控制及显示，1台；射频电源RF500W， 数字化控制及显示，1台；脉冲偏压电源：-1kV， 数字化控制及显示，1台。8.工作气路系统质量流量控制器及量程范围：Ar，100sccm；N2，10sccm；O2，10sccm；9.膜厚不均匀性≤±5%（单靶镀膜，基片台Φ120mm范围内）；10.控制方式P 查看详情>>
电子技术有限公司 射频电源 沃特塞恩 131000.0 成交供应商为最低报价的供应商 感谢各供应商对本采购项目的积极参与。 近代物理所资产财务处 0931-4969996 0931-4969256 ,成都,0931- 查看详情>>
.4 配有2台进口射频电源，功率不小于300 W、13.56 MHz、可自动调谐；5 气路系统5.1 配有3个工艺气路，可通氧气、氩气、氮气。配备进口质量流量计3套（流量0-50 SCCM）；5.2 配有1个放气用的氮气气路；5.3 每个气路均配有气动阀门；★5.4将闸板阀关闭到预定位置，流量计自动 查看详情>>
西南物理研究院 -射频电源及匹配器-询价采购公告 一、项目概况 项目名称：射频电源及匹配器 项目编号：XWY0-WZ-GKXJ-23-0425 交货/服务时间：详见文件 交货/服务地点：成都市 供货范围：详见文件 质量要求：详见文件 二、供应商资格要求: 1、基本资格条件 查看详情>>
西南物理研究院 -射频电源及匹配器-询价采购公告 一、项目概况 项目名称：射频电源及匹配器 项目编号：XWY0-WZ-GKXJ-23-0417 交货/服务时间：详见文件 交货/服务地点：成都市 供货范围：详见文件 质量要求：详见文件 二、供应商资格要求: 1、基本资格条件 查看详情>>
功率＞0.5kW的射频电源的供货业绩，提供附带技术指标的合同复印件，合同内容应能体现甲乙双方盖章页、合同签订时间、标的物名称等主要内容。未按上述要求提供的业绩证明均不予认可。 （3）财务要求：供应商应具有健全的财务制度，供应商为企业单位的提供2019年至2021年或2020年至2022年经会计师事务 查看详情>>
功率＞0.5kW的射频电源的供货业绩，提供附带技术指标的合同复印件，合同内容应能体现甲乙双方盖章页、合同签订时间、标的物名称等主要内容。未按上述要求提供的业绩证明均不予认可。 （3）财务要求：供应商应具有健全的财务制度，供应商为企业单位的提供2019年至2021年或2020年至2022年经会计师事务 查看详情>>
订的功率≥1kW的射频电源的供货业绩，提供附带技术指标的合同复印件，合同内容应能体现甲乙双方盖章页、合同签订时间、标的物名称等主要内容。未按上述要求提供的业绩证明均不予认可。 （3）财务要求：供应商应具有健全的财务制度，供应商为企业单位的提供2019年至2021年或2020年至2022年经会计师事务 查看详情>>
200Lmm3、*射频电源功率：160W4、*射频频率：13.56MHz5、频率偏移量：小于0.2KHz6、等离子体轰击：从四周向中间7、*腔体内温度：＜32℃ @1800秒8、清洗时间：0- 1800S 可调9、*功率调节：高中低三档可调10、显示屏：4.3英寸触摸屏11、*操作控制：提供中英文操 查看详情>>
0kW/2Mhz 射频电源采购-结果公告 (招标编号：ZKX20230823C035) 本80kW/2Mhz 射频电源采购（招标项目编号：ZKX20230823C035），确定001 第1包：的中标人如下： 一、中标人信息： 001第1包 中标人 中标价格 陕西如意 查看详情>>
0kW/2Mhz 射频电源采购-竞争性谈判采购公告(招标编号：ZKX20230823C035)招标项目所在地区：四川省成都市一招标条件本80kW/2Mhz 射频电源采购招标项目编号：ZKX20230823C035，已由项目审批/核准/备案机关批准，项目资金来源为/，招标人为核工业西南物理研究院。本项 查看详情>>
0kW/2Mhz 射频电源采购-竞争性谈判采购公告 (招标编号：ZKX20230823C035) 招标项目所在地区：四川省成都市 一、招标条件 本80kW/2Mhz 射频电源采购（招标项目编号：ZKX20230823C035），已由项目审批/核准/备案机关批准，项目资金来源为/，招标人为核工业 查看详情>>
0kW/2MHz 射频电源采购 物项进行采购，现80kW/2MHz 射频电源采购 已具备采购条件，现公开邀请供应商参加竞争性谈判采购活动。1.采购项目简介1.1采购项目名称：80kW/2MHz 射频电源采购 1.2采购单位：核工业西南物理研究院。1.3采购代理机构：中科信工程咨询（北京）有限责任公司 查看详情>>
杰电气股份有限公司射频电源研发测试项目德阳经开区金沙江西路 686 号现有厂区内报告表德环审批〔2022〕371号.pdf2022/11/162四川英杰电气股份有限公司新能源充电桩专业制造及电化学储能业务基地项目位于德阳经开区洪湖路与六盘山路交会处东南角报告表德环审批〔2022〕372号.pdf20 查看详情>>
含薄膜真空计2.7射频电源及自动匹配器：600W2.8质量流量控制器：6台2.9工艺气路：6路，SF6、CHF3、CF4、O2、Ar、N22.10可调距离射频阴极及射频引入器1套2.11自动控制系统1套，包含PLC及模块、工控机、显示器。2.12空气压缩机：1台2.13刻蚀台冷却水机：1台2.14系 查看详情>>
台（15 kW），射频电源2台（5 kW）；配置进口品牌脉冲偏压电源（20 kW）一台；（4）加热烘烤系统：真空室内采用烘烤方式对工件进行加热，加热器温度最高为350℃，温度控制误差≤±1℃；（5）磁控溅射靶枪：数量为4个，垂直安装，靶尺寸为145 mm×846mm，厚度为10mm；控靶设置增强电磁 查看详情>>
杰电气股份有限公司射频电源研发测试项目、四川英杰电气股份有限公司新能源充电桩专业制造及电化学储能业务基地项目作出批复决定。为保证此次审议工作的严肃性和公正性，现将建设项目环境影响报告表的基本情况予以公示。公示期2022年10月19日－2022年10月26日（5个工作日）。电话：0838-251051 查看详情>>
参与说明公示日期1射频电源研发测试项目四川英杰电气股份有限公司四川省德阳市金沙江西路686路成都源起环保技术有限公司2022-10-11环境影响报告书（表）全本（除涉及国家秘密和商业秘密等内容外）2022年10月11日-2022年10月18日2新能源充电桩专业制造及电化学储能业务基地项目四川英杰电气 查看详情>>
镀膜；★（8）配备射频电源数量2台（1KW），参照或相当于美国AE射频电源、日本ULVAC射频电源或同等级射频电源；★（9）直流脉冲溅射电源2台（1000W）；★（10）直流溅射电源2台（1000W）；★（11）脉冲偏压电源数量1台（-1000V，1000W）；（12）配备冷却水机和空压机；★（13 查看详情>>
温度≤37℃。9、射频电源：高转换率手动匹配射频电源一体机，稳定的匹配系统，13.56MHz，功率0~140w连续可调。10、操作界面：7寸全彩人机交互界面。11、诱变时间：0~600s可调，控制精度0.1s。12、样品处理量：10μL（菌液或孢子悬液），自动收集样品载台，可实现6个样品连续处理和自 查看详情>>
概况项目名称：宽带射频电源和匹配系统报名截止：2021年11月21日12点；报价截止：2021年11月21日16点；联系方式：贺老师，（028）82850305；联系地址：四川省成都市西航港黄荆路5号；二、 采购内容及要求大功率射频负离子源的研究过程中，需要一台大功率宽带射频电源及相应的匹配系统。根 查看详情>>
概况项目名称：宽带射频电源和匹配系统报名截止：2021年11月16日12点；报价截止：2021年11月16日16点；联系方式：贺老师，（028）82850305；联系地址：四川省成都市西航港黄荆路5号；二、 采购内容及要求大功率射频负离子源的研究过程中，需要一台大功率宽带射频电源及相应的匹配系统。根 查看详情>>
℃*1套。1.10射频电源及自动匹配器：500W，1套1.11直流电源：1000W，1套，1分2直流自动切换器1台。1.12质量流量控制器：2台1.13工艺气路：3条1.14自动控制系统1套。PLC及模块、工控机、显示器售后服务服务年限:36月;服务网点:当地;电话支持:7x24小时;服务时限:报修 查看详情>>
℃*1套。1.10射频电源及自动匹配器：500W，1套1.11直流电源：1000W，1套，1分2直流自动切换器1台。1.12质量流量控制器：2台1.13工艺气路：3条1.14自动控制系统1套。PLC及模块、工控机、显示器售后服务服务年限:36月;服务网点:当地;电话支持:7x24小时;服务时限:报修 查看详情>>
名称：离子源配件（射频电源、匹配器、中和器）二、项目终止的原因：截止采购文件获取时间，供应商不足三家，本次项目终止，重新开展采购活动。三、其他补充事宜采购方式：询比采购；公告期限：自本公告发出之日起1个工作日。四、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名称：中国工程物理研究院激光 查看详情>>
，拟对离子源配件（射频电源、匹配器、中和器）项目采用询比方式进行采购，特邀请符合本次采购要求的供应商报名参加本项目的询比采购活动。一、采购项目基本情况1.采购项目编号：KY20210804B043；2.采购项目名称：离子源配件（射频电源、匹配器、中和器）；3.预算金额：39万元，报价超过采购预算的响 查看详情>>
，拟对离子源配件（射频电源、匹配器、中和器）项目采用询比方式进行采购，特邀请符合本次采购要求的供应商报名参加本项目的询比采购活动。一、采购项目基本情况1.采购项目编号：KY20210804B043；2.采购项目名称：离子源配件（射频电源、匹配器、中和器）；3.预算金额：39万元，报价超过采购预算的响 查看详情>>
采购项目名称：低频射频电源首次公告日期：2021年7月16日二、更正信息更正事项：?采购公告 □采购文件 □采购结果□合同公告更正内容：获取采购文件时间：2021年7月22日至2021年7月24日更正为：2021年7月22日至2021年7月26日更正日期：2021年7月23日三、其他补充事宜无四、凡 查看详情>>
人）委托，拟对低频射频电源等 项目采用询比方式进行采购，特公告邀请符合本次采购要求的供应商报名参加本项目的采购活动。 一、采购项目基本情况1.项目编号：2021-5-4-0263；2.项目名称：低频射频电源等；3.预算金额：31.00万元；4.最高限价：报价超出采购预算时，是否能够成交，取决于采购人 查看详情>>
人）委托，拟对低频射频电源等 项目采用询比方式进行采购，特公告邀请符合本次采购要求的供应商报名参加本项目的采购活动。 一、采购项目基本情况1.项目编号：2021-5-4-0263；2.项目名称：低频射频电源等；3.预算金额：31.00万元；4.最高限价：报价超出采购预算时，是否能够成交，取决于采购人 查看详情>>
人）委托，拟对低频射频电源等 项目采用询比方式进行采购，特公告邀请符合本次采购要求的供应商报名参加本项目的采购活动。 一、采购项目基本情况1.项目编号：2021-5-4-0263；2.项目名称：低频射频电源等；3.预算金额：31.00万元；4.最高限价：报价超出采购预算时，是否能够成交，取决于采购人 查看详情>>
人）委托，拟对低频射频电源等 项目采用询比方式进行采购，特公告邀请符合本次采购要求的供应商报名参加本项目的采购活动。 一、采购项目基本情况1.项目编号：2021-5-4-0263；2.项目名称：低频射频电源等；3.预算金额：31.00万元；4.最高限价：报价超出采购预算时，是否能够成交，取决于采购人 查看详情>>
人）委托，拟对中频射频电源 项目采用询比方式进行采购，特公告邀请符合本次采购要求的供应商报名参加本项目的采购活动。 一、采购项目基本情况1.项目编号：2021-5-4-0262；2.项目名称：中频射频电源；3.预算金额：45.00万元；4.最高限价：报价超出采购预算时，是否能够成交，取决于采购人采购 查看详情>>
人）委托，拟对中频射频电源 项目采用询比方式进行采购，特公告邀请符合本次采购要求的供应商报名参加本项目的采购活动。 一、采购项目基本情况1.项目编号：2021-5-4-0262；2.项目名称：中频射频电源；3.预算金额：45.00万元；4.最高限价：报价超出采购预算时，是否能够成交，取决于采购人采购 查看详情>>
人）委托，拟对低频射频电源等 项目采用询比方式进行采购，特公告邀请符合本次采购要求的供应商报名参加本项目的采购活动。 一、采购项目基本情况1.项目编号：2021-5-4-0263；2.项目名称：低频射频电源等；3.预算金额：31.00万元；4.最高限价：报价超出采购预算时，是否能够成交，取决于采购人 查看详情>>
人）委托，拟对低频射频电源等 项目采用询比方式进行采购，特公告邀请符合本次采购要求的供应商报名参加本项目的采购活动。 一、采购项目基本情况1.项目编号：2021-5-4-0263；2.项目名称：低频射频电源等；3.预算金额：31.00万元；4.最高限价：报价超出采购预算时，是否能够成交，取决于采购人 查看详情>>
人）委托，拟对中频射频电源 项目采用询比方式进行采购，特公告邀请符合本次采购要求的供应商报名参加本项目的采购活动。 一、采购项目基本情况1.项目编号：2021-5-4-0262；2.项目名称：中频射频电源；3.预算金额：45.00万元；4.最高限价：报价超出采购预算时，是否能够成交，取决于采购人采购 查看详情>>
200Lmm3、*射频电源功率：160W4、*射频频率：13.56MHz5、频率偏移量：小于0.2KHz6、等离子体轰击：从四周向中间7、*腔体内温度：＜32℃ @1800秒8、清洗时间：0- 1800S 可调9、*功率调节：高中低三档可调10、显示屏：4.3寸触摸屏11、*操作控制：提供中英文操作 查看详情>>
购主题：直流电源,射频电源采购单位：西南大学竞价开始时间：2021-03-17竞价截至时间：2021-03-25币种：人民币成交总额：148,900.00送货时间：发布竞价结果后60天内送达安装要求：免费上门安装（含材料费）收货地址付款方式：货到验收合格后付款备注说明：质疑说明：竞价结果:采购项：射 查看详情>>
