+旋片式机械泵+高真空阀门组合的高真空系统，数显复合真空计；Load-lock室：旋片式机械泵+阀门组合的真空系统，数显真空计；溅射室极限：4.0×10-5Pa（空载，经烘烤除气后）；Load-lock室极限：3.0×10-1Pa（空载，经烘烤除气后）；溅射室抽速：空载）从大气抽至4.0×10-4P 查看详情>>
+旋片式机械泵+高真空阀门组合的高真空系统，数显复合真空计；4、Load-lock室：旋片式机械泵+阀门组合的真空系统，数显真空计；5、溅射室极限：4.0×10-5Pa（空载，经烘烤除气后）；6、Load-lock室极限：3.0×10-1Pa（空载，经烘烤除气后）；7、溅射室抽速：（空载）从大气抽至 查看详情>>
