控制及显示，1台；射频电源RF500W， 数字化控制及显示，1台；脉冲偏压电源：-1kV， 数字化控制及显示，1台。8.工作气路系统 质量流量控制器及量程范围：Ar，100sccm；N2，10sccm；O2，10sccm；9.膜厚不均匀性 ≤±5%（单靶镀膜，基片台Φ120mm范围内）；10.控制方 查看详情>>
名称：离子源配件（射频电源、匹配器、中和器）二、项目终止的原因：截止采购文件获取时间，供应商不足三家，本次项目终止，重新开展采购活动。三、其他补充事宜采购方式：询比采购；公告期限：自本公告发出之日起1个工作日。四、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名称：中国工程物理研究院激光 查看详情>>
采购项目名称：低频射频电源首次公告日期：2021年7月16日二、更正信息更正事项：?采购公告 □采购文件 □采购结果□合同公告更正内容：获取采购文件时间：2021年7月22日至2021年7月24日更正为：2021年7月22日至2021年7月26日更正日期：2021年7月23日三、其他补充事宜无四、凡 查看详情>>
r。★3.1.7 射频电源：射频电源需来自Kurt L.Lesker（RF300C）：功率不小于300W，带有自动匹配的匹配器和控制器。射频电源输出功率的精度优于满量程的+/-1%或者度数的+/-3%。直流电源需来自塞恩斯（DC1000E）：功率不小于1000W，有恒压、恒流和恒功率三种工作模式。3 查看详情>>
溅射电源相比，由于射频电源的正负性发生周期交替，可实现溅射绝缘薄膜材料。该设备的购置可大大丰富我实验室沉积薄膜材料的选择，提高薄膜科学的研究水平。现在国内高校和科研院所所用射频溅射电源均为国外产品，为达到高校研究生教学和科研需求，建议购买进口产品。4. 台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器，能够应用在镀 查看详情>>
0±5度.9.具有射频电源及射频电源匹配器，保证100﹪放电成功。*10.设备必须提供本设备国家卫生部下发的消毒药剂和消毒器械卫生许可批件。设备生产方提供的耗材必须为自身公司生产，并且设备生产方所产的过氧化氢灭菌剂、等离子灭菌指示卡、等离子灭菌器指示标签、等离子灭菌器包装袋，都必须具有国家卫生部的卫 查看详情>>
