热系统、直流电源、射频电源、工作气路、真空获得系统、安装机台、真空测量、水冷却及报警系统、设备电控系统和控制系统等部分组成。 二、系统主要功能 高真空磁控溅射薄膜沉积系统通过直流溅射及射频溅射方式进行镀膜，可以实现各种金属、合金薄膜、非金属薄膜、化合物薄膜的制备。可溅射材料包括各种金属、合金薄膜、非 查看详情>>
：13.56Mhz射频电源，0-1000W,功率可调；腔体容积：500(W)*500(D)*500(H)mm；两路工艺气路，流量范围0-300ml/min；有效处理面积：400*400mm。售后服务服务网点:外地;质保期限:1年;响应期限:报修后48小时;资产与实验室管理部2022-12-20 查看详情>>
量：3个（两个配套射频电源用于非导电靶材的溅射镀膜，一个配套直流电源用于导电性材料的溅射镀膜）2.直流溅射功率：≥300 W3.射频溅射功率：≥300 W4.靶枪冷却方式：水冷5.靶材规格：Φ2"，厚度0.1-5 mm6.样品台尺寸：≥Φ70 mm7.样品台加热范围：室温～1000 ℃8.样品台转速 查看详情>>
。舱体容积3.8L射频电源 13.56MHz匹配器 自动匹配射频功率 10-150W可调气体控制 双浮子流量计（标配）有效处理尺寸 L200xW155mm产品尺寸 L425xW420xH465mm包装尺寸 L560xW545xH730mm时间设定1-99分59秒真空泵 抽速4-8m3/h气体稳定时间 查看详情>>
2)磁控靶电源：射频电源（500W）1台，直流电源（500W）3台；3)溅距：靶与样品距离40～140mm手动连续可调，并有调位距离指示；4)隔离：靶配有屏蔽罩，以避免靶材之间的交叉污染。3、样品台系统：1套1)可升降，可旋转（采用步进电机联动，转速0～20转／分连续可调）；2)加热，室温-800 查看详情>>
) 磁控靶电源： 射频电源（500W） 1 台， 直流电源（500W） 3 台；3) 溅距： 靶与样品距离 40～80mm 可调（根据客户要求），并有调位距离指示；4) 隔离： 靶配有屏蔽罩，以避免靶材之间的交叉污染。3、样品台系统： 1 套1) 可升降，可旋转（采用步进电机联动，转速 0～40 转 查看详情>>
500w全自动调谐射频电源，2台；（可在三靶间实现手动切换），品牌为中山昊源；2.7 、500W直流电源，1台，品牌为吉兆源；2.8 、磁控靶与基片的距离可调，调节距离为：90~130mm。 3 、旋转加热基片台 3.1、基片尺寸和数量：最大可放置1片4英寸圆形样品；3.2、基片通过铠装加热器加热方 查看详情>>
频电源+射频匹配器(GY202105299)自购结果公示 发布时间：2021-09-27该项目经自行采购程序，允许自购： 供应商： 山东辐凑电子科技有限公司 中标金额： 44000 公示开始日期2021-09-27公示截止日期2021-09-28 09:14:48采购单位物理学院付款方式国产 查看详情>>
X330mm14、射频电源功率：最大300W，频率：13.56MHZ15、油泵：19.5CFM， 16、设备尺寸： 569(宽) x 869(进深) x 704(高) 毫米17、设备重量：221Kg18、通过样品清洗测试完成。使用March测试时使用的相同样品，能够得到相近的清洗结果，以水滴接触角测 查看详情>>
更高（4. 等离子射频电源装置 5. 四路质量流量控制系统采用日本HORIBA品牌，inficon品牌防腐型真空计6. 真空系统（进口爱德华泵），关键气体链接部分均采用304不锈钢制作，可以实现等离子体氢化等所需功能，设备更有保障）；3.显示出2年内使用的全部专用配套零配件一整套和专用耗材配件一套部 查看详情>>
频电源（广州铭钰）询价采购中标公告发布日期：2019-08-28采购类别：(120105)激光喷墨标识设备和耗材采购组织：新沂鲁花浓香花生油有限公司 新沂鲁花浓香花生油有限公司 就新沂油厂射频电源（广州铭钰）询价采购进行了网上电子招标，新沂鲁花浓香花生油有限公司 在电子采购系统上已完成评标工作，现将 查看详情>>
6047]物理学院射频电源，采购于2017-06-12进行了单一来源采购，因故废标，特此公告。感谢本项目所有投标人对山东大学采购工作的支持。特此公告！资产与实验室管理部二〇一七年六月十二日 查看详情>>
