中国科学院西安光学精密机械研究所感应耦合等离子体刻蚀设备公开招标公告
| 发布时间 | 2024-05-21 | 项目编号 | 点击查看 |
| 招标预算 | 390.0万元 | 资质要求 | 点击查看 |
采购规模走势
|
点击查看 | 招标方式
|
点击查看 |
| 潜在报名单位
|
点击查看 | 潜在中标人
|
点击查看 |
| 招标单位 | 点击查看 | ||
| 代理机构 | 点击查看 | ||
| 招标状态 | 【已截止】 | ||
公告概要：
| 公告信息： | |||
| 采购项目名称 | 感应耦合等离子体刻蚀设备 | ||
| 品目 | 货物/设备/仪器仪表/分析仪器/光学式分析仪器,货物/设备/仪器仪表/光学仪器/光学测试仪器 | ||
| 采购单位 | (略) 西安光学精密机械研究所 | ||
| 行政区域 | (略) | 公告时间 | **日 17:34 |
| 获取招标文件时间 | **日至**日 每日上午:9:30 至 11:30 下午:13:30 至 16:00（北京时间，法定节假日除外） | ||
| 招标文件售价 | ￥500 | ||
| 获取招标文件的地点 | 新 (略) （ (略) 海淀区花园路7号新时代大厦9层） | ||
| 开标时间 | **日 09:30 | ||
| 开标地点 | 长征华美达酒店三楼会议室（ (略) 长安区西部大道1号） | ||
| 预算金额 | ￥390.*万元（人民币） | ||
| 联系人及联系方式： | |||
| 项目联系人 | 王凡 | ||
| 项目联系电话 | * | ||
| 采购单位 | (略) 西安光学精密机械研究所 | ||
| 采购单位地址 | (略) 高新区新型工业园信息大道17号 | ||
| 采购单位联系方式 | 魏老师029-* | ||
| 代理机构名称 | 新 (略) | ||
| 代理机构地址 | (略) 海淀区花园路7号新时代大厦10层 | ||
| 代理机构联系方式 | 刘羽歌、王凡、王倩文 * 010-* | ||
项目概况
感应耦合等离子体刻蚀设备 招标项目的潜在投标人应在新 (略) （ (略) 海淀区花园路7号新时代大厦9层）获取招标文件，并于**日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号：**GN0445
项目名称：感应耦合等离子体刻蚀设备
预算金额：390.* 万元（人民币）
最高限价（如有）：390.* 万元（人民币）
采购需求：
| 包号 | 标的名称 | 采购包预算金额 （万元） | 数量 | 简要技术需求或服务要求 | 是否允许采购进口产品 |
| 01 | 感应耦合等离子体刻蚀设备 | 390 | 1项（套） | 感应耦合等离子刻蚀设备（ICP刻蚀机）主要用于微电子、光电子、通讯、微机等领域的器件研发和制造中半导体薄膜的刻蚀，服务于高性能大规模光子集成芯片研究，主要由反应腔、射频源、气路系统、控制系统、下电极、真空系统等构成，主要技术指标如下： *1、晶圆尺寸：8英寸，向下兼容； *2、SiO2、SiN刻蚀垂直度：>85°； *3、刻蚀均匀性：<±5%； （具体技术需求详见第五章采购需求） | 否 |
合同履行期限：合同签订后6个月内
本项目( 不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
（1）《关于调整优化节能产品、环境标志产品政府采购执行机制的通知》（财库〔2019〕9号）；
（2）《关于开展政府采购信用担保试点工作的通知》（财库【2011】124号）；
（3）关于印发《政府采购促进中小企业发展管理办法》的通知（财库【2020】46号）；
（4）《财政部、司法部关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》（财库【2014】68号）；
（5）《财政部、民政部、中国残疾人联合会关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》（财库〔2017〕141号）。
3.本项目的特定资格要求：1.供应商须符合中华人民共和国政府采购法第二十二条之规定、《中华人民共和国政府采购法施条例》十七条之规定、《中华人民共和国财政部令第87号令》相关规定：2.落实政府采购政策需满足的资格要求：2.1 中小企业政策本项目不专门面向中小企业预留采购份额。2.2 其它落实政府采购政策的资格要求：/3.本项目的特定资格要求：3.1必须是在中华人民共和国注册的企事业单位，具有独立法人资格且具有有效营业执照（带二维码或其它有效形式）；且有能力提供本次采购服务的供应商；3.2供应商必须购买《招标文件》并登记备案，否则无资格参加本次投标；3.3本项目不接受联合体投标；3.4供应商不得为“信用中国”网站中列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的供应商，不得为中国政府采购网政府采购严重违法失信行为记录名单中被财政部门禁止参加政府采购活动的供应商（处罚决定规定的时间和地域范围内）；3.5法律法规所规定的其它要求。
三、获取招标文件
时间：**日 至 **日，每天上午9:30至11:30，下午13:30至16:00。（北京时间，法定节假日除外）
地点：新 (略) （ (略) 海淀区花园路7号新时代大厦9层）
方式：（1） 现场购买。有兴趣的供应商可于**日至 **日每天上午9：30-11:30，下午13:30-16:00(北京时间)在新 (略) （ (略) 海淀区花园路7号新时代大厦9层）查询和购买招标文件。 (略) 工作人员提前联系时间。（2）电汇方式购买。请有意向参与本项目的供应商将营业执照复印件盖章、法人授权 (略) 邮箱并电话告知（邮箱：*@*ina.com；电话：*）， (略) 的报名邮件后将回复标书购买登记表并通知供应商进行标书款汇款等工作。供应商可以电汇的形式支付标书款，在开标现场向新 (略) 索取标书款发票。通过汇款方式购买招标文件，须在汇款摘要栏里注明项目名称及项目编号，并将汇款凭证和《标书购买记录表》扫描后发送至项目对应联系人的邮箱。（3）招标文件售价：招标文件售价为每包500元整，售后不退。如需邮寄，须另附邮资50元人民币。代理机构不对邮寄过程中的遗失负责；
售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
提交投标文件截止时间：**日 09点30分（北京时间）
开标时间：**日 09点30分（北京时间）
地点：长征华美达酒店三楼会议室（ (略) 长安区西部大道1号）
五、公告期限
自本公告发布之日起5个工作日。
六、其他补充事宜
七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称： (略) 西安光学精密机械研究所
地址： (略) 高新区新型工业园信息大道17号
联系方式：魏老师029-*
2.采购代理机构信息
名 称：新 (略)
地 址： (略) 海淀区花园路7号新时代大厦10层
联系方式：刘羽歌、王凡、王倩文 * 010-*
3.项目联系方式
项目联系人：王凡
电 话： *
