直流电源和500W射频电源，具有硬件互锁保护功能。二、资格要求（一）必须符合《政府采购法》第二十二条规定的条件：1、具有独立承担民事责任的能力。2、具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度。3、具有履行合同所必需的设备和专业技术能力。4、有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录。5、法律、行政法规规定的 查看详情>>
3英寸靶枪；带1套射频电源和2套直流电源，沉积均匀性：±2.5% @100mm基片 800 2023年09月 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 华中科技大学采购与招标中心 2023年07月24日 查看详情>>
直流脉冲电源和１台射频电源；辅助沉积配1台12KW偏压电源和1套低能量阳极层离子源L500mm；6. ★自动恒压控制系统：薄膜规+电机驱动控制阀+控制软件闭环自动控制；保持镀膜时工艺压力稳定；7.工艺气体：4路高精度质量流量控制器，分别控制工艺气体Ar/N2/CH4/O2；8.水冷系统：配制冷量大于 查看详情>>
000 6 射频电源 500W 吉兆源/北京 1 32000 32000 7 自动恒压模块 定制 泰科诺/北京 1 34500 34500 华中科技大学武汉光电国家研究中心 2023年06月30日 查看详情>>
枪度数可调；5) 射频电源1套，直流电源2套。(三)采购标的数量:1套(四)采购标的需满足的质量、服务、安全、时限等要求:1）货物收到后，由户指定地点和时间进行安装；2）在用户所在地对用户进行现场的操作/维护培训，直至掌握。培训内容包括仪器的技术原理、仪器操作、数据处理、仪器基本维护等。仪器交货后一 查看详情>>
998099806射频电源Fingu 1306凡谷电子/武汉*华中科技大学物理学院2023年01月11日 查看详情>>
验收合格后1年6射频电源1220VAC±20%，3线，带地线（PE），频率范围，47Hz～53Hz；输入电流，5.3A@230VAC；输出频率，13.56MHz±50ppm；最大功率：600W；冷却类型，风冷。质保期： 验收合格后1年四、采购文件获取与项目联系人约定。五、响应文件递交按采购人规定的 查看详情>>
频电源2.成交供应商名称：苏州中科科仪技术发展有限公司3.成交供应商地址：苏州市高新区昆仑山路189号3号厂房一楼邮编：2150004.成交金额(币种)：(人民币)6.300万元5.付款方式：合同签订后且货到验收合格后付合同金额100%。6.主要成交标的：序号（货物）名称型号制造商和产地数量单价(元 查看详情>>
2 258 射频电源 HLJGGG20221117211 军工公告-中标公告 公开 2022/11/22 259 高精度运动平台 HLJGGG20221117220 军工公告-中标公告 公开 2022/11/22 260 国产化替代浆料 HLJGGG2022 查看详情>>
于 1.2A 4.射频电源功率:1-600W无极可调 5.射频频率:等离子体电源TONSON自匹配系统 6.气体流量:50-200ML两路气体可调，并配有气体减压阀装置 7.气体路数:两路质量流量控制系统，支持氧气，氩气，氮气，氢气、空气等 8.过程控制:自动与手动两种操作模式，真空泵、截止阀、充气 查看详情>>
冷却。3.4ICP射频电源：频率约40MHz，最大功率1300W。4、离子过滤系统4.1 离子提取接口：采用三锥接口设计。采样锥的锥孔孔径为1.1mm，吸入检测气体的流速约1.2 ml/sec，截取锥孔径为1.0 mm，超截取锥孔径为1.2 mm。4.2 离子传输系统：使用四极杆离子偏转器将待分析离 查看详情>>
。 3.4 ICP射频电源：频率约40MHz，最大功率1300W。 4、离子过滤系统 4.1 离子提取接口：采用三锥接口设计。采样锥的锥孔孔径为1.1mm，吸入检测气体的流速约1.2 ml/sec，截取锥孔径为1.0 mm，超截取锥孔径为1.2 mm。 4.2 离子传输系统：使用四极杆离子偏转器将待 查看详情>>
于 1.2A 4.射频电源功率:1-600W无极可调 5.射频频率:等离子体电源TONSON自匹配系统 6.气体流量:50-200ML两路气体可调，并配有气体减压阀装置 7.气体路数:两路质量流量控制系统，支持氧气，氩气，氮气，氢气、空气等 8.过程控制:自动与手动两种操作模式，真空泵、截止阀、充气 查看详情>>
：验收合格后1年4射频电源1电压范围，220VAC±20%（176VAC～264VAC）,3线，带地线（PE）；频率范围，47Hz～53Hz；输入电流，5.3A@230VAC；输出频率，13.56MHz±50ppm；最大功率，600W；冷却类型，风冷。质保期：验收合格后1年5真空泵11） 分子泵：连 查看详情>>
13.56MHz)射频电源面议(台)面议其他电源----收货地：湖北 武汉采购类型：全新发票要求：不需要发票报价地址：报价地址 查看详情>>
控靶枪、直流电源及射频电源采购2.成交供应商名称：武汉普迪真空科技有限公司3.成交供应商地址：武汉市江夏区庙山大道九号东湖高新产业创新基地18号楼101-201室4.成交金额(人民币)：6.95万元5.付款方式：货到并安装调试验收合格后10个工作日内支付至合同总金额的100%，计69500元。6.主 查看详情>>
.11、500 W射频电源：1套（配自动匹配器）；8.12、500 W直流电源：1套；9、控制系统配备触摸屏自动控制，可实现全自动镀膜，提供ITO、AZO、氧化镍、氮化钛镀膜工艺； 查看详情>>
频电源2.成交供应商名称：苏州苏信科机电设备贸易有限公司3.成交供应商地址：苏州工业园区娄门路237号C座105室4.成交金额(币种)：(人民币)19.800万元5.付款方式：合同签订后15个工作日之内预付合同金额的30%，货到验收合格后付合同金额70%。6.主要成交标的：序号（货物）名称型号制造商 查看详情>>
标题分谈-717-射频电源-Z场次号XJ022040600183询价开始时间2022-04-06 10:35:25.0询价结束时间2022-04-11 12:00:25.0参与方式非定向询价出价方式多次性出价发布单位中国船舶重工集团有限公司第七一七研究所最终用户中国船舶重工集团有限公司第七一七研究所 查看详情>>
直流脉冲电源和１台射频电源；辅助沉积配1台12KW偏压电源和1套低能量阳极层离子源L500mm；6. ★自动恒压控制系统：薄膜规+电机驱动控制阀+控制软件闭环自动控制；保持镀膜时工艺压力稳定；7.工艺气体：4路高精度质量流量控制器，分别控制工艺气体Ar/N2/CH4/O2；8.水冷系统：配制冷量大于 查看详情>>
等离子体质谱仪水冷射频电源 试验室设备配件;型号规格：编号9600470004 1set2021-09-30 C5198925脉冲放电气相色谱仪(高纯稀有气体)备件保养包 色谱仪;型号规格:Valve for high purity CO2 packed column 订货号:KNV-CMC1670 查看详情>>
等离子体质谱仪水冷射频电源试验室设备配件;型号规格：编号96004700041set2021-09-30C5198925脉冲放电气相色谱仪(高纯稀有气体)备件保养包色谱仪;型号规格:Valve for high purity CO2 packed column 订货号:KNV-CMC16701set 查看详情>>
1套，下电极1套；射频电源及匹配器1套，频率13.56MHz，选配400kHz低频射频电源，反应气路及质量流量计，真空检测系统1套，电气控制系统 1套，控制软件 1套，选配loadlock自动传输系统。2022年4月到货，现场调试时间不小于两周，验收完成以后保修期3年。1952021年10月6国家集 查看详情>>
等离子体质谱仪水冷射频电源试验室设备配件;型号规格：编号96004700041set2021-09-30C5198925脉冲放电气相色谱仪(高纯稀有气体)备件保养包色谱仪;型号规格:Valve for high purity CO2 packed column 订货号:KNV-CMC16701set 查看详情>>
等离子体质谱仪水冷射频电源试验室设备配件;型号规格：编号96004700041set2021-09-30C5198925脉冲放电气相色谱仪(高纯稀有气体)备件保养包色谱仪;型号规格:Valve for high purity CO2 packed column 订货号:KNV-CMC16701set 查看详情>>
等离子体质谱仪水冷射频电源 试验室设备配件;型号规格：编号9600470004 1set2021-09-30 C5198925脉冲放电气相色谱仪(高纯稀有气体)备件保养包 色谱仪;型号规格:Valve for high purity CO2 packed column 订货号:KNV-CMC1670 查看详情>>
1套，下电极1套；射频电源及匹配器1套，频率13.56MHz，选配400kHz低频射频电源，反应气路及质量流量计，真空检测系统1套，电气控制系统 1套，控制软件 1套，选配loadlock自动传输系统。2022年3月到货，现场调试时间不小于两周，验收完成以后保修期3年。预计采购时间：2021-08备 查看详情>>
1套，下电极1套；射频电源及匹配器1套，频率13.56MHz，选配400kHz低频射频电源，反应气路及质量流量计，真空检测系统1套，电气控制系统 1套，控制软件 1套，选配loadlock自动传输系统。2022年3月到货，现场调试时间不小于两周，验收完成以后保修期3年。1952021年08月11多靶 查看详情>>
项目引进和购置包括射频电源、元器件等相关生产线设备100台套及大数据分析系统1套，并实施相应的厂房改造，建设凡谷电子全连接生产线。项目完成后，将形成全连接生产线1条，达到年产5G射频器件产品100万台/套，年产值5亿元。 查看详情>>
直流脉冲电源，2台射频电源；采用磁控靶从上向下溅射镀膜；5、样品台可旋转可加热，加热室温～500±1℃，可控可调，旋转0～30转/分钟，可控可调；配-1000V偏压装置及偏压电源；6、配备3路气体，工艺压强自动恒压控制；7、电气控制采用PLC+人机界面半自动控制系统；8、设备质保2年，电话报修后24 查看详情>>
直流脉冲电源，1台射频电源；采用磁控靶从下向上溅射镀膜；5、样品台可旋转可加热，加热室温～500±1℃，可控可调；旋转0～30转/分钟，可控可调；基片台配有-1000V偏压装置及偏压电源；6、配备3路气体，工艺压强自动恒压控制；7、电气控制采用PLC+人机界面半自动控制系统；8、设备质保2年，电话报 查看详情>>
直流脉冲电源，1台射频电源；采用磁控靶从下向上溅射镀膜；5、样品台可旋转可加热，加热室温～500±1℃，可控可调；旋转0～30转/分钟，可控可调；基片台配有-1000V偏压装置及偏压电源；6、配备3路气体，工艺压强自动恒压控制；7、电气控制采用PLC+人机界面半自动控制系统；8、设备质保2年，电话报 查看详情>>
），兼容直流电源和射频电源；1.8 至少3台溅射电源：500W直流溅射电源和500W全自动匹配射频电源；多弧溅射源：Φ80mm；1.9 偏压清洗系统:0-1000V1.10 控制方式：PLC+触摸屏智能控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障自检、保养维护提示等功能；1.11 具备单层膜溅射，复合膜溅 查看详情>>
备不小于600W的射频电源和不小于500W的直流电源7、样品台最大加热温度不低于300度，支持样品台旋转。售后服务：2年免费保修，电话报修后24小时内给出解决方案。1992021年04月4掩模对准光刻机YX202000142A032103电子工业专用生产设备数量一台，接受进口设备。技术指标：1. 能 查看详情>>
备不小于600W的射频电源和不小于500W的直流电源7、样品台最大加热温度不低于300度，支持样品台旋转。售后服务：2年免费保修，电话报修后24小时内给出解决方案。预计采购时间：2021-04备注：本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 查看详情>>
频电源2.成交供应商名称：北京喜智美科技有限公司3.成交供应商地址：北京市昌平区建材城西路87号院8号楼11层1-12014.成交金额(币种)：(人民币)9.700万元5.主要成交标的：序号（货物）名称型号制造商和产地数量单价(元)小计(元)1射频电源600W美国AE1970009700023华中科 查看详情>>
1等离子清洗机1套射频电源：≤2到≥65瓦的射频电源，具有功率自动匹配功能真空系统：≥80升/秒的分子泵搭配两级隔膜泵合同签订后6个月内保修期为自用户签署最终验收报告之日起三年（本项目所需进口设备已办理进口备案手续）合同履行期限：交货期：合同签订后6个月内质保期：保修期为自用户签署最终验收报告之日起 查看详情>>
1等离子清洗机1套射频电源：≤2到≥65瓦的射频电源，具有功率自动匹配功能真空系统：≥80升/秒的分子泵搭配两级隔膜泵合同签订后6个月内保修期为自用户签署最终验收报告之日起三年（本项目所需进口设备已办理进口备案手续）合同履行期限：交货期：合同签订后6个月内质保期：保修期为自用户签署最终验收报告之日起 查看详情>>
000410004射频电源500W天津中环电炉股份有限公司/中国天津11690016900华中科技大学光学与电子信息学院2020年09月08日 查看详情>>
率4KW；等离子体射频电源：输出功率50-500W最大可调±1%的稳定性，RF频率2-150MHz的±0.005%稳定可调，噪声≤55DB，空气冷却，工作电压AC 220V，输入功率1KW；真空泵和阀门：KF25系列波纹管和精密球阀连接，真空度可达10-3torr，数字真空压力表直观显示数值；质量流 查看详情>>
