沈阳仪表科学研究院有限公司自动涂胶机采购招标公告

详情见附件
(注：以下内容为附件图片识别，个别文字可能不准确，请以附件为准)
沈阳仪表科学研究院有限公司自动涂胶机采购招标公告
(招标编号：XDZH-2022YBHW-06)
项目所在地区：辽宁省
一招标条件
本沈阳仪表科学研究院有限公司自动涂胶机采购已由项目审批/核准/备案机关
批准，项目资金来源为其他资金企业资本金，招标人为沈阳仪表科学研究院有
限公司。本项目已具备招标条件，现招标方式为公开招标。
二项目概况和招标范围
规模：自动涂胶机用于光刻工序的涂胶工艺，自动涂胶机包括但不限于主中国采招网（:bidcente r.com.cn）
机工控机/PLC工作台供液系统机械手等构成。在软件方面，支持20种
以上模板存储及调用，可多模板在线同时使用：拥有记录功能，可以记录进行
工艺时的各项参数：拥有至少二级权限设置作业员工程师。
范围：本招标项目划分为1个标段，本次招标为其中的：
(001)自动涂胶机
三投标人资格要求
(001自动涂胶机)的投标人资格能力要求：见附件：
本项目不允许联合体投标。
四招标文件的获取
获取时间：从2022年11月25日14时00分到2022年11月30日16时00分
获取方式：在发售时间内，于沈阳市皇姑区昆山中路万众商务大厦1705室
现场领购或通过电子邮件xdgjybyeyeah.net提交资格文件和获取招标文件。
五投标文件的递交
递交截止时间：2022年12月15日09时30分
递交方式：沈阳市皇姑区昆山中路2号纸质文件递交
六开标时间及地点
开标时间：2022年12月15日09时30分
开标地点：沈阳市皇姑区昆山中路2号
七其他
八监督部门
本招标项目的监督部门为沈阳仪表科学研究院有限公司。
九联系方式
招标人：沈阳仪表科学研究院有限公司
地
址：沈阳市大东区北海街242号
联系人：柴睿贾文博
电
话：024-82240270
电子邮件：3227464195qq.com
招标代理机构：北京兴电国际工程管理有限公司
地址：
沈阳市皇姑区昆山中路2号
联系人：尹洪伟
电话：18525035687
电子邮件：xdgjybyyeah.net
招标人或其招标代理机构主要负责人项目负责人：供律
(签名)
招标人或其招标代理机构：
山
自动涂胶机采购招标公告
招标编号：XDZH-2022YBHW-06
1.招标条件
本招标项目为自动涂胶机采购招标，招标人为沈阳仪表科学研究院有限公
司，为企业资本金项且。该项目已具备招标条件，现对自动涂胶机采购进行公开
招标。
2.项目概况与招标范围
2
2.1招标内容：自动涂胶机1台套，最高限价80万元。
22招标用途：自动涂胶机用于光刻工序的涂胶工艺，自动涂胶机包括但不限
于主机控制系统工作台供液系统机械手等构成。在软件方面，支持20种以
上模板存储及调用，可多模板在线同时使用：拥有记录功能，可以记录进行工艺
时的各项参数：拥有至少二级权限设置作业员工程师。
2.3系统整体指标要求：
设备要求能够实现下述功能及性能指标，但不局限于此指标。应说明设备可
实现的功能与能力。
(1)要求自动上下片，自动涂胶
(2)支持4/6寸硅片兼容
(3)具有历史数据记录功能
(4)具有mapping功能，自动对中
(5)单次最大滴胶量不小于10ml,精度0.2ml,且具有回吸功能
(6)涂胶转速包含-5000-5000rpm可调，精度1rpm,加速度包含250-
20000rpm/s可调
(7)匀胶均勻性：1%
(8)光刻胶供液及补液方式：压力罐手动补液
(9)配备2块热板，可自动化实现涂胶的栲胶功能
(10)温度均勻性：RT-120下均勻性0.5，120-200下均匀性1
(11)具备去边和背洗的功能
(12)供胶方式为胶泵方式，涂胶时要求自动上盖
(13)带液位检测功能胶瓶去边背洗液，带腔体自动清洗功能
(14)配备漏液传感器防止漏液
(15)机台内部管路使用PU或者PFA材质，关键部分使用PFA材质
(16)腔体材质要求PP材料，配备可拆卸CUP
(17)机台上方配备FFU,配备防腐黄光照明
(18)真空泵：需要日本好利旺的KHA200-PV-01或同类品牌
(19)具备开门报警功能wafer滑出检测功能片盒微动检测功能以及其他
液位报警等常规互锁功能。
(20)软件要求
20种以上模板存储及调用：拥有自动记录功能，可以记录当班产量及月累计
产量：可按天记录产量，具备历史数据记录功能。拥有至少二级权限设置
2.4设备主要技术指标
2.4.1自动涂胶机主机
(1)主机自带软件，20种以上模板存储及调用：拥有自动记录功能，可以记录
当班产量及月累计产量：可按天记录产量，具备历史数据记录功能。拥有至少二
级权限设置
(2)主机外部颜色色泽均匀，不得有露底起泡起层或擦伤痕迹。
(3)设备应配有可高低调节并可固定位置的脚轮。
(4)主机内置控制系统工作台两路供液一路供气机械手。
2.4.2控制系统
(1)控制机械手正确运动。
(2)控制供液管路正确运动。
(3)控制工作台按照正确的转速和加速度运行
2.4.3供液路
(1)给光刻胶供液
(2)供给背洗液
(3)直连厂务
2.4.4机械手
机械手保证在裸片情况下传片8000次以内不发生传片报警，或者机械手的
整体故障率低于1次/年，且兼容4/6寸硅片：机械手指材料需要陶瓷材料，真空吸
附。
2.4.5辅材
乙方按现场实际需求提供
2.5交货时间应为签订合同后180天内。
3.投标人资格要求
3.1投标单位应具有独立法人资格：
3.2
投标方必须由法定代表人或其委托代理人具有法定代表人签署的授权书参加
投标议标，在评标过程中随时接受就招标文件内容提出的质询，并予以解答
3.3
代理商参与投标，必须提供制造商出具的授权函原件，应具有三年以上相关产品
的生产销售经验。
3.4本次招标不接受联合体投标。
4.招标文件的获取
4.1
发售时间：2022年11月25日14：00时至2022年11月30日，每天上午9：00至11：30
时，下午13：30至16：00时北京时间，节假日除外。
4.2招标文件每套售价500元，售后不退。
4.3
招标文件购买方式：在发售时间内，于沈阳市皇姑区昆山中路万众商务大厦1705
室现场领购或通过电子邮件xdgjybyyeah.net提交资格文件和获取招标文件。
5.投标文件的递交
5.1投标文件递交的截止时间为2022年12月15日9时30
分前递交至北京兴电国际工程管理有限公司会议室地址：沈阳市皇姑区昆山中
路2号万众商务大厦)。
5.2
逾期送达的未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标
人捋予以拒收。
6.发布公告的媒介
本公告在中国招标投标公共服务平台网站(http:lwww.cebpubservice.com/
)上发布，因轻信其他组织个人或媒介提供的信息而造成损失的，招标人招标
代理机构概不负责。
7.联系方式
招标人：沈阳仪表科学研究院有限公司
地址：沈阳市大东区北海街242号
联系人：柴容贾文博
电话：024-8224027013840508027
招标代理机构：北京兴电国际工程管理有限公司
地址：沈阳市皇站区昆山中路2号
联系人：尹洪伟
联系电话：18525035687
电子邮箱：xdgjybyyeah.net
开户银行人民币：工行北京白云路支行
账户名称：北京兴电国际工程管理有限公司
账号：0200020009200017957
北京兴电国际工程管理有限公司
2022年11月25鸡