00设备主要问题：射频电源电路板损坏验收方式：刻蚀机能正常工作报价地址：https://bs.norincogroup-ebuy.com/,云南 查看详情>>
脉冲溅射电源，1台射频电源，满足各靶可独立/顺次/共同工作； ⑥控制系统：需采用PLC+触摸屏半自动控制，可实现自动一键式抽真空； ⑦ 三路气体控制系统：Ar、N2、O2，配安全气柜； ⑧冷却系统：冷却循环水机1台，≥2P，水压0.2～0.3MPa，水温10～25℃，流量≥30L/min； ⑨小型空 查看详情>>
CP源（上电极）、射频电源、真空系统、预真空室、气路系统、控制系统与软件、配套附件等。该设备通过电感耦合（ICP）方式产生高密度等离子体，在化合物半导体衬底上沉积氧化硅（SiO2）、氮化硅（SiNx）介质薄膜。备注：具体采购产品技术与服务要求详见招标文件第八章“货物需求一览表及技术规格”。招标机构： 查看详情>>
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CP源（上电极）、射频电源、真空系统、预真空室、气路系统、控制系统与软件、配套附件等。该设备通过电感耦合（ICP）方式产生高密度等离子体，在化合物半导体衬底上沉积氧化硅（SiO2）、氮化硅（SiNx）介质薄膜。具体采购产品技术与服务要求详见招标文件第八章“货物需求一览表及技术规格”。2.5交货时间： 查看详情>>
按行业标准提供服务射频电源：1套；离子源：1套；接口法兰：CF63。 无高能电子衍射及高压电源1套北京中科德胜科技有限公司STAIB RHEED 15是按行业标准提供服务能量范围：500ev-15kev；束流：30Ua；光斑大小：70um FWHM at 150mmWD；工作距离：50-500mm； 查看详情>>
按行业标准提供服务射频电源：1套；离子源：1套；接口法兰：CF63。110000.0单项低价北京中科德胜科技有限公司高能电子衍射及高压电源1北京中科德胜科技有限公司STAIB RHEED 15按行业标准提供服务能量范围：500ev-15kev；束流：30Ua；光斑大小：70um FWHM at 15 查看详情>>
频电源场次号XJ0*询价开始时间2018-11-24 17:00:00询价结束时间2018-11-26 17:00:00参与方式非定向询价出价方式一次性出价发布单位昆明物理研究所最终用户昆明物理研究所联系人田立萍联系方式0871-67268618付款方式附件备注2MHz,1000 查看详情>>
频电源场次号XJ0*询价开始时间2018-11-19 16:00:00询价结束时间2018-11-21 16:00:00参与方式非定向询价出价方式一次性出价发布单位昆明物理研究所最终用户昆明物理研究所联系人田立萍联系方式0871-67268618付款方式附件备注2MHz,1000 查看详情>>
频电源场次号XJ0*询价开始时间2018-11-19 16:00:00.0询价结束时间2018-11-21 16:00:00.0参与方式非定向询价出价方式一次性出价发布单位昆明物理研究所最终用户昆明物理研究所联系人田立萍联系方式0871-67268618付款方式附件备注2MHz, 查看详情>>
6截止阀：Φ64.射频电源与匹配器技术参数：电源：单相50/60Hz 220v±10％加热（功率）电源：2.5KW，25A控制柜电源空气开关：32A空气开关 薄膜生长室温度：室温~ 1200℃信号频率：13.56 MHz±0.005％射频功率输出范围：0~500W5、 真空部分技术参数：空气相对湿度 查看详情>>
6截止阀：Φ64.射频电源与匹配器技术参数：电源：单相50/60Hz 220v±10％加热（功率）电源：2.5KW，25A控制柜电源空气开关：32A空气开关 薄膜生长室温度：室温~ 1200℃信号频率：13.56 MHz±0.005％射频功率输出范围：0~500W5、 真空部分技术参数：空气相对湿度 查看详情>>
焦溅射，兼容直流/射频电源溅射；直流脉冲溅射电源2台；磁控靶配有气动挡板结构； 无联系方式：400-838-0606 查看详情>>
焦溅射，兼容直流/射频电源溅射；直流脉冲溅射电源2台；磁控靶配有气动挡板结构；199800.0最低价联系方式：400-838-0606 查看详情>>
5A(不含真空泵)射频电源功率200W 射频频率13.56MHz（偏移量小于0.2KHz）频率偏移量小于0.2KHz特性阻抗50欧姆，自动匹配真空度≤100Pa气体流量10—1600ml/min（可选）过程控制MCU自动与手动方式外形尺寸450x450x200mm腔体尺寸Φ100×240mm(2L) 查看详情>>
5A(不含真空泵)射频电源功率200W 射频频率13.56MHz（偏移量小于0.2KHz）频率偏移量小于0.2KHz特性阻抗50欧姆，自动匹配真空度≤100Pa气体流量10—1600ml/min（可选）过程控制MCU自动与手动方式外形尺寸450x450x200mm腔体尺寸Φ100×240mm(2L) 查看详情>>
方式到站地点制造商射频电源RF国标SEREN12000 否SEREN120001(台)1(台)云南昆明 查看详情>>
子源，及其等离子体射频电源；4）配置双探头膜厚监测仪；5）激光沉积靶台可装置靶材至少6片，靶材尺寸为Φ 60 mm和Φ 25 mm，每块靶可实现自转，转速5-60转/分连续可调，可公转更换靶位；6）预留二级差分高能电子衍射仪(RHEED)； 7）气路装置，微调阀，MFC流量计控制进气；8）进样室极限 查看详情>>
含以下几个部件1、射频电源 2、三温区开启式管式炉和温控系统 3、炉子滑动导轨 4、真空系统 5、真空计 6、质量流量计混气系统 7、附件2.5 资格审查方式：资格后审。3．谈判申请人资格要求3.1谈判申请人应当符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的条件:3.2．谈判申请人必须是在中国境内 查看详情>>
含以下几个部件1、射频电源 2、三温区开启式管式炉和温控系统 3、炉子滑动导轨 4、真空系统 5、真空计 6、质量流量计混气系统 7、附件2.5 资格审查方式：资格后审。3．谈判申请人资格要求3.1谈判申请人应当符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的条件:3.2．谈判申请人必须是在中国境内 查看详情>>
体参数见本表：1、射频电源 2、三温区开启式管式炉和温控系统 3、炉子滑动导轨 4、真空系统 5、真空计 6、质量流量计混气系统 7、附件 1-1 B1301 等离子体增强化学气相沉积（PECVD）系统-射频电源 输出功率:5-500W，稳定性为±1%； 射频频率:13.56 MHz，稳定性 查看详情>>
子泵（进口）4台、射频电源（进口）2台、甚高频电源（进口）1台和气体质量流量计（进口）13支”的进口免税手续。请各投标单位认真核实其投标报价。采 购 人：云南师范大学招标代理机构：昆明希沃特办公机械有限公司2009年07月31日 查看详情>>
