真空氢气热处理炉、排气台、自动清洗设备等相关生产设备，项目建成后，可实现3000片/年金属靶盘、2000片/年石墨靶盘的热处理、排气处理能力。 （1）废气 ①本项目清洗工序于密闭清洗间内进行，清洗间采用侧面送风，屋顶排风系统，形成微负压状态。清洗工序产生的有机废气经收集后，引至1套“二级活性炭吸 查看详情>>
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