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清华大学离子减薄仪采购项目单一来源公示
一采购人：清华大学
二地址：北京市海淀区清华园
三联系方式：王琦sbcwqtsinghua.edu.cn
四项目名称：离子减薄仪采购项目
项目编号：清设招第2022770号
五采购内容：离子减薄仪
六采用单一来源采购方式原因及说明
离子减薄仪利用电磁线圈精准控制离子束束斑300m5mm连续调节，
从而有效获得满足电子束穿透厚度的薄区100nm同时为满足温度敏感材
料的制备，还需要配备精准控温 减薄 精准 ，
控温 要 170 温 为 薄区 需要利用 穿，
穿设备 离子currency1度电fi 薄区 精fl，减
透电 的
目有 ischine公 满足要 的设备，采用单一来
源方式采购 海 有公
配 要 ：
1.束斑 ：300m5mm
2.离子currency1调节 ： 15 10
3.离子束束 度： 10m cm2
. ： 30度连续， 离子currency1
100e10 e
：海 有公
地址：海市 区 650号5号B
期从2022年11月24日至2022年11月28日止
十潜 公示内容有异议的，请 公示期满 1个工作日内将书面
( 括： 名称联系人联系电话 政府采购项目的说明)*中国采招 网（bidcenter.com.cn）
反馈至清华大学(联系人：王琦62771946，邮箱：sbcwqtsinghua.edu.cn)
清华大学离子减薄仪采购项目（清设招第2022770号）单一来源公示
来自：采招网（www.bidcenter.com.cn） 离子减薄仪
| 所属地区 | 北京市 | 发布时间 | 2022/11/24 | 关键词 | 离子减薄仪 近期更新0项目 点击关注“离子减薄仪”实时招标项目 |
| 招标业主 | 清华大学 (查看该业主所有招标公告) | ||||
