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的结构，实现对真空扩散炉的控制，包括对电机、温度、质量流量计和电磁阀/气动阀等进行控制 ；上位机监控软件具有的人机对话界面，能手动控制气体流量、电机、温度，或按工艺编辑的数据自动运行 ；全套软件可在全中文环境下操作，提供全面操作提示，操作人员可以观察各种工艺参数 重要否 11 上位机监控系统可对设备 查看详情>>
需求书。120是2扩散炉3（套）具体参数详见需求书。90否3MBE 分子束外延1（套）具体参数详见需求书。1000是4MOCVD Aixtron CRIUS11（套）具体参数详见需求书。250是5离子减薄机1（套）具体参数详见需求书。120是精研一体机1（套）具体参数详见需求书。50是1、经政府采购 查看详情>>
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