06招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之低应力氮化硅生长炉和原位掺杂多晶硅生长炉项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备):序号 产品名称 数量 简要技术规格备注1 低应力氮化硅生长炉 1 薄膜应力范围 -40~＋40MPa (4μm Poly退火后，应力可调)。其他参数详见第八章无2 原 查看详情>>
06招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之颗粒度检测仪项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备):序号 产品名称 数量 简要技术规格备注1 颗粒度检测仪 5 晶圆尺寸：8英寸晶圆厚度：300μm～900μm检测重复性：≤1%（1σ）其他参数详见第八章无3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业 查看详情>>
5台设备用途：用于8英寸MEMS晶圆进行自动测试，使探卡与晶圆接触及其精确移动，配合测试机进行晶圆的电参数测试。资金到位或资金来源落实情况:已到位项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:0664-2440SUMECF28/04招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之探针台项目实施地 查看详情>>
01招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之剥离机项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备):3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:① 投标人如为境内企业，提供企业法人营业执照或事业单位法人证书，如为境外企业提供企业注册登记证。② 投标设备必须为全新设备，投标人可以是设备制造厂家，也可以 查看详情>>
5台设备用途：用于8英寸MEMS晶圆进行自动测试，使探卡与晶圆接触及其精确移动，配合测试机进行晶圆的电参数测试。资金到位或资金来源落实情况:已到位项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:0664-2440SUMECF28/04招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之探针台项目实施地 查看详情>>
01招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之剥离机项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备):序号 产品名称 数量 简要技术规格备注1 剥离机 1 新增机械颗粒度：颗粒数新增<30 个（@>0.2μm）（检测片初始颗粒数： <50 个@>0.2μm）。其他参数详见第八章 查看详情>>
07招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之匀喷一体机和喷胶机项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备):序号 产品名称 数量 简要技术规格备注1 匀喷一体机 1 WPH：喷胶≥5片（喷胶工艺时间10min）。其他参数详见第八章无2 喷胶机 1 WPH：喷胶≥12片（喷胶工艺时间10min）。 查看详情>>
06招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之颗粒度检测仪项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备):3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:①、投标人如为境内企业，提供企业法人营业执照或事业单位法人证书，如为境外企业提供企业注册登记证。②、投标方可以是设备制造厂商或设备再制造厂商，也可以是 查看详情>>
07招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之匀喷一体机和喷胶机项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备):3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:① 投标人如为境内企业，提供企业法人营业执照或事业单位法人证书，如为境外企业提供企业注册登记证。② 投标方可以是设备制造厂商或设备再制造厂商，也 查看详情>>
5台设备用途：用于8英寸MEMS晶圆进行自动测试，使探卡与晶圆接触及其精确移动，配合测试机进行晶圆的电参数测试。资金到位或资金来源落实情况:已到位项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:0664-2440SUMECF28/04招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之探针台项目实施地 查看详情>>
07招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之匀喷一体机和喷胶机项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备): 序号 产品名称 数量 简要技术规格 备注 1 匀喷一体机 1 WPH：喷胶≥5片（喷胶工艺时间10min）。其他参数详见第八章 无 2 喷胶机 1 WPH：喷胶≥12片（喷胶工 查看详情>>
06招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之颗粒度检测仪项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备): 序号 产品名称 数量 简要技术规格 备注 1 颗粒度检测仪 5 晶圆尺寸：8英寸 晶圆厚度：300μm～900μm 检测重复性：≤1%（1σ） 其他参数详见第八章 无 3、投标人资格 查看详情>>
01招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之剥离机项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备): 序号 产品名称 数量 简要技术规格 备注 1 剥离机 1 新增机械颗粒度：颗粒数新增<30 个（@>0.2μm）（检测片初始颗粒数： <50 个@>0.2μm）。其他参 查看详情>>
06招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之低应力氮化硅生长炉和原位掺杂多晶硅生长炉项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备): 序号 产品名称 数量 简要技术规格 备注 1 低应力氮化硅生长炉 1 薄膜应力范围 -40~＋40MPa (4μm Poly退火后，应力可调)。其他参数详见第 查看详情>>
06招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之低应力氮化硅生长炉和原位掺杂多晶硅生长炉项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备):3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:① 投标人如为境内企业，提供企业法人营业执照或事业单位法人证书，如为境外企业提供企业注册登记证。② 投标人可以是设备制造厂 查看详情>>
06招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之揭膜机（重新招标）项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备): 序号 产品名称 数量 简要技术规格 备注 1 揭膜机 2台 Load/Unload单元 Load/Unload单元用于晶圆上/下片传输，采用Robot手臂真空吸附的方式将晶圆从SM 查看详情>>
19招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之金属溅射机（重新招标）项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备): 序号 产品名称 数量 简要技术规格 备注 1 金属溅射机 3套 工艺腔室极限真空：≤6E-8Torr； 工艺腔室漏气率：≤5000nTorr； 反溅腔室极限真空：≤5E-7To 查看详情>>
备用途：主要用于对8英寸MEMS工艺中金属刻蚀前光刻胶固化工艺。资金到位或资金来源落实情况:资金已到位项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:0709-244035614009招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之UV固胶机（重新招标）项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设 查看详情>>
备用途：主要用于对8英寸MEMS工艺中金属刻蚀前光刻胶固化工艺。资金到位或资金来源落实情况:资金已到位项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:0709-244035614009招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之UV固胶机（重新招标）项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设 查看详情>>
05招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之贴膜机（重新招标）项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备): 序号 产品名称 数量 简要技术规格 备注 1 贴膜机 2台 Load/Unload单元 Load/Unload单元用于晶圆上/下片传输；采用Robot 手臂真空吸附的方式将晶圆从S 查看详情>>
19招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之金属溅射机（重新招标）项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备):序号 产品名称 数量 简要技术规格备注1 金属溅射机 3套 工艺腔室极限真空：≤6E-8Torr；工艺腔室漏气率：≤5000nTorr；反溅腔室极限真空：≤5E-7Torr；反溅腔室漏 查看详情>>
20招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之减薄机（重新招标）项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备): 序号 产品名称 数量 简要技术规格 备注 1 减薄机 2套 晶圆规格：8英寸硅晶圆、厚度范围（200～1800）μm 研磨轴转速范围：（1000～3600）rpm 研磨轴进给速率范 查看详情>>
06招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之揭膜机（重新招标）项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备):3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:（1）投标人是响应招标、已在招标人或招标机构处领购招标文件并参加投标竞争的法人或其他组织。任何未在招标人或招标机构处领购招标文件的法人或其他组织 查看详情>>
04招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之化学机械抛光系统（重新招标）项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备):3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:（1）投标人是响应招标、已在招标人或招标机构处领购招标文件并参加投标竞争的法人或其他组织。任何未在招标人或招标机构处领购招标文件的法人 查看详情>>
03招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之大束流离子注入机项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备):3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:（1）投标人是响应招标、已在招标人或招标机构处领购招标文件并参加投标竞争的法人或其他组织。任何未在招标人或招标机构处领购招标文件的法人或其他组织均 查看详情>>
19招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之金属溅射机（重新招标）项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备):3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:（1）投标人是响应招标、已在招标人或招标机构处领购招标文件并参加投标竞争的法人或其他组织。任何未在招标人或招标机构处领购招标文件的法人或其他 查看详情>>
备用途：主要用于对8英寸MEMS工艺中金属刻蚀前光刻胶固化工艺。资金到位或资金来源落实情况:资金已到位项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:0709-244035614009招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之UV固胶机（重新招标）项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设 查看详情>>
06招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之揭膜机（重新招标）项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备):序号 产品名称 数量 简要技术规格备注1 揭膜机 2台 Load/Unload单元Load/Unload单元用于晶圆上/下片传输，采用Robot手臂真空吸附的方式将晶圆从SMIF Pod内 查看详情>>
03招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之大束流离子注入机项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备):序号 产品名称 数量 简要技术规格备注1 大束流离子注入机 1台 主要用于产品的大束流注入工艺。晶圆规格：8英寸（直径200mm），notch晶圆；晶圆厚度：400μm~900μm；注入杂质 查看详情>>
05招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之贴膜机（重新招标）项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备):序号 产品名称 数量 简要技术规格备注1 贴膜机 2台 Load/Unload单元Load/Unload单元用于晶圆上/下片传输；采用Robot 手臂真空吸附的方式将晶圆从SMIF Pod 查看详情>>
17招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之蒸发台（重新招标））项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备):序号 产品名称 数量 简要技术规格备注1 蒸发台 3套 工艺腔室本底真空：优于3E-7Torr；真空抽速：室温下30分钟从大气抽到3E-6Torr或更优；真空室漏率：＜7.5E-10To 查看详情>>
17招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之蒸发台（重新招标））项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备): 序号 产品名称 数量 简要技术规格 备注 1 蒸发台 3套 工艺腔室本底真空：优于3E-7Torr； 真空抽速：室温下30分钟从大气抽到3E-6Torr或更优； 真空室漏率：＜7 查看详情>>
04招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之化学机械抛光系统（重新招标）项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备):序号 产品名称 数量 简要技术规格备注1 化学机械抛光系统 1台 新增化学机械抛光系统能够同时进行晶圆表面二氧化硅、多晶硅和硅抛光工艺，且相互之间不影响。设备构成：由EFEM单元 查看详情>>
05招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之贴膜机（重新招标）项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备):3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:（1）投标人是响应招标、已在招标人或招标机构处领购招标文件并参加投标竞争的法人或其他组织。任何未在招标人或招标机构处领购招标文件的法人或其他组织 查看详情>>
03招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之大束流离子注入机项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备): 序号 产品名称 数量 简要技术规格 备注 1 大束流离子注入机 1台 主要用于产品的大束流注入工艺。 晶圆规格：8英寸（直径200mm），notch晶圆； 晶圆厚度：400μm~90 查看详情>>
17招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之蒸发台（重新招标））项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备):3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:（1）投标人是响应招标、已在招标人或招标机构处领购招标文件并参加投标竞争的法人或其他组织。任何未在招标人或招标机构处领购招标文件的法人或其他组 查看详情>>
20招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之减薄机（重新招标）项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备):序号 产品名称 数量 简要技术规格备注1 减薄机 2套 晶圆规格：8英寸硅晶圆、厚度范围（200～1800）μm研磨轴转速范围：（1000～3600）rpm研磨轴进给速率范围：（0.1～1 查看详情>>
04招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之化学机械抛光系统（重新招标）项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备): 序号 产品名称 数量 简要技术规格 备注 1 化学机械抛光系统 1台 新增化学机械抛光系统能够同时进行晶圆表面二氧化硅、多晶硅和硅抛光工艺，且相互之间不影响。 设备构成： 查看详情>>
20招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之减薄机（重新招标）项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备):3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:（1）投标人是响应招标、已在招标人或招标机构处领购招标文件并参加投标竞争的法人或其他组织。任何未在招标人或招标机构处领购招标文件的法人或其他组织 查看详情>>
05招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之线宽测试仪(非金属）项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备):序号 产品名称 数量 简要技术规格备注1 线宽测试仪(非金属） 3 移动范围：X轴和Y轴0~200mm。其他参数详见第八章无3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:① 投标人如为境内 查看详情>>
