| 项目名称 | 原子层沉积设备ALD 科民电子 TALD-150R | 项目编号 | HITJJ-********查看详情47 |
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| 公告开始日期 | 159*****85000 | 公告截止日期 | 159*****00000 |
| 采购单位 | 哈尔滨工业大学 | 付款方式 | 无 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 无 | 到货时间要求 | 签约后3个工作日内 |
| 预 算 | 368000.0 | ||
| 收货地址 | 哈尔滨市南岗区黄河路73号哈工大二校区土木学院 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
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| 原子层沉积设备-科民电子-TALD-150R | 1 | 台 | 无 |
| 品牌 | 科民电子 |
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| 型号 | TALD-150R |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | 368000.0 | 中国采招网（bidcenter.com .cn#）
| 技术参数及配置要求 | 一、腔体及样品台1.1 标准6英寸样品台+定制腔体，可放置最大直径150mm，高50mm的样品；1.2 样品加热采用真空内铠装加热盘，样品台能够加热到300℃，温度控制精度±0.5℃；.1.3 腔室配置外加热装置，最高加热温度200℃，温度控制精度为±1℃，1.4 腔室及真空抽气管路的连接采用耐温橡胶圈密封，真空漏率小于5E-7Pa.L/s；；二、前驱体源管路结构及加热控制2.1 标准加热液态前驱体源系统2路，适用于饱和蒸气压较高的液态前驱体源。加热源装置及输运管路的最高加热温度可达到200℃，温度控制精度为±0.5℃，其到反应腔的管路系统配置保温隔热功能；每路加热源均配备1个Swagelok快速高温ALD专用阀门、1个高温手动阀和1个50mL不锈钢源瓶；标准加热液态前驱体源系统最大可升级至4路；2.2 常温液态源1路，配备Swagelok快速ALD阀、手动密封阀和200ml玻璃水源瓶；2.3 前驱体源系统配置独立的惰性气体吹扫管路，采用2条独立的吹扫管路分别从2个独立的进口进入到反应腔室；每路惰性气体吹扫管路配置独立的吹扫流量计和气动截止阀门，惰性气体气体吹扫流量采用进口数字式质量流量计控制，控制精度为±1%；三、真空系统及加热控制3.1 配置高性能真空泵，抽速＞5E-3Torr；3.2 配置数字式压力传感器，检测范围为：1E-5Tor四、控制及软件系统4.1 软件控制系统为PLC+工控机+触摸屏； 4.2 软件系统能对能对沉积参数进行控制，能全自动运行；4.3 操作系统有互锁报警何状态监控； |
| 售后服务 | 无 |
信息来源：https://www.yuncaitong.cn/publish/2020/09/09/20KEUPVBA4LYC0AU.shtml
