3套分子泵机组及高真空阀门，具备真空测量功能（真空规+真空计），机组抽速≥620L/S, 分子泵极限真空度≤1E-6Pa；12、密封件有无氧铜垫圈和氟橡胶密封圈及不锈钢固定螺栓，并有一套备件；13、四个真空腔都是蝶形封头上开盖结构，并且双侧带有气弹簧助力提拉拉杆，确保可以单人打开。交付时间要求：三个 查看详情>>
于安装气阀，水阀和真空阀；6、设备采用LED照明，照明和杀菌系统应有互锁功能；7、前窗玻璃采用7.5毫米厚的多层安全玻璃制成，具有符合DIN 标准EN 356的UVC防护。8、安全柜含有一个外排和一个下降风的HEPA过滤模块，过滤器符合EN1822标准H14级别。HEPA 过滤器在最大穿透粒径 (M 查看详情>>
S) 件 200 真空阀 HVB712-15F-12B-3M-AC100V 个 1 cap sensor 0100-00084 个 1 Encoder线 0150-70014 个 2 I/O PCB 3161081 件 1 INPUT PCB 3161101 件 1 spring clip 0020 查看详情>>
空规；7.两个超高真空阀门；8.两个recess光学视窗，N.A.＞0.5，增透镀膜；9.一个吸气泵和一个钛升华泵；10.具有磁屏蔽系统；11.在真空系统周围集成光学面包板；12.真空支持上门安装和调试，质保2年；配置清单： 1.八面体超高真空玻璃腔 1件2.复合泵和控制器 1 套3.超高真空规和电 查看详情>>
7. 内置两个超高真空阀门；8. 集成两个recess光学视窗，N.A.＞0.5，增透镀膜；9. 集成吸气泵和钛升华泵；10. 集成磁屏蔽系统；11. 在真空系统周围集成光学面包板；交付时间要求：在签订合同后24周内交货；交付地点：在中山大学实验室；售后服务要求：质保2年，协助安装调试。预计采购时间 查看详情>>
、晶圆适配器、超高真空阀门、预处理腔室、传样室、辅助控制系统等。预计采购时间:2022-9联系人:谭老师联系电话:*备注:无本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准function ResizeToScreen(id, pX, 查看详情>>
储气罐、真空管道、真空阀门、腔外过滤总成等组成的成套真空系统。系统模拟可应用于电子半导体、光电背光模组、机械加工等测试环境。真空系统自启动后，全部运行过程可以实现全自动控制。测试真空系统内各处的真空度需要控制在其允许范围内上下波动，其波动范围可根据用户要求进行调整，并对相应刻蚀及沉积工艺气体具备一定 查看详情>>
由真空泵组、冷阱、真空阀和不锈钢真空管道等部件组成 1）★冷态极限真空度：≤6.67×10-3Pa (空炉、冷态) 2）★压升率：≤5.0×10-2Pa/min (空炉、冷态) 3）▲工作气氛：真空及惰性气体（可充氩气）保护方式熔炼，压力≤0.1MPa 4）▲抽气时间：≤15min（从常压达到1Pa 查看详情>>
、具有水阀、气阀、真空阀等阀门预留孔，位于安全柜左右两侧，操作更加灵活方便 23、噪音≤65分贝 24、外形尺寸：整体高度（含可移动支架）≤2130mm（最低可至2030mm），工作区内部工作尺寸宽度要求≥1550mm 优先考虑环保节能产品，优先落实国家中小企业有关采购政策54,000.002022 查看详情>>
；2.插板阀等各类真空阀门若干、气体流量计若干、真空零配件若干；3.真空腔室漏率小于5×10E-10Pa.M3/S，材质为S316L优质不锈钢，氩弧焊接工艺，金属密封接口，内外表面采用镜面抛光工艺；4.配备高精度扫描位移功能的脉冲激光器专用支架；5.配备耐高温条件的多靶位大口径溅射靶材专用靶机； 遵 查看详情>>
、具有水阀、气阀、真空阀等阀门预留孔，位于安全柜左右两侧，操作更加灵活方便。24、噪音≤63分贝。▲25、外形尺寸：高度≤2130mm。工作区宽度：单人≥950mm；双人≥1250mm。26、工作区间照明度： >1000 lux。三、主要配置需求主机，外排接口，外排管道（4米），喉箍，固定式支 查看详情>>
