真空管路、真空泵、真空阀门、法兰和腔体支撑件等。要求真空腔体可以提供10-7Torr或更高真空度；能够提供足够稳定的振动绝缘性能，确保散射信号在长时间曝光情况下不受外界环境影响；软X射线与样品的相互作用、散射信号收集、样品原位测试等表征内容均在真空腔体内进行。要求供应商能够根据实验站技术方案及指标要 查看详情>>
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