控制及显示，1台；射频电源RF500W， 数字化控制及显示，1台；脉冲偏压电源：-1kV， 数字化控制及显示，1台。8.工作气路系统质量流量控制器及量程范围：Ar，100sccm；N2，10sccm；O2，10sccm；9.膜厚不均匀性≤±5%（单靶镀膜，基片台Φ120mm范围内）；10.控制方式P 查看详情>>
西南物理研究院 -射频电源及匹配器-询价采购公告 一、项目概况 项目名称：射频电源及匹配器 项目编号：XWY0-WZ-GKXJ-23-0425 交货/服务时间：详见文件 交货/服务地点：成都市 供货范围：详见文件 质量要求：详见文件 二、供应商资格要求: 1、基本资格条件 查看详情>>
西南物理研究院 -射频电源及匹配器-询价采购公告 一、项目概况 项目名称：射频电源及匹配器 项目编号：XWY0-WZ-GKXJ-23-0417 交货/服务时间：详见文件 交货/服务地点：成都市 供货范围：详见文件 质量要求：详见文件 二、供应商资格要求: 1、基本资格条件 查看详情>>
功率＞0.5kW的射频电源的供货业绩，提供附带技术指标的合同复印件，合同内容应能体现甲乙双方盖章页、合同签订时间、标的物名称等主要内容。未按上述要求提供的业绩证明均不予认可。 （3）财务要求：供应商应具有健全的财务制度，供应商为企业单位的提供2019年至2021年或2020年至2022年经会计师事务 查看详情>>
功率＞0.5kW的射频电源的供货业绩，提供附带技术指标的合同复印件，合同内容应能体现甲乙双方盖章页、合同签订时间、标的物名称等主要内容。未按上述要求提供的业绩证明均不予认可。 （3）财务要求：供应商应具有健全的财务制度，供应商为企业单位的提供2019年至2021年或2020年至2022年经会计师事务 查看详情>>
订的功率≥1kW的射频电源的供货业绩，提供附带技术指标的合同复印件，合同内容应能体现甲乙双方盖章页、合同签订时间、标的物名称等主要内容。未按上述要求提供的业绩证明均不予认可。 （3）财务要求：供应商应具有健全的财务制度，供应商为企业单位的提供2019年至2021年或2020年至2022年经会计师事务 查看详情>>
0kW/2Mhz 射频电源采购-竞争性谈判采购公告(招标编号：ZKX20230823C035)招标项目所在地区：四川省成都市一招标条件本80kW/2Mhz 射频电源采购招标项目编号：ZKX20230823C035，已由项目审批/核准/备案机关批准，项目资金来源为/，招标人为核工业西南物理研究院。本项 查看详情>>
0kW/2Mhz 射频电源采购-竞争性谈判采购公告 (招标编号：ZKX20230823C035) 招标项目所在地区：四川省成都市 一、招标条件 本80kW/2Mhz 射频电源采购（招标项目编号：ZKX20230823C035），已由项目审批/核准/备案机关批准，项目资金来源为/，招标人为核工业 查看详情>>
0kW/2MHz 射频电源采购 物项进行采购，现80kW/2MHz 射频电源采购 已具备采购条件，现公开邀请供应商参加竞争性谈判采购活动。1.采购项目简介1.1采购项目名称：80kW/2MHz 射频电源采购 1.2采购单位：核工业西南物理研究院。1.3采购代理机构：中科信工程咨询（北京）有限责任公司 查看详情>>
镀膜；★（8）配备射频电源数量2台（1KW），参照或相当于美国AE射频电源、日本ULVAC射频电源或同等级射频电源；★（9）直流脉冲溅射电源2台（1000W）；★（10）直流溅射电源2台（1000W）；★（11）脉冲偏压电源数量1台（-1000V，1000W）；（12）配备冷却水机和空压机；★（13 查看详情>>
温度≤37℃。9、射频电源：高转换率手动匹配射频电源一体机，稳定的匹配系统，13.56MHz，功率0~140w连续可调。10、操作界面：7寸全彩人机交互界面。11、诱变时间：0~600s可调，控制精度0.1s。12、样品处理量：10μL（菌液或孢子悬液），自动收集样品载台，可实现6个样品连续处理和自 查看详情>>
概况项目名称：宽带射频电源和匹配系统报名截止：2021年11月21日12点；报价截止：2021年11月21日16点；联系方式：贺老师，（028）82850305；联系地址：四川省成都市西航港黄荆路5号；二、 采购内容及要求大功率射频负离子源的研究过程中，需要一台大功率宽带射频电源及相应的匹配系统。根 查看详情>>
概况项目名称：宽带射频电源和匹配系统报名截止：2021年11月16日12点；报价截止：2021年11月16日16点；联系方式：贺老师，（028）82850305；联系地址：四川省成都市西航港黄荆路5号；二、 采购内容及要求大功率射频负离子源的研究过程中，需要一台大功率宽带射频电源及相应的匹配系统。根 查看详情>>
℃*1套。1.10射频电源及自动匹配器：500W，1套1.11直流电源：1000W，1套，1分2直流自动切换器1台。1.12质量流量控制器：2台1.13工艺气路：3条1.14自动控制系统1套。PLC及模块、工控机、显示器售后服务服务年限:36月;服务网点:当地;电话支持:7x24小时;服务时限:报修 查看详情>>
，拟对离子源配件（射频电源、匹配器、中和器）项目采用询比方式进行采购，特邀请符合本次采购要求的供应商报名参加本项目的询比采购活动。一、采购项目基本情况1.采购项目编号：KY20210804B043；2.采购项目名称：离子源配件（射频电源、匹配器、中和器）；3.预算金额：39万元，报价超过采购预算的响 查看详情>>
，拟对离子源配件（射频电源、匹配器、中和器）项目采用询比方式进行采购，特邀请符合本次采购要求的供应商报名参加本项目的询比采购活动。一、采购项目基本情况1.采购项目编号：KY20210804B043；2.采购项目名称：离子源配件（射频电源、匹配器、中和器）；3.预算金额：39万元，报价超过采购预算的响 查看详情>>
人）委托，拟对低频射频电源等 项目采用询比方式进行采购，特公告邀请符合本次采购要求的供应商报名参加本项目的采购活动。 一、采购项目基本情况1.项目编号：2021-5-4-0263；2.项目名称：低频射频电源等；3.预算金额：31.00万元；4.最高限价：报价超出采购预算时，是否能够成交，取决于采购人 查看详情>>
人）委托，拟对低频射频电源等 项目采用询比方式进行采购，特公告邀请符合本次采购要求的供应商报名参加本项目的采购活动。 一、采购项目基本情况1.项目编号：2021-5-4-0263；2.项目名称：低频射频电源等；3.预算金额：31.00万元；4.最高限价：报价超出采购预算时，是否能够成交，取决于采购人 查看详情>>
人）委托，拟对低频射频电源等 项目采用询比方式进行采购，特公告邀请符合本次采购要求的供应商报名参加本项目的采购活动。 一、采购项目基本情况1.项目编号：2021-5-4-0263；2.项目名称：低频射频电源等；3.预算金额：31.00万元；4.最高限价：报价超出采购预算时，是否能够成交，取决于采购人 查看详情>>
人）委托，拟对低频射频电源等 项目采用询比方式进行采购，特公告邀请符合本次采购要求的供应商报名参加本项目的采购活动。 一、采购项目基本情况1.项目编号：2021-5-4-0263；2.项目名称：低频射频电源等；3.预算金额：31.00万元；4.最高限价：报价超出采购预算时，是否能够成交，取决于采购人 查看详情>>
人）委托，拟对中频射频电源 项目采用询比方式进行采购，特公告邀请符合本次采购要求的供应商报名参加本项目的采购活动。 一、采购项目基本情况1.项目编号：2021-5-4-0262；2.项目名称：中频射频电源；3.预算金额：45.00万元；4.最高限价：报价超出采购预算时，是否能够成交，取决于采购人采购 查看详情>>
人）委托，拟对中频射频电源 项目采用询比方式进行采购，特公告邀请符合本次采购要求的供应商报名参加本项目的采购活动。 一、采购项目基本情况1.项目编号：2021-5-4-0262；2.项目名称：中频射频电源；3.预算金额：45.00万元；4.最高限价：报价超出采购预算时，是否能够成交，取决于采购人采购 查看详情>>
人）委托，拟对低频射频电源等 项目采用询比方式进行采购，特公告邀请符合本次采购要求的供应商报名参加本项目的采购活动。 一、采购项目基本情况1.项目编号：2021-5-4-0263；2.项目名称：低频射频电源等；3.预算金额：31.00万元；4.最高限价：报价超出采购预算时，是否能够成交，取决于采购人 查看详情>>
人）委托，拟对低频射频电源等 项目采用询比方式进行采购，特公告邀请符合本次采购要求的供应商报名参加本项目的采购活动。 一、采购项目基本情况1.项目编号：2021-5-4-0263；2.项目名称：低频射频电源等；3.预算金额：31.00万元；4.最高限价：报价超出采购预算时，是否能够成交，取决于采购人 查看详情>>
人）委托，拟对中频射频电源 项目采用询比方式进行采购，特公告邀请符合本次采购要求的供应商报名参加本项目的采购活动。 一、采购项目基本情况1.项目编号：2021-5-4-0262；2.项目名称：中频射频电源；3.预算金额：45.00万元；4.最高限价：报价超出采购预算时，是否能够成交，取决于采购人采购 查看详情>>
个。2.7， RF射频电源:位移电流双输出射频电源， 13.56MHz, 0－1000W 自动匹配控制.内置过压，过流，过热和驻报警保护；具有手动和计算机远程控制两种模式。2.8，工作压力：10Pa～100Pa。2.9，整体不锈钢管路；仪器放置面积：长 6M、 宽 3M；电源电压：：380±10%V 查看详情>>
个。2.7， RF射频电源:位移电流双输出射频电源， 13.56MHz, 0－1000W 自动匹配控制.内置过压，过流，过热和驻报警保护；具有手动和计算机远程控制两种模式。2.8，工作压力：10Pa～100Pa。2.9，整体不锈钢管路；仪器放置面积：长 6M、 宽 3M；电源电压：：380±10%V 查看详情>>
可与大功率射频电源复合运行
不影响大功率射频电源的等离子体负载匹配
2、供货服务周期
自合同签订之日起5个月内交货。
3、质量要求、产品特性及技术指标
参见相关技术文件。
4、结算方式及期限选择方式
合同签订后 查看详情>>
控制接口可与大功率射频电源复合运行不影响大功率射频电源的等离子体负载匹配 2、供货服务周期自合同签订之日起5个月内交货。3、质量要求、产品特性及技术指标参见相关技术文件。4、结算方式及期限选择方式合同签订后5日之内，需方支付给供方合同总价款的30%作为预付款，需方收到货物（服务）并验收合格后10日之 查看详情>>
）供应商具备高功率射频电源主要部件设计制造，安全施工、安装和测试能力，提供近3年内材料证明(合同及验收证明)。（四）经营及资信状况良好，参加询价前三年内，在经营活动中没有发生重大违法事件的记录，无违约或涉嫌违约的行为；（五）本项目不接受联合体参加。（六）供应商责任：评价过程遵守我院相关管理制度，遵守 查看详情>>
）供应商具备高功率射频电源主要部件设计制造，安全施工、安装和测试能力，提供近3年内材料证明(合同及验收证明)。（四）经营及资信状况良好，参加询价前三年内，在经营活动中没有发生重大违法事件的记录，无违约或涉嫌违约的行为；（五）本项目不接受联合体参加。（六）供应商责任：评价过程遵守我院相关管理制度，遵守 查看详情>>
）供应商具备高功率射频电源主要部件设计制造，安全施工、安装和测试能力，提供近3年内材料证明(合同及验收证明)。（四）经营及资信状况良好，参加询价前三年内，在经营活动中没有发生重大违法事件的记录，无违约或涉嫌违约的行为；（五）本项目不接受联合体参加。（六）供应商责任：评价过程遵守我院相关管理制度，遵守 查看详情>>
）供应商具备高功率射频电源主要部件设计制造，安全施工、安装和测试能力，提供近3年内材料证明(合同及验收证明)。（四）经营及资信状况良好，参加询价前三年内，在经营活动中没有发生重大违法事件的记录，无违约或涉嫌违约的行为；（五）本项目不接受联合体参加。（六）供应商责任：评价过程遵守我院相关管理制度，遵守 查看详情>>
真空系统，压力计，射频电源，气体流入质量控制器，冷却系统，电极，传送系统，软件系统和辅助模块等。要求该设备结构设计合理，采用先进成熟技术，保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高，可靠性好，响应速度快。设备使用、操作、维修方便，造型美观，结构紧凑，整机运行稳定可靠，售后服务优良。CNY 查看详情>>
真空系统，压力计，射频电源，气体流入质量控制器，冷却系统，电极，传送系统，软件系统和辅助模块等。要求该设备结构设计合理，采用先进成熟技术，保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高，可靠性好，响应速度快。设备使用、操作、维修方便，造型美观，结构紧凑，整机运行稳定可靠，售后服务优良。CNY 查看详情>>
真空系统，压力计，射频电源，气体流入质量控制器，冷却系统，电极，传送系统，软件系统和辅助模块等。要求该设备结构设计合理，采用先进成熟技术，保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高，可靠性好，响应速度快。设备使用、操作、维修方便，造型美观，结构紧凑，整机运行稳定可靠，售后服务优良。CNY 查看详情>>
真空系统，压力计，射频电源，气体流入质量控制器，冷却系统，电极，传送系统，软件系统和辅助模块等。要求该设备结构设计合理，采用先进成熟技术，保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高，可靠性好，响应速度快。设备使用、操作、维修方便，造型美观，结构紧凑，整机运行稳定可靠，售后服务优良。CNY 查看详情>>
真空系统，压力计，射频电源，气体流入质量控制器，冷却系统，电极，传送系统，软件系统和辅助模块等。要求该设备结构设计合理，采用先进成熟技术，保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高，可靠性好，响应速度快。设备使用、操作、维修方便，造型美观，结构紧凑，整机运行稳定可靠，售后服务优良。CNY 查看详情>>
真空系统，压力计，射频电源，气体流入质量控制器，冷却系统，电极，传送系统，软件系统和辅助模块等。要求该设备结构设计合理，采用先进成熟技术，保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高，可靠性好，响应速度快。设备使用、操作、维修方便，造型美观，结构紧凑，整机运行稳定可靠，售后服务优良。CNY 查看详情>>
真空系统，压力计，射频电源，气体流入质量控制器，冷却系统，电极，传送系统，软件系统和辅助模块等。要求该设备结构设计合理，采用先进成熟技术，保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高，可靠性好，响应速度快。设备使用、操作、维修方便，造型美观，结构紧凑，整机运行稳定可靠，售后服务优良。CNY 查看详情>>
