采用药液桶回收4.烤胶机：温度调整精度：±0.1℃；温度均匀性：≤±1℃（50℃-120℃）。5.光刻机：最大曝光面积：≥170 mm×170 mm；分辨率：以1微米以下厚度的正胶为例，在真空/硬接触模式作业曝光分辨率极限能力优于2μm；评价用基板为156.75 mm×156.75 mm；对准精度： 查看详情>>
采用药液桶回收4.烤胶机：温度调整精度：±0.1℃；温度均匀性：≤±1℃（50℃-120℃）。5.光刻机：最大曝光面积：≥170 mm×170 mm；分辨率：以1微米以下厚度的正胶为例，在真空/硬接触模式作业曝光分辨率极限能力优于2μm；评价用基板为156.75 mm×156.75 mm；对准精度： 查看详情>>
采用药液桶回收4.烤胶机：温度调整精度：±0.1℃；温度均匀性：≤±1℃（50℃-120℃）。5.光刻机：最大曝光面积：≥170 mm×170 mm；分辨率：以1微米以下厚度的正胶为例，在真空/硬接触模式作业曝光分辨率极限能力优于2μm；评价用基板为156.75 mm×156.75 mm；对准精度： 查看详情>>
采用药液桶回收4.烤胶机：温度调整精度：±0.1℃；温度均匀性：≤±1℃（50℃-120℃）。5.光刻机：最大曝光面积：≥170 mm×170 mm；分辨率：以1微米以下厚度的正胶为例，在真空/硬接触模式作业曝光分辨率极限能力优于2μm；评价用基板为156.75 mm×156.75 mm；对准精度： 查看详情>>
采用药液桶回收4.烤胶机：温度调整精度：±0.1℃；温度均匀性：≤±1℃（50℃-120℃）。5.光刻机：最大曝光面积：≥170 mm×170 mm；分辨率：以1微米以下厚度的正胶为例，在真空/硬接触模式作业曝光分辨率极限能力优于2μm；评价用基板为156.75 mm×156.75 mm；对准精度： 查看详情>>
采用药液桶回收4.烤胶机：温度调整精度：±0.1℃；温度均匀性：≤±1℃（50℃-120℃）。5.光刻机：最大曝光面积：≥170 mm×170 mm；分辨率：以1微米以下厚度的正胶为例，在真空/硬接触模式作业曝光分辨率极限能力优于2μm；评价用基板为156.75 mm×156.75 mm；对准精度： 查看详情>>
采用药液桶回收4.烤胶机：温度调整精度：±0.1℃；温度均匀性：≤±1℃（50℃-120℃）。5.光刻机：最大曝光面积：≥170 mm×170 mm；分辨率：以1微米以下厚度的正胶为例，在真空/硬接触模式作业曝光分辨率极限能力优于2μm；评价用基板为156.75 mm×156.75 mm；对准精度： 查看详情>>
采用药液桶回收4.烤胶机：温度调整精度：±0.1℃；温度均匀性：≤±1℃（50℃-120℃）。5.光刻机：最大曝光面积：≥170 mm×170 mm；分辨率：以1微米以下厚度的正胶为例，在真空/硬接触模式作业曝光分辨率极限能力优于2μm；评价用基板为156.75 mm×156.75 mm；对准精度： 查看详情>>
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采用药液桶回收4.烤胶机：温度调整精度：±0.1℃；温度均匀性：≤±1℃（50℃-120℃）。5.光刻机：最大曝光面积：≥170 mm×170 mm；分辨率：以1微米以下厚度的正胶为例，在真空/硬接触模式作业曝光分辨率极限能力优于2μm；评价用基板为156.75 mm×156.75 mm；对准精度： 查看详情>>
、“高端型线型控温烤胶机”、“紫外试验箱”、“气相色谱仪”生产厂家授权书原件；4、投标人名称不同但法定代表人为同一个自然人的两个或者两个以上的投标人不得参加同一采购项目。如果出现上述情况，相关投标人的投标均将被拒绝；5、本项目不接受联合体投标。公告发布时间2015年10月16日招标文件发售起止时间2 查看详情>>
