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“福建射频电源”中标结果信息

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13.56 MHz射频电源,功率1%-100%可调,配备自动匹配器,匹配时间≤5秒。 5) 等离子体系统与控制界面集成,可在界面上查看等离子体入射功率及反射功率的实时动态曲线和历史曲线,便于分析实验数据。 4、臭氧源系统: 1) 配备臭氧发生器、臭氧破坏器、控制臭氧的质量流量控制器; ▲2) 臭氧发 查看详情>>
13.56 MHz射频电源,功率1%-100%可调,配备自动匹配器,匹配时间≤5秒。5) 等离子体系统与控制界面集成,可在界面上查看等离子体入射功率及反射功率的实时动态曲线和历史曲线,便于分析实验数据。4、臭氧源系统:1) 配备臭氧发生器、臭氧破坏器、控制臭氧的质量流量控制器;▲2) 臭氧发生器产量 查看详情>>
93%。8. 1套射频电源,带自动匹配器,输出功率区间0~600W,13.56MHZ:①输入频率50~60Hz;▲②最大输出功率600W;▲③最小输出功率10W;④输出频率13.56MHz±0.005%;⑤谐波-50dBc;▲⑥功率稳 定性:设定值的1%或额定功率的0.2%(两者取较大值);⑦匹配器 查看详情>>
永磁靶,配两套进口射频电源、一套进口直流电源,配备3条气路;手套箱为三工位,水氧指标均小于0.1ppm;要求制备出高性能的正极(容量大于60μAh/cm2/μm)和固态电解质薄膜(电导率大于1×10-4S/cm);同批次镀膜厚度均匀性≤3%。售后服务商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训;质保期2年 查看详情>>
处理,防腐处理3.射频电源:等离子体源1000W,13.56MHz;偏置源≥300W,13.56MHz;4.控压阀门:蝶阀自动控压5.温度控制:载片台温度可控(循环水冷),背氦控温6.真空测量:工艺薄膜规,皮拉尼真空计7.工艺气体:5路气体(种类或客户可指定);8.控制系统:电气系统和软件控制全自主 查看详情>>
   虚拟仿真实验系统(A-WZBX0372)成交结果公告

中标结果 | 2022-11-10丨 福建

溅射靶、直流电源、射频电源、工作气路、抽气系统、安装机台、真空测量及计算机控制系统等部分组成。(2)实验内容打开水冷系统和电源总控。开腔装样品。向溅射室内充入干燥氮气至大气压,使溅射室内氮气压力与大气压力平衡后即手动打开前门,将的样品放在样品托上,然后再将溅射室前门关闭。抽真空。启动机械泵粗抽真空。 查看详情>>
   福建经发-竞争性谈判-2021-JF243射频电源结果公告

中标结果 | 2021-12-07丨 福建

信息:采购项目名称射频电源品目货物/其他货物/其他不另分类的物品采购单位厦门理工学院行政区域厦门市公告时间2021年12月07日16:41评审专家(单一来源采购人员)名单许东晓、朱伟伟、林美爱总成交金额¥14.910000 万元(人民币)联系人及联系方式:项目联系人(王先生/吴小姐)项目联系电话05 查看详情>>
   射频电源模组等离子体清洗装置中标结果

中标结果 | 2019-12-10丨 福建

名称:厦门理工学院射频电源模组等离子体清洗装置采购项目主要内容(用途、数量、简要技术要求、招标项目性质):射频电源模组等离子体清洗装置;数量:1批;具体详见采购文件。来源:社会委托 采购方式:竞争性谈判 定标日期(确定成交日期):2019-12-09本项目信息公告日期:2019-11-29中标、成交 查看详情>>
2-厦门理工学院 射频电源模组等离子体清洗装置采购公告品目货物/其他货物/其他不另分类的物品采购单位厦门理工学院行政区域厦门市公告时间2019年12月10日11:31本项目招标公告日期2019年11月29日成交日期2019年12月09日谈判小组、询价小组成员、磋商小组成员名单及单一来源采购人员名单吴 查看详情>>
台。 3.4 国产射频电源1套,恒流源两套,三只磁控靶可单独工作或共溅射工作。 3.5 流量显示仪一套。 4.工作条件:供电:380V供电系统,三线五项制。工作环境温度:10℃~40℃。 5.工作台由机架、围板组成,机架是该设备的骨架,采用优质角钢焊接而成,安装着支撑部件,电控部分安装在工作台的内部 查看详情>>
建瓯市水源中心幼儿园音响设备采购公告成交结果公告 采购编号: JO170310007 采购 查看详情>>
   阵列式有机薄膜沉积系统中标结果

中标结果 | 2017-01-11丨 福建

3.56 MHz 射频电源)2.气体:O2 和CF4 (2 个通道)3.气体流量:2套气体流量控制系统(MFC), (O2 流量 800 Scc/m, CF4 流量0-500 Scc/m)4.背景真空度:10-2 mbar5.腔体尺寸:(内部宽/高/深) 330 x 229 x 483 mm服务要求 查看详情>>
3.56 MHz 射频电源)2.气体:O2 和CF4 (2 个通道)3.气体流量:2套气体流量控制系统(MFC), (O2 流量 800 Scc/m, CF4 流量0-500 Scc/m)4.背景真空度:10-2 mbar5.腔体尺寸:(内部宽/高/深) 330 x 229 x 483 mm服务要求 查看详情>>
   反应离子刻蚀机中标结果

中标结果 | 2013-09-02丨 福建

0min;★12、射频电源:频率 13.56MHz,600W,进口;13、电极尺寸:Φ200mm主要配置及要求:1、真空腔室:1.1 圆筒形,自动上掀盖单室结构,1.2 材料:材料为铝或304钢,氩弧焊接,腔室表面抛光、喷丸处理; 1.3 腔室尺寸:不小于Ф300mm×H100mm; 1.4 必要的 查看详情>>
   综合指挥信息中心中标结果

中标结果 | 2012-09-20丨 福建

福州承哲招标代理有限公司 - ZFCZZB-2012151中标公告 071 ZFCZZB-20121 查看详情>>
   学院服务器中标结果

中标结果 | 2010-12-24丨 福建

、工作电源:(1)射频电源 RF500W,频率13.56MHz;(2)含功率匹配器,功率可调;5、气路系统:四路可调节、控制工作气体流量;50SCCM:(氢气及硅等)各1路, 100 SCCM:两路;预留一路;6、真空获得系统:(1)采用“分子泵+机械泵”准无油高真空系统;分子泵抽速:110L/S; 查看详情>>
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