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匀胶旋涂仪采购公告

来自:采招网(www.bidcenter.com.cn) 旋涂仪

所属地区 广东省 发布时间 2022/9/27 关键词旋涂仪   近期更新7项目点击关注“旋涂仪”实时招标项目
招标业主南方科技大学  (查看该业主所有招标公告)

项目招标进展

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南方科技大学SUSTech-JC-2022-*****查看详情竞采采购公告
项目名称匀胶旋涂仪
项目编号SUSTech-JC-2022-*****查看详情
成交方式最低价成交
采购方式公开竞采
公告开始时间2022-09-27 16:08:22
公告结束时间2022-10-09 16:08:22
预算(元)******查看详情.00
备注



序号名称数量单位

1

匀胶旋涂仪(核心货物)

1

品牌

LAURELL、SPS、Ramgraber

型号

WS-650Hz-8NPPB、SPIN200i、M-Spin200

技术规格及参数

1. 系统概述1.1智能嵌锁,系统盖板具有智能嵌锁装置,确保操作安全;1.2 防腐装置;1.3 *设有保护气体装置:旋涂过程中对旋转马达进行气流保护;1.4通信接口,蓝牙连接1.5双向马达,可正反转2. 处理腔体2.1处理腔体内径不小于12.5英寸 (318毫米);2.2 Wafer芯片尺寸至少满足10-200mm直径的材料,方片175x175mm,无需更换片托;2.3腔体具有易清洁的NPP天然聚丙烯材质;3. 旋转马达3.1转动速度至少满足0-12,000rpm, 3.2旋涂加速度不小于12,000rpm/sec;3.3马达旋涂转速稳定性能误差不超过±1%;4. 控制系统4.1工艺时间设定范围至少满足1-5999.9 sec/step ,精度不超过0.1s;4.2配有高精度PLC可编程的控制器 4.3可存储不少于20个程序段,每个程序段可设置不少于51个不同步骤的速度状态;4.4带自动晶圆去边装置;5. 配套泵浦5.1 配套真空泵系统:无油型 220~240伏交流,50/60赫兹;5.2 真空吸附范围25-28 英寸汞柱 (~635-711毫米汞柱)可调节,抽速不小于4.5 SCFM (0.11 立方米/分钟) ;6. 系统附件6.1 免费赠送基于Windows的操作软件;6.2原装进口水平测试仪;6.3两袋密封圈;6.4 配有两套可更换的废液接收单元;6.5带晶圆中心对准工具适合直径100/125/150/200mm圆片居中6.6配备适合2/4/6/8英寸超薄或软性基底的定制型蜂窝托盘

售后及质保要求

1.交货期的要求:签订合同后【60】天内,具体时间根据学校要求提前天【7】通知送货。
2.质保期:合格代理商免费质保【壹】年。
3.维修响应时间:提供设备报修电话及联系人,招标人报修后,【4】小时内响应,【72】小时内派员上门现场维护,并在【96】小时内解决问题,如在规定时间内不能解决设备故障,应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。

付款方式货到指定地点、安装验收合格并提供全额发票后,经学校确认无质量问题后支付100%的货款。
交货期合同签订后60天内(自然日)
中国采招 网(bidcenter.com.cn)?

1. 欢迎有意向的供应商登录系统参与竞采;

2.未注册的供应商请先注册成为竞采平台供应商后参与项目竞采;

3. 如对项目有疑问或质疑,请于项目截止前1个工作日登录系统在线提交咨询或质疑,逾期不受理。

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