.4 配有2台进口射频电源，功率不小于300 W、13.56 MHz、可自动调谐；5 气路系统5.1 配有3个工艺气路，可通氧气、氩气、氮气。配备进口质量流量计3套（流量0-50 SCCM）；5.2 配有1个放气用的氮气气路；5.3 每个气路均配有气动阀门；★5.4将闸板阀关闭到预定位置，流量计自动 查看详情>>
台（15 kW），射频电源2台（5 kW）；配置进口品牌脉冲偏压电源（20 kW）一台；（4）加热烘烤系统：真空室内采用烘烤方式对工件进行加热，加热器温度最高为350℃，温度控制误差≤±1℃；（5）磁控溅射靶枪：数量为4个，垂直安装，靶尺寸为145 mm×846mm，厚度为10mm；控靶设置增强电磁 查看详情>>
