| 项目名称 | 匀胶旋涂仪 | 项目编号 | JJ**********查看详情 |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 166*****03000 | 公告截止日期 | 166*****00000 |
| 采购单位 | 南开大学 | 付款方式 | 合同签定生效后，预付合同总额的 40%；货物到达需方指定地点并安装验收合格，双方签字确认后，七个工作日内支付合同总额的 60%余款。 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 无 | 到货时间要求 | 合同签定生效后3个工作日内 |
| 预 算 | 无 | ||
| 收货地址 | 津南校区电光大楼266 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 匀胶旋涂仪 | 1 | 台 | 无 |
| 品牌 | LAURELL |
|---|---|
| 型号 | WS-650Mz-8NPPB |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | 无 |
| 技术参数及配置要求 | 1.系统概述1.1智能嵌锁，系统盖板具有智能嵌锁装置，确保操作安全；1.2 防腐装置；1.3*设有保护气体装置:旋涂过程中对旋转马达进行气流保护；1.4通信接口，蓝牙连接；2. 处理腔体 2.1处理腔体内径不小于12.5英寸(318毫米)；2.2*Wafer芯片尺寸至少满足10-200mm直径的材料，方片175x175mm，无需更换片托；2.3腔体具有易清洁的NPP 天然聚丙烯材质；3. 旋转马达 3.1转动速度至少满足0-*****查看详情rpm；3.2旋涂加速度不小于*****查看详情rpm/sec；3.3马达旋涂转速稳定性能误差不超过+1%；4. 控制系统 41工艺时间设定范围至少满足1-*****查看详情sec/step，精度不超过0.1s；4.2配有高精度PLC可编程的控制器，设置点精度小于0.006%；43可存储不少于20个程序段，每个程序段可设置不少于51个不同步骤的速度状态；5. 配套泵浦 5.1配套真空泵系统:无油型220~240伏交流，50/60赫兹；52真空吸附范围25-28英寸汞柱(~635-711毫米汞柱)可调节，抽速不小于4.5 SCFM(0.11立方米/分钟)；6. 系统附件 6.1*免费赠送基于Windows的操作软件；6.2原装进口水平测试仪；6.3两袋密封圈；6.4*配有两套可更换的废液接收单元； |
| 售后服务 | 按国家法定或行业要求提供售后服务。 |
报价地址：https://www.yuncaitong.cn/publish/2022/09/05/20L7O2PISAX3ZUKJ.shtml
