2台、水冷机3台、射频电源3台、涡旋式空压机1台、探针台1台、静音无油空压机1台、椭偏仪1台、退火炉1台、双级旋片式真空泵1台、漩涡风机1台、蒸镀机1台、真空泵1台、检漏仪1台等。项目建成后生产规模：组装设备60台/年，组装后年镀膜测试1400片。 项目总投资2237万元，其中环保投资20万元。 查看详情>>
山东射频电源审批公示信息
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