否否3等离子体水洗尾气处理器4套，用于光子芯片制备20000002023年10月否否4低温沉积设备1套，用于光子芯片制备10000002023年10月否否本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。2023年8月30号 查看详情>>
安全要求，设备包含尾气处理器和气体探测器。预计采购时间：2020-08备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 查看详情>>
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