第（四）条“嵌入式旋涂仪” ：（一）“手套箱主要技术性能指标”增加第6点、第7点，内容如下：6、气体纯化系统（共两套，每个手套箱系统各配一套）：氧气和水的吸附量分别为60升和2公斤，吸附饱和后可再生。手套箱系统二配置可再生有机溶剂吸附系统，吸附饱和后可再生。7、 其它附件（共两套，每个手套箱系统各配 查看详情>>
江苏旋涂仪招标变更信息
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