85mm·样品台：五轴马达驱动，倾斜范围不小于-15°～85°，旋转范围360°·探测器配置：ET二次电子探测器、极靴内高灵敏度背散射电子探测器、背散射电子探测器、样品室红外CCD相机·气体注入系统：4个独立的气体注入接口，最高可注入10支以上不同气体·其他附件：能谱仪、外置主动减震台、至少4种标准 查看详情>>
5mm ·样品台：五轴马达驱动，倾斜范围不小于-15°～85°，旋转范围360° ·探测器配置：ET二次电子探测器、极靴内高灵敏度背散射电子探测器、背散射电子探测器、样品室红外CCD相机 ·气体注入系统：4个独立的气体注入接口，最高可注入10支以上不同气体 ·其他附件：能谱仪、外置主动减震台、至少4 查看详情>>
