6 匀胶机旋涂仪 1.旋转电机采用专为匀胶机设计的精密高速伺服电机，具有高精度、高稳定性、高可靠性。 2.优异的旋转加速性能，*大旋转加速度可达40000rpm/s（有负载的真实加速度）。 3.两项安全互锁功能： (1) 匀胶腔体具有开启、关闭的检测功能，确保腔体关闭后才可 查看详情>>
技术指标等要求匀胶旋涂仪套装 1套1.Wafer尺寸：3-150mm直径的材料，方片125x125mm；2.转动速度：0-12000rpm；3.马达旋涂转速稳定性能误差：< ±0.5%；4.转速调节精度：<0.2rpm，重复性< 0.2rpm；5.工艺时间设定：1-5999.9 查看详情>>
数量生产厂商1匀胶旋涂仪WS-650Mz-23NPPB台1迈可诺技术有限公司四、报价截止时间：2016年11月24日14：00。未在苏州大学仪器设备供应商库http://gysk.suda.edu.cn注册的供应商，请在报价截止时间之前完成注册。五、请符合资格条件的供应商，认真阅读《苏州大学网上询价 查看详情>>
技术指标等要求匀胶旋涂仪 3台1. 处理腔体内径240-300毫米；2. Wafer芯片尺寸至少能够满足10-150 mm直径的材料，方片125x125 mm，无需更换片托；3. 转动速度至少满足0-12000 rpm；4. 旋转加速度不小于13000 rpm/sec；5. 马达旋涂转速稳定性能误差 查看详情>>
数量生产厂商1匀胶旋涂仪WS-650Mz-23NPPB（配套真空泵浦系统）套1迈可诺技术有限公司四、报价截止时间：2015年9月18日14：00。五、有兴趣并符合资格条件的供应商，请务必认真阅读《苏州大学网上询价采购仪器设备报价须知》，在接受其所有条款要求的基础上按要求进行报价。询价采购编号：X20 查看详情>>
