23年4月7日48原子层沉积系统本次拟采购的原子层沉积系统主要用于硅片及Pattern上制备氧化铪，氧化钛，铪锆氧掺杂等High-K介质薄膜，并采用先进的掺杂工艺用于High-K介电薄膜的研究，低温生长工艺用于存储芯片解剖和性能分析研究及未来SAMs自组装单分子层的薄膜沉积生长，用于存储器封装技术的 查看详情>>
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7/04招标范围：原子层沉积系统 ，1套招标机构：中科高盛咨询集团有限公司招标人：辽宁材料实验室开标时间：2023-09-01 09:30公示时间：2023-09-04 13:08 - 2023-09-07 23:59中标结果公告时间：2023-09-08 10:18中标人：北京时代天启真空科技有限 查看详情>>
7/04招标范围：原子层沉积系统 ，1套招标机构：中科高盛咨询集团有限公司招标人：辽宁材料实验室开标时间：2023-09-01 09:30公示时间：2023-09-04 13:08 - 2023-09-07 23:59中标结果公告时间：2023-09-08 10:18中标人：北京时代天启真空科技有限 查看详情>>
/04 招标范围：原子层沉积系统 ，1套 招标机构：中科高盛咨询集团有限公司 招标人：辽宁材料实验室 开标时间：2023-09-01 09:30 公示时间：2023-09-04 13:08 - 2023-09-07 23:59 中标结果公告时间：2023-09-08 10:13 中标人：北京时代 查看详情>>
23年4月7日48原子层沉积系统本次拟采购的原子层沉积系统主要用于硅片及Pattern上制备氧化铪，氧化钛，铪锆氧掺杂等High-K介质薄膜，并采用先进的掺杂工艺用于High-K介电薄膜的研究，低温生长工艺用于存储芯片解剖和性能分析研究及未来SAMs自组装单分子层的薄膜沉积生长，用于存储器封装技术的 查看详情>>
/04 招标范围：原子层沉积系统 ，1套 招标机构：中科高盛咨询集团有限公司 招标人：辽宁材料实验室 开标时间：2023-09-01 09:30 公示开始时间：2023-09-04 13:08 评标公示截止时间：2023-09-07 23:59 中标候选人名单： 候选人排名 投标商名称 制造商 查看详情>>
7/04招标范围：原子层沉积系统 ，1套招标机构：中科高盛咨询集团有限公司招标人：辽宁材料实验室开标时间：2023-09-01 09:30公示开始时间：2023-09-04 13:08评标公示截止时间：2023-09-07 23:59中标候选人名单： 候选人排名 投标商名称 制造商 制造商国别及地 查看详情>>
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要技术规格备注1 原子层沉积系统 1套 详见技术部分3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:无是否接受联合体投标:不接受未领购招标文件是否可以参加投标:不可以4、招标文件的获取招标文件领购开始时间:2023-08-11招标文件领购结束时间:2023-08-18是否在线售卖标书:否获取招标文件方式 查看详情>>
格 备注 1 原子层沉积系统 1套 详见技术部分 3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:无是否接受联合体投标:不接受未领购招标文件是否可以参加投标:不可以4、招标文件的获取招标文件领购开始时间:2023-08-11招标文件领购结束时间:2023-08-18是否在线售卖标书:否获取招标 查看详情>>
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格 备注 1 原子层沉积系统 1套 详见技术部分 3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:无是否接受联合体投标:不接受未领购招标文件是否可以参加投标:不可以4、招标文件的获取招标文件领购开始时间:2023-08-03招标文件领购结束时间:2023-08-10是否在线售卖标书:否获取招标 查看详情>>
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