扫描电容成像/ 扫描开尔文探针显微镜/ 扩展电阻成像/ 压电响应力显微镜。2）可实现微区电磁畴结构表征（晶粒/晶界、畴/畴壁）、微区性能（电容、电流、极化强度等）分析，微区结构分辨率≤30nm。3）*样品台xy调节范围≥5mm；样品扫描范围≥90μm×90μm×9μm，三维全量程闭环控制扫描器，X 查看详情>>
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