功率可以预先设置；射频电源1台，频率13.56 MHz，要求自动匹配；7.靶挡板：靶上有气动水平打开式挡板，角度与靶倾斜角度同步可调，要求磁流体密封；8.速率和膜厚监控：采用膜厚监控仪在线监控溅射速率和膜厚，1只水冷探头；膜厚仪速率显示分辨率±0.1 ā/s，厚度显示分辨率±1ā；9.气路系统：不少 查看详情>>
属溅射 问题。9 射频电源：13.56MHz高频射频电源，自动阻抗匹配原位等离子体源。射频功率：0-75瓦。10 气体输入：多达三个质量流量控制气体输入(0~100sccm) 。 另一个用于排气和吹扫的端口。1/4英寸世伟洛克压缩接头。11 用户界面：7英寸电阻式触摸屏，手指触摸，无需触控笔。 质保 查看详情>>
否 12 射频电源1台：不小于750W的射频电源, 自动匹配，频率: 13.56MHz, 误差不超过± 0.005 %，最大输出功率(W): 600W，最小输出功率(W):2W，反射功率极限(W): 小于200W。 重要 否 否 13 溅射靶枪：4个3英寸圆形靶枪共焦向上（或向下 查看详情>>
定工作，兼容直流/射频电源溅射；溅射电源：2台1000W全自动匹配射频溅射电源；质量流量计：100sccm、50sccm 质量流量控制器各1套；控制方式：采用PLC+触摸屏全自动控制系统；前级阀：GDQ-40b 气动挡板阀；进气阀：Φ6mm，电磁截止阀；放气阀： Φ10mm，电磁截止阀；靶材：铜靶材 查看详情>>
G24040072射频电源 采购单位:季华实验室 报价要求: 发票类型:增值税专用发票 币种:人民币 预算: 签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同 送货时间:合同签订后7天内送达 安装要求:免费上门安装（含材料费） 收货地址:广东省/佛山市/南海区/**** 付款方式:预付30%，验收后付70% 查看详情>>
个凡谷电子自动匹配射频电源，最大输出功率 750W；9、100*100MM 偏压工件台，转速 0-25RPM 可调节；10、控制系统采用德国西门子 PLC+德国西门子触摸屏人机界面手自动控制系统，具备完善的安全互锁保护功能；图形可视化操作界面。 质保及售后服务按行业标准提供服务 信息来自：https 查看详情>>
3519光谱仪RF射频电源控制箱试验室设备配件;型号规格:G8010-87301(RF射频组件内的电源控制箱) 规格:G8010-87301(RF射频组件内的电源控制箱);实际使用:使用区域:1550/2050试验室;主机名称:5100/5110等离子体光谱仪,仪器序列号:MY16120012;1s 查看详情>>
G24040072射频电源 采购单位:季华实验室 报价要求: 发票类型:增值税专用发票 币种:人民币 预算: 签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同 送货时间:合同签订后7天内送达 安装要求:免费上门安装（含材料费） 收货地址:广东省/佛山市/南海区/**** 付款方式:预付30%，验收后付70% 查看详情>>
m不锈钢管； 3、射频电源及匹配器2台，功率不小于600W，全自动调谐； 4、直流电源1台,功率不小于500W，液晶屏显示，具有灭弧功能； 5、脉冲偏压电源1台，功率不小于500W； 6、高压电源1台,阳极电压4000V,输出电压为0-4000V,输出电流为0-3mA调节方式,具有高压瞬态抑制。 查看详情>>
m不锈钢管； 3、射频电源及匹配器2台，功率不小于600W，全自动调谐； 4、直流电源1台,功率不小于500W，液晶屏显示，具有灭弧功能； 5、脉冲偏压电源1台，功率不小于500W； 6、高压电源1台,阳极电压4000V,输出电压为0-4000V,输出电流为0-3mA调节方式,具有高压瞬态抑制。 查看详情>>
m不锈钢管； 3、射频电源及匹配器2台，功率不小于600W，全自动调谐； 4、直流电源1台,功率不小于500W，液晶屏显示，具有灭弧功能； 5、脉冲偏压电源1台，功率不小于500W； 6、高压电源1台,阳极电压4000V,输出电压为0-4000V,输出电流为0-3mA调节方式,具有高压瞬态抑制。 查看详情>>
.1 L [8] 射频电源≥3 W-300 W [9] 射频输出接口 ≥50 Ω, N-type, female 五、附件 序号 附件名称 上传时间 大小 操作 本页面提供的内容由采购人发布，广东省教育部门零散采购竞价系统及其运营单位对其内容概不负责，亦不承担任 查看详情>>
13.56 MHz射频电源0~100 W可调，最大满功率不大于100 W，输出功率1~100W可调，最小稳定工艺功率3 W，功率调节精度0.1 W3、样片控温范围：5 ℃～室温，控温精度±1 ℃*4、工艺腔材质为半导体级铝材，内径不大于350mm，内壁经耐腐氧化处理*5、工艺腔内壁带有内衬，内衬表面 查看详情>>
止工作。 六、所含射频电源及匹配器 1、输出功率： 0-300W 2、功率稳定度 ：≤±0.5% 3、输出频率 ：13.56MHz 4、频率信号 ：标准正玄波 5、输入电压 ：AC180-250V 6、输入电流： 3A 7、输出阻抗 ：50？ 8、承受驻波比： >3.0 9、冷却方式 ：风冷 查看详情>>
6 射频电源及匹配器 1 个 品牌 无推荐品牌 型号 无推荐型号 技术规格及参数 1、输出功率： 0-300W2、功率稳定度 ：≤±0.5%3、输出频率 ：13.56MHz4、频率信号 ：标准正玄波5、输入电压 ：AC180-250 查看详情>>
直流电源（1台）、射频电源（3台）、工作气路、真空获得系统、安装机台、真空测量、水冷却及报警系统和控制系统等部分组成，可用于金属薄膜、半导体膜等的制备。主要技术指标如下：1.单腔体沉积室：尺寸不小于Ф450mmx400mm，304优质冷轧板不锈钢真空腔室；前开门结构设计。 非常重要 否 2 查看详情>>
业其他备注图片采购射频电源TruPlasma RF1O03面议面议其他电源----收货地：广东 广州采购类型：全新发票要求：不需要发票报价地址：报价地址 查看详情>>
控制高低温等离子体射频电源、点火器；6.10、工控机内存≥32GB，硬盘容量≥1TB；7.设备尺寸规格7.1、占地尺寸：3.0x3.0m；7.2、设备总高：2.4m；7.3、设备总重：7.5吨；7.4、设备功率：15 KW；7.5、供电电源：三相380V /220V，50Hz；8.1、供方需提供2套 查看详情>>
10 10、 射频电源频率: 13.56 MHz 稳定性±0.005% ； 重要 否 11 11、最大反向功率: 200W ； 非常重要 是 12 12、等离子体射频电源：射频电源电子输出端口: 50 Ω, N型半导体, 阴极， 噪音: <50 dB，冷却: 风冷，电源 查看详情>>
6、射频源还包括射频电源； 重要 否 7 7、射频源电源频率：13.6MHz； 重要 否 8 8、射频源电源功率：不低于2.5kW；（需提供简要设计方案） 非常重要 是 9 9、射频源需与甲方提供的真空室上位机进行控制集成，实现远程操作； 重要 否 10 1 查看详情>>
数1、 溅射电源：射频电源300W；*大输出电压600V，极限输出电流500mA2、 磁控靶：2英寸平衡靶，配磁耦合挡板；3、 磁控靶适用靶材： φ50mm x 3mm厚4、 腔体尺寸：外径φ194mm ，内径186mm x 高230mm；5、 腔体材质： 304不锈钢6、 旋转加热样品台：转速1~ 查看详情>>
13.56MHz，射频电源输出功率的精度优于满量程的+/-1%或者度数的+/-3%，电源长时间输出稳定性优于+/-0.5%，输入功率：90-125V或190-264V，1P 47-63Hz；直流电源，检测打弧时间：≤1ms，输入电压：85-275VAC，最大电弧频率：50电弧/秒，操作模式：高压直流 查看详情>>
50x2703、*射频电源功率：300W4、*射频频率：40KHz5、频率偏移量：小于0.2KHz6、等离子体轰击：从上往下7、*腔体内温度：＜50℃ @180秒8、清洗时间：0- 800S 可调9、*功率调节：连续可调10、显示屏：4.3英寸触摸屏11、*操作控制：提供中英文操作界面，触摸屏控制1 查看详情>>
.等离子系统：配备射频电源，频率≥13.56MHz，功率不小于1000W，冷却方式为风冷。功率输出稳定度及功率调节精度不大于10W，功率转化效率不小于65%，杂散功率抑制不小于-60dBc，谐波抑制不小于-50dBc。 非常重要 是 14 14.工艺及服务： 工艺验收标准：8英寸（直径20 查看详情>>
膜真空计；(8)、射频电源及自动匹配器：不小于1000W，1套；不小于600W，1套；(9)、质量流量控制器：不少于6台；(10)、工艺气路：不少于6条；(11)、射频耦合电极及射频引入器1套；(12)、偏压电极及射频引入器1套；(13)、射频同步器：内置；(14)、自动控制系统1套，含PLC模块、 查看详情>>
离子电源：600W射频电源（13.56MHz）真空泵：抽速60m3/h电极：循环水冷，控制工作温度真空腔体：进口铝材，军工级焊接，真空泄露≤10pa/min，最小真空度≤3pa工艺气体：配置3路工艺气体，金属管路，可根据工艺需求搭配气体气体流量：单路0-500sccm可设处理空间：有效四层处理空间， 查看详情>>
C进行通讯控制3、射频电源：1台500w 射频电源+自动匹配器，电源具有485通讯接口和PLC进行通讯控制。4、系统控制软件：1套 采用组态软件编写，触摸屏控制软件，要求能按照用户要求设计，能保存和设置、下载、存牌工艺配方。质保及售后服务1.首次安装，卖方提供上门调试服务。2.在质量保证期内，非人为 查看详情>>
00K3000W的射频电源面议(个)面议其他电源----收货地：广东 深圳采购类型：全新发票要求：不需要发票报价地址：报价地址 查看详情>>
13.56 MHz射频电源，功率1%-100%可调，配备自动匹配器，匹配时间精度小于等于5秒。 非常重要 否 13 等离子体系统与控制界面集成，可在界面上查看等离子体入射功率及反射功率的实时动态曲线和历史曲线，便于分析实验数据。 非常重要 否 14 配备臭氧发生器、臭氧破坏器、控 查看详情>>
片采购KYOSAN射频电源匹配希面议(台)面议电子产品维修安装----收货地：广东 深圳采购类型：全新发票要求：不需要发票报价地址：报价地址 查看详情>>
-27.12MHz射频电源采购单位:季华实验室报价要求:发票类型:增值税专用发票币种:人民币预算:签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同送货时间:合同签订后7天内送达安装要求:免费上门安装（含材料费）收货地址:广东省/佛山市/南海区/****付款方式:货到验收合格后付款备注说明:参与竞价请上传盖章报 查看详情>>
270Lmm3、*射频电源功率：160W4、*射频频率：13.56MHz5、频率偏移量：小于0.2KHz6、等离子体轰击：从四周向中间7、*腔体内温度：＜32℃ @1800秒8、清洗时间：0- 1800S 可调9、*功率调节：高中低三档可调10、显示屏：4.3英寸触摸屏11、*操作控制：提供中英文操 查看详情>>
0-300W可调 射频电源频率：13.56MHZ三和波达 频率偏移量：小于0.2KHz 特性阻抗：50Ω，自动匹配 真空度测量：高真空规电子测量,真空硅范围1-100pa气路输入：2路 流量控制：一路高精密电子流量计七星 可输入气体：氧气、氩气、氮气、氢气 真空度：10-30pa 清洗时间：1-60 查看详情>>
），兼容直流电源和射频电源； 8. 直流溅射电源：≥500W，至少2台； 9. 质量流量计：20sccm±0.5sccm、50sccm±0.5sccm质量流量控制器至少各一套； 10. 控制方式：PLC+触摸屏智能控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障自检、保养维护提示等功能； 11. 设备外形：不 查看详情>>
），兼容直流电源和射频电源；8. 直流溅射电源：≥500W，至少2台；9. 质量流量计：20sccm±0.5sccm、50sccm±0.5sccm质量流量控制器至少各一套；10. 控制方式：PLC+触摸屏智能控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障自检、保养维护提示等功能；11. 设备外形：不超过L7 查看详情>>
流电源、全自动匹配射频电源、样品台、样品加热炉、泵抽系统、真空测量系统、气路系统、电控系统等组成。（提供彩页证明材料或厂商出具其他证明材料） 重要 是 3 主机参数：DC电源：数字式 电压0-500V 电流 0-1A；RF电源：全自动调谐。（提供彩页证明材料或厂商出具其他证明材料） 重要 查看详情>>
： 配两套不同功率射频电源指标及自动匹配器，分别不低于1000W；500W。 重要 否 9 ★主机参数： 射频阴极尺寸：不小于Φ200mm，刻蚀距离可自动调节，调节范围：20mm-80mm，调节精度：1mm。（提供彩页证明材料或厂商出具其他证明材料） 非常重要 是 10 主机参数 查看详情>>
A01规格参数用于射频电源质保及售后服务按行业标准提供服务序号2采购内容三磁芯共摸电感数量20预算单价品牌CATECH型号CA03规格参数用于射频电源质保及售后服务按行业标准提供服务 查看详情>>
A01规格参数用于射频电源质保及售后服务按行业标准提供服务序号采购内容数量预算单价2三磁芯共摸电感20.0品牌CATECH型号CA03规格参数用于射频电源质保及售后服务按行业标准提供服务信息来自：https://www.easyjcx.com/?#/purchase/detail/0ddb45049 查看详情>>
