目：A030606非金属矿物切削加工设备采购需求概况：采购深硅刻蚀系统一台，Si晶圆尺寸6寸，150mmTSV宽度20um+/-0.5um开口率<10%角度>85o刻蚀深度≥100um刻蚀速率≥4um/min刻蚀角度90°±1o侧壁粗糙度≤150nm对光刻胶选择比≥40: 查看详情>>
A030699其他非金属矿物制品工业专用设备采购需求概况：拟采购接触式光刻机一套，紫外光波长：350nm～450nm，光强均匀性：2% （6英寸的衬底），分辨率: 0.8μm，正面套准精度：0.5μm，背面套准精度：1μm，基片尺寸：支持6英寸以下5、4、3以及破片。预计采购时间：2023-01备注 查看详情>>
A030699其他非金属矿物制品工业专用设备采购需求概况：准分子激光器波长范围在深紫外区波段，对高分子材料、石英、半导体和金属薄片等材料有极好的加工效果，不产生热影响区和微裂纹；重复频率不低于400赫兹；XY轴位移台行程大于100毫米；重复定位精度小于0.5微米。拟购设备其它附件要求：多轴控制器，支 查看详情>>
目：A030606非金属矿物切削加工设备采购需求概况：可研磨并抛光多种半导体材料，如AlN;Si、SiC、Ge、Ge-Si、GaN、GaAs、 Al2O3; GaAs; GaN; Ge; InP; Si; SiC; Si2N4等。研磨尺寸：兼容6寸及一下晶片；研磨速度2-1000μm/min；单片厚 查看详情>>
目：A030606非金属矿物切削加工设备采购需求概况：拟采购的小磨头抛光机为上海光源二期光学元件修复实验室“光学加工与检测”技术方案中光学加工的关键设备之一，主要用于长矩形平面、柱面、非球柱面等光学零件的高精度抛光。数量：1套。需满足：类型为数控小磨头抛光机；行程≥1200mm×300mm×150m 查看详情>>
A030699其他非金属矿物制品工业专用设备采购需求概况：立式化学气相沉积系统(SiC)一台。用以研制SiC/SiC复合材料控制棒套管，该部件是我所承担的“未来先进核裂变能-钍基熔盐堆核能系统”先导专项中研发的第四代裂变核能系统-钍基熔盐堆核能系统的关键材料和构件。预计采购时间：2022-07备注： 查看详情>>
目：A030606非金属矿物切削加工设备采购需求概况：拟采购的光学数控铣磨机为上海光源光学元件修复实验室使用，用于对毛胚进行粗加工，使毛胚外形尺寸达标，并初步生成所需的面型。数量：1套。需满足：xyz行程1200*300*150mm，可加工柱面、非球面等面型，带三坐标测量功能，加工精度达到10μm( 查看详情>>
A030699其他非金属矿物制品工业专用设备 详见项目详情 190.000000 2022年07月 详见项目详情 19 中国科学院上海应用物理研究所 透射电镜原位高温力学测量杆 A02100416分析仪器辅助装置 详见项目详情 130.000000 2022年07月 详见项目详情 查看详情>>
目：A030606非金属矿物切削加工设备采购需求概况：上海光源线站工程需要采购数控光学铣磨机1台，用于满足上海光源光束线用反射镜的初步成型，可以生成平面、球面、圆柱面、非球面等面形。交货期为合同签订后六个月。预计采购时间：2021-12备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采 查看详情>>
治理工程/ 八、非金属矿采选业 10 11土砂石开采 101（不含河道采砂项目）涉及环境敏感区的（不含单独的矿石破碎、集运；不含矿区修复治理工程）其他/第三条（一）中的全部区域；第三条（二）中的除（一）外的生态保护红线管控范围，基本草原，重要水生生物的自然产卵场、索饵场、越冬场和洄游通道，沙化土 查看详情>>
