火炉；手套B内放置旋涂仪，此外含有真空获得及测量系统、电源及控制系统等；2. 系统真空指标：极限真空≤5×10-5 Pa；3. 抽气速率：从大气开始抽气，在≤45分钟内，其真空度≤6×10-4 Pa；4. 手套箱技术指标：在－10 mbar下，泄漏率 < 0.01 vol%/h，水氧指标：H2 查看详情>>
15. 高精度匀胶旋涂仪 (Specialty Coating Systems FA-812-1001-1) 1台15.1 8英寸 Spin Coater, 220V/60Hz15.2 3/8型真空夹盘，可进行精确速度调节的闭合回路继动器15.3 自旋断面1.0rpm可调转速旋转增量，增量0.1秒的 查看详情>>
