系统2套；普通水系尾气处理器、高温水洗尾气处理器、水冲式燃烧尾气处理器气体处理量均要求大于等于600SLM；吸附桶的主桶处理量要求大于等于100 SLM，副桶气体处理量要求大于等于20SLM。 2.5 交货地点：重庆市沙坪坝区西永大道23号中国电子科技集团公司第二十四研究所项目现场。 2.6 查看详情>>
设备（6台燃烧水洗尾气处理器、1套大宗气体在线测试设备等）的安装并提供竣工资料等内容。主要工程内容：电气系统、大宗气体系统二次配管、特气系统(VMB/VMP到机台)、工艺冷却水系统（含冷水机）、集中供应的化学试剂供液系统(VMB到机台)、排气系统、废液排放系统、排水系统、超纯水系统、高真空泵管路及尾 查看详情>>
crubber化学尾气处理器（1500m3/h），经“Scrubber（CuO干式吸附）”预处理后，再经“碱喷淋（4500m3/h）”处理后通过1#30m高排气筒排放；②酸碱废气：2台PECVD镀膜机产生的气相沉积废气经末端配备的1套Scrubber化学尾气处理器经“Scrubber（MgO干式吸附 查看详情>>
