及其配套设备设施（尾气处理器、气体纯化系统、气体面板及管道、 外延清洗设备、测试仪器（表面颗粒度测试仪、外延电阻率测试仪、几何参数测试仪））等，部分设备利旧，不涉及现有工程改造，本项目建成后预计增加产量6～8英寸硅外延片100万片。 1.废气 本项目废气污染源主要为①外延沉积过程产生的氯化氢气体 查看详情>>
延炉自带的水喷淋式尾气处理器进行处理，每台水喷淋式尾气处理器的风量均为800m3/h，本项目共12台外延炉（26个反应腔），配备27个水喷淋式尾气处理器，净化后通过27根均为25m高的排气筒P1-P27排放；②特气柜切换气瓶工序产生的氯化氢气体，经一套水喷淋式尾气处理器进行处理，水喷淋式尾气处理器的 查看详情>>
道引至IEM（化学尾气处理器）设施处理后，通过一根新建的21m高排气筒P1排放。排气筒排放的砷及其化合物的排放浓度和排放速率参照执行《大气污染物综合排放标准》（DB11/501-2017）相应标准限值要求。（二）IEM废气治理设施产生的含砷废水在车间由吨桶运送至十八所含砷废液处理，处理后的废水与十八 查看详情>>
真空烘箱多道分析器尾气处理器匀胶机引线键合机滑动式PECVD系统等离子体球磨机高性能计算服务器高真空电阻蒸发仪2000度温控加热炉等22台国产设备。6202021-09专门面向中小企业采购。 12脉冲激光溅射沉积系统采购国产设备一台。1302021-09专门面向中小企业采购。 13物理学重点学科光电 查看详情>>
申购单主题：实验室尾气处理器申购单类型：竞价类设备类别：电子设备使用币种：人民币竞价开始时间：2019-10-29 10:31竞价结束时间：2019-10-31 11:00我要报价申购备注：19YL002022申购设备详情：设备名称数量单位品牌型号是否标配售后服务规格配置附件实验室尾气处理器1台定制 查看详情>>
主题：电加热水洗式尾气处理器申购单类型：竞价类设备类别：电子设备使用币种：人民币竞价开始时间：2018-07-12 15:58 竞价结束时间：2018-07-17 13:00 我要报价申购备注：1809001336申购设备详情：设备名称数量单位品牌型号是否标配售后服务规格配置附件电加热水洗式尾气处理 查看详情>>
