精度：±2μm自带旋涂仪模块等技术指标要求；目前只有ABM, Inc.公司制造的型号为ABM/8/500/DUV/DCCD/BSV/SA的紫外光刻机能够满足我们的实验要求，并有多个成功搭建的案例，香港矽晶微电子实业公司是ABM公司紫外光刻机相关产品在中国华东地区的授权代理，因此申请采用单一来源采购方 查看详情>>
内，手套箱B内放置旋涂仪，两个手套箱连接样品可以在保护环境下在2个手套箱内进行传递；此外系统含有真空获得及测量系统、膜厚测量、电源及控制系统等。（二）主要技术性能指标：1、镀膜机的真空获得与测量：1.1 真空获得真空蒸发镀膜系统为一套涡轮分子泵+机械泵机组，设计有旁路抽气回路。1.2 系统真空指标1 查看详情>>
