A/每管 2.11送料装置： 速度： 30～1000mm/min 重复定位精度 ±1mm 最大承载能力： 12Kg 净化台工作等级（静态）： 在1000级厂房达到100级 2.12气体流量设定精度： ±1％F.S. 2.13气路系统气密性 1×10-7pa.m3/s 3 主要结构及部件说明： 3.1 查看详情>>
VA/每管2.11送料装置：速度： 30～1000mm/min重复定位精度±1mm最大承载能力：12Kg净化台工作等级（静态）：在1000级厂房达到100级2.12气体流量设定精度：±1％F.S.2.13气路系统气密性1×10-7pa.m3/s3主要结构及部件说明：3.1整机由五个部分构成，即扩散炉 查看详情>>
