废气配备4套水洗式尾气处理器（ICP-scrubber）处理再进入再进入酸性废气喷淋塔处理，沉积废气配备的6套PECVD尾气处理器（燃烧桶+水洗式尾气处理器）处理后再进入酸性废气喷淋塔处理，酸碱废气拟配备1套喷淋塔设备净化处理后通过1根15m排气筒高空排放；光刻、有机清洗废气经1套采喷淋塔+干式过滤 查看详情>>
废气配备4套水洗式尾气处理器（ICP-scrubber）处理再进入再进入酸性废气喷淋塔处理，沉积废气配备的6套PECVD尾气处理器（燃烧桶+水洗式尾气处理器）处理后再进入酸性废气喷淋塔处理，酸碱废气拟配备1套喷淋塔设备净化处理后通过1根15m排气筒高空排放；光刻、有机清洗废气经1套采喷淋塔+干式过滤 查看详情>>
