈气态排出腔室，从而实现材料刻蚀； 2） 该设备主要用于硅快速刻蚀及其他硅基材料的刻蚀，在衬底上形成高深宽比（如Aspect Ratio100以上）的图案结构微 查看详情>>
0826申购主题:射频电源组采购单位:宁波大学报价要求:发票类型:增值税专用发票币种:人民币预算:签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同送货时间:发布竞价结果后7天内送达安装要求:免费上门安装（含材料费）收货地址:浙江省/宁波市/镇海区/****付款方式:货到验收合格后付款备注说明:申购人姓名：Di 查看详情>>
术有限公司采购项：射频电源 品牌：热刺 型号：DC6000 质保及售后服务：按行业标准提供服务 成交总价：5000.00 成交供应商：浙江热刺激光技术有限公司,浙江 查看详情>>
干法刻蚀设备项目所在采购意向：浙江大学2022年12月政府采购意向采购单位：浙江大学采购项目名称：干 查看详情>>
内容数量预算单价2射频电源1.0品牌热刺型号DC6000规格参数输出功率峰值：3KW脉冲宽度范围：0-520μs频率：1-100kHz占空比：4-52％直流输入：50V／-1V质保及售后服务按行业标准提供服务信息来自：https://www.easyjcx.com/?#/purchase/detai 查看详情>>
的13.56MHz射频电源；反应压力从500mTorr～3Torr可控；3）热台衬底加热温度从100度到350度可调；4）在8英寸（200mm直径) 衬底内，沉积氮化硅和氧化硅薄膜片内均匀性<3%, 每次沉积之间的均匀性<3%；薄膜633nm折射率从1.465~3.00可调，薄膜应力从压 查看详情>>
保护; *600W射频电源1套,13.56MHZ,自动匹配。500W直流电源1套,可实现2只靶同时共溅射功能。提供安装、培训、调试、验收、质保期保障等全套服务预计采购时间：2022-11备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。,浙江 查看详情>>
参数功率：200W射频电源：13.56MHz配全自动电源匹配器腔体尺寸：直径 150mm×270mm 容量 5L （不锈钢腔体）外形尺寸：650mmx550mmx600mm供电电源：AC220V真空度：1-30Pa（压力表量化值显示）气体路数：双路气体输入气体流量：10—100ml/min(浮子流量 查看详情>>
5招标范围：半导体射频电源一体化校准系统招标机构：中电商务（北京）有限公司招标人：杭州积海半导体有限公司开标时间：2022-08-19 10:00公示时间：2022-08-19 20:22 - 2022-08-22 23:59中标结果公告时间：2022-08-23 15:34中标人：上海知昊电子科技 查看详情>>
5招标范围：半导体射频电源一体化校准系统招标机构：中电商务（北京）有限公司招标人：杭州积海半导体有限公司开标时间：2022-08-19 10:00公示开始时间：2022-08-19 20:22评标公示截止时间：2022-08-22 23:59中标候选人名单：候选人排名投标商名称制造商制造商国别及地区 查看详情>>
01/75 半导体射频电源一体化校准系统 1包 要求设备结构设计合理，采用先进成熟技术，保证系统具有良好的动态品质，在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高，可靠性好，响应速度快。设备使用、操作、维修方便，造型美观，结构紧凑，整机运行稳定可靠，售后服务优良。3、投标人资格要求投标人应 查看详情>>
01/75 半导体射频电源一体化校准系统 1包 要求设备结构设计合理，采用先进成熟技术，保证系统具有良好的动态品质，在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高，可靠性好，响应速度快。设备使用、操作、维修方便，造型美观，结构紧凑，整机运行稳定可靠，售后服务优良。3、投标人资格要求投标人应 查看详情>>
01/75 半导体射频电源一体化校准系统 1包 要求设备结构设计合理，采用先进成熟技术，保证系统具有良好的动态品质，在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高，可靠性好，响应速度快。设备使用、操作、维修方便，造型美观，结构紧凑，整机运行稳定可靠，售后服务优良。3、投标人资格要求投标人应 查看详情>>
01/75 半导体射频电源一体化校准系统 1包 要求设备结构设计合理，采用先进成熟技术，保证系统具有良好的动态品质，在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高，可靠性好，响应速度快。设备使用、操作、维修方便，造型美观，结构紧凑，整机运行稳定可靠，售后服务优良。3、投标人资格要求投标人应 查看详情>>
01/75 半导体射频电源一体化校准系统 1包 要求设备结构设计合理，采用先进成熟技术，保证系统具有良好的动态品质，在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高，可靠性好，响应速度快。设备使用、操作、维修方便，造型美观，结构紧凑，整机运行稳定可靠，售后服务优良。3、投标人资格要求投标人应 查看详情>>
01/75 半导体射频电源一体化校准系统 1包 要求设备结构设计合理，采用先进成熟技术，保证系统具有良好的动态品质，在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高，可靠性好，响应速度快。设备使用、操作、维修方便，造型美观，结构紧凑，整机运行稳定可靠，售后服务优良。3、投标人资格要求投标人应 查看详情>>
0080申购主题：射频电源采购单位：宁波大学竞价开始时间：2022-03-24竞价截至时间：2022-03-29币种：人民币成交总额：19,900.00送货时间：发布竞价结果后7天内送达安装要求：免费上门安装（含材料费）收货地址：付款方式：货到验收合格后付款备注说明：质疑说明：采购结果:采购项：射频 查看详情>>
0080申购主题:射频电源采购单位:宁波大学报价要求:发票类型:增值税专用发票币种:人民币预算:签约时间:送货时间:发布竞价结果后7天内送达安装要求:免费上门安装（含材料费）收货地址:浙江省/宁波市/江北区/****付款方式:货到验收合格后付款备注说明:周东东*/丁力申购明细：序 查看详情>>
0080申购主题：射频电源采购单位：宁波大学报价要求：国产含税发票类型：增值税专用发票币种：人民币签约时间：送货时间：发布竞价结果后7天内送达安装要求：免费上门安装（含材料费）收货地址：浙江省/宁波市/江北区我要报价付款方式：货到验收合格后付款备注说明：申购明细：序号1采购内容射频电源数量1台预算单 查看详情>>
513规格参数脉冲射频电源功率750W。送货上门，谢绝快递质保及售后服务按行业标准提供服务信息来自：https://www.easyjcx.com/?#/purchase/detail/ae50e3fa-65fe-4233-99f9-afae574e2515,宁波 查看详情>>
3 规格参数 脉冲射频电源功率750W。送货上门，谢绝快递 质保及售后服务 按行业标准提供服务 附件 严正声明：未经本平台授权，严禁以任何形式转载或使用本平台数据，一经发现，依法追究法律责任。 查看详情>>
阴极兼容直流电源和射频电源输入。溅射电源：1） 进口500W直流溅射电源，可以切换使用2） 进口300W射频电源，带自动匹配器。不可以切换使用。气路系统：1）配置两路工艺气体，1路Ar，1路O2，采用气体流量计控制。带混气室。2）Ar流量200sccm，O2流量100sccm，四、样品台1）可装载最 查看详情>>
3000W LRF射频电源及其附件（match、RF cable））2套7.合同履行期限：合同签订后90日内8.本项目不接受联合体。二、申请人的资格要求1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定，截止响应文件提交截止时间未被“信用中国”（www.creditchina.gov.cn）、“中国 查看详情>>
电源2台，500W射频电源1台（带自动匹配器）。3.配置2路工艺气体，一路Ar，一路O2，采用气体流量计控制，带混气室，Ar流量200sccm，O2流量100sccm。4.配置霍尔离子源用来基片清洗。？样品台：1.可装载最大6英寸样品（样品盘直径150mm，方片尺寸100*100mm）2.样品台旋转 查看详情>>
阴极兼容直流电源和射频电源输入。溅射电源：1）进口500W直流溅射电源，可以切换使用2）进口300W射频电源，带自动匹配器。不可以切换使用。气路系统：1）配置两路工艺气体，1路Ar，1路O2，采用气体流量计控制。带混气室。2）Ar流量200sccm，O2流量100sccm，四、样品台1）可装载最大6 查看详情>>
3000W LRF射频电源及其附件（match RF cable）2套。7.合同履行期限：合同签订后90日内8.本项目不接受联合体。二、申请人的资格要求1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定，截止响应文件提交截止时间未被“信用中国”（www.creditchina.gov.cn）、“中国 查看详情>>
≥3个。 射频电源：使用射频13.56MHZ 系统，功率不低于150W的RF电源，带有自动匹配电路，用于沉积绝缘体薄膜或者金属薄膜。 直流电源：功率不低于850W。通过溅射转换模块可分别控制任一磁控溅射靶，用于快速沉积金属薄膜。 共溅射模块：可实现两个磁控溅射靶共同沉积，同时 查看详情>>
）； 500wRF射频电源1台(数字式自动匹配) -1000V脉冲偏压电源1台(恒压源、占空比可调、频率4K，开关管采用进口IGBT) 6. 真空测量采用进口全量程规进行测量。 7. 系统配有三路MFC控制进气系统（Ar、O2、N2）配有混气罐一套。 8. 系统采用PLC+触摸屏控制，具有多种可选镀 查看详情>>
换使用2）500W射频电源1台，带耐腐蚀性泵3) 3个溅射靶材，一个蒸发源，自带蒸发电源售后服务服务网点:当地;电话支持:7x24小时;服务年限:2;服务时限:报修后2小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;信息来源：https://www.yuncaitong.cn/publis 查看详情>>
换使用2）500W射频电源1台，带耐腐蚀性泵3) 3个溅射靶材，一个蒸发源，自带蒸发电源售后服务服务网点:当地;电话支持:7x24小时;服务年限:2;服务时限:报修后2小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;报价地址：https://www.yuncaitong.cn/publis 查看详情>>
A(不含真空泵)*射频电源功率： 0-300W*射频频率： 40KHz （偏移量小于0.2KHz）*频率偏移量： 小于0.2KHz*特性阻抗： 50欧姆，自动匹配*真空度： 10Pa—1000Pa*气体流量： 10—160ml/min(可调)*过程控制： MCU自动与手动方式清洗时间： 1-9999 查看详情>>
8.11 600W射频电源：2套 9、自动冷却水循环机 1台套1/637900.00640000付款方式、售后服务、违约责任详见合同附件。服务要求或标的基本概况：/七、 其它事项：八、 联系方式1、采购代理机构名称：浙江中磊工程咨询有限公司联系人：袁斐联系电话：* 传真：/地址： 查看详情>>
超真空40KF 射频电源: 13.56MHZ PLC系统： 三菱 电器系统： 施耐德 控制系统： 触控 处理气体: O2、Ar2、N2，H2、CF4 输出功率： 0-300W可调质保及售后服务 按行业标准提供服务 查看详情>>
超真空40KF 射频电源: 13.56MHZ PLC系统： 三菱 电器系统： 施耐德 控制系统： 触控 处理气体: O2、Ar2、N2，H2、CF4 输出功率： 0-300W可调质保及售后服务 按行业标准提供服务 查看详情>>
仪 超真空40KF射频电源:13.56MHZPLC系统：三菱电器系统：施耐德控制系统：触控处理气体:O2、Ar2、N2，H2、CF4输出功率：0-300W可调质保及售后服务按行业标准提供服务报名地址：https://www.easyjcx.com/#/purchase/detail/e478679a 查看详情>>
