积系统 项目所在采购意向： 上海交通大学2024年9至10月政府采购意向 采购单位： 上海交通大学 采购项目名称： GDP薄膜沉积系统 预算金额： 317.000000万元(人民币) 采购品目： A02052402真空应用设备 采购需求概况 ： 采购GDP薄膜沉积系统1台，具 查看详情>>
波等离子体化学气相沉积系统 1、配有圆柱形腔室的微波等离子体化学气相沉积系统，1套4台。用于制备高纯度的金刚石单晶。配莱宝分子泵，沉积室极限真空：优于1x10-4Pa；样品台尺寸：3英寸；温度测量范围：300-1400 ℃；10kW固态微波源，微波频率稳定性：优于±100PPM；生长速率：优于10u 查看详情>>
积系统 项目所在采购意向： 上海交通大学2024年6月政府采购意向 采购单位： 上海交通大学 采购项目名称： 磁控薄膜沉积系统 预算金额： 290.000000万元(人民币) 采购品目： A02052402真空应用设备 采购需求概况： 多靶磁控溅射设备，一台，实现对金属/氧化 查看详情>>
离子体增强化学气相沉积系统（ICPECVD) 项目所在采购意向： 上海交通大学2023年11至12月政府采购意向 采购单位： 上海交通大学 采购项目名称： 感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统（ICPECVD) 预算金额： 335.000000万元(人民币) 采购品目： A023 查看详情>>
离子体增强化学气相沉积系统 项目所在采购意向： 上海交通大学2023年12月政府采购意向 采购单位： 上海交通大学 采购项目名称： 感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统 预算金额： 335.000000万元(人民币) 采购品目： A02330300电子工业生产设备 采购需求概 查看详情>>
多源可控化学气相沉积系统 项目所在采购意向： 上海交通大学2023年11至12月政府采购意向 采购单位： 上海交通大学 采购项目名称： 多源可控化学气相沉积系统 预算金额： 400.000000万元(人民币) 采购品目： A02050904增材制造设备 采购需求概况： 本次 查看详情>>
CVD微波等离子体沉积系统形成工艺一体化，对PCVD生长的芯层材料与包层材料进行高温熔缩成为实芯的一体化材料。该设备可以有效支撑并拓展通信与信息工程学科的“特种光纤与接入网重点实验室”特色方向发展。 4390000.00 2023-03 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购 查看详情>>
积系统项目所在采购意向：上海交通大学2022年12月政府采购意向采购单位：上海交通大学采购项目名称：分子气相沉积系统预算金额：310.000000万元(人民币)采购品目：A032103电子工业专用生产设备采购需求概况：用于MEMS传感器、驱动器、显示、微流控、RF开关等领域的抗粘、疏水或亲水、润滑、 查看详情>>
积系统项目所在采购意向：上海交通大学2022年12月政府采购意向采购单位：上海交通大学采购项目名称：等离子辅助化学气相沉积系统预算金额：280.000000万元(人民币)采购品目：A032103电子工业专用生产设备采购需求概况：实现SiO2、SiON、SiN及TEOS等绝缘介质薄膜沉积，氧化硅可实现 查看详情>>
积系统项目所在采购意向：上海交通大学2022年12月政府采购意向采购单位：上海交通大学采购项目名称：等离子辅助原子层沉积系统预算金额：240.000000万元(人民币)采购品目：A032103电子工业专用生产设备采购需求概况：专用用于Ti、TiN、Ta、TaN、W、Cu等金属的原子层沉积，特别是高深 查看详情>>
上海交通大学2022年12月政府采购意向-等离子辅助气相沉积系统（化合物半导体）-A032103电子工业专用生产设备-预算金额280.000000万元(人民币)
招标预告 | 2022-11-23丨 上海
积系统（化合物半导体）项目所在采购意向：上海交通大学2022年12月政府采购意向采购单位：上海交通大学采购项目名称：等离子辅助气相沉积系统（化合物半导体）预算金额：280.000000万元(人民币)采购品目：A032103电子工业专用生产设备采购需求概况：专用用于GaAs、InP及GaN等化合物半导 查看详情>>
积系统项目所在采购意向：中国科学院上海微系统与信息技术研究所2021年8至11月政府采购意向采购单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所采购项目名称：高真空电子束沉积系统预算金额：120.000000万元(人民币)采购品目：A032103采购需求概况：主要用来升级替换老旧设备，来满足所级平台对集成 查看详情>>
积系统项目所在采购意向：上海交通大学2021年6月政府采购意向采购单位：上海交通大学采购项目名称：金属沉积系统预算金额：450.000000万元(人民币)采购品目：A02050909金属表面处理设备采购需求概况：本项目采购的金属沉积系统需要使用进口真空泵与超高真空系统设计来保证稳定超高的本底真空，优 查看详情>>
息技术研究所原子层沉积系统 A02062099详见项目详情 100.0000002021年06月详见项目详情 7中国科学院上海微系统与信息技术研究所散射仪探测系统 A02080399详见项目详情 100.0000002021年06月详见项目详情 8中国科学院上海微系统与信息技术研究所3D打印机 A0 查看详情>>
积系统项目所在采购意向：上海交通大学2021年5月政府采购意向采购单位：上海交通大学采购项目名称：离子束溅射沉积系统预算金额：400.000000万元(人民币)采购品目：A02100305电子光学及离子光学仪器采购需求概况：离子束刻蚀以离子束为刻蚀手段达到刻蚀目的的技术，其分辨率限制于粒子进入基底以 查看详情>>
交通大学离子束溅射沉积系统 A02100305电子光学及离子光学仪器详见项目详情 400.0000002021年05月详见项目详情 2上海交通大学碳材料生长沉积系统 A02100401电化学分析仪器详见项目详情 200.0000002021年05月详见项目详情 3上海交通大学紫外曝光系统 A0210 查看详情>>
积系统项目所在采购意向：上海交通大学2021年5月政府采购意向采购单位：上海交通大学采购项目名称：碳材料生长沉积系统预算金额：200.000000万元(人民币)采购品目：A02100401电化学分析仪器采购需求概况：本次拟购买的碳材料生长沉积系统主要使用CVD方法来制备碳纳米管和石墨烯。通常的碳纳米 查看详情>>
离子体增强化学气相沉积系统 A02052402100.0000002021年04月情 3中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束刻蚀系统 A02062099详见项目详情 100.0000002021年04月详见项目详情 4中国科学院上海微系统与信息技术研究所高平坦300mm化学机械抛光机 A020 查看详情>>
