试仪电子束热蒸发机原子层沉积系统涂胶光刻机磁控溅射镀膜机芯片引线焊接机芯片贴片封装机红外扫描显微镜 预计采购时间： 2024-09 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 查看详情>>
VD设备(1套)、原子层沉积设备(1套)】、扩散设备(1套)，快速热退火炉(1套)。台套数:合计6套 3310000.00 2024-04 本项目仅面向中小企业 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 上海电子信 查看详情>>
子层沉积系统 项目所在采购意向： 复旦大学2023年11月政府采购意向 采购单位： 复旦大学 采购项目名称： 原子层沉积系统 预算金额： 300.000000万元(人民币) 采购品目： A02330300 电子工业生产设备 采购需求概况： 原子层沉积系统是一种用于实现精确控制 查看详情>>
） 备注 1 原子层沉积设备 原子层沉积设备， 1套。用于微电子材料原子层沉积实验。进行微电子材料的沉积工作。1.腔体结构采用真空腔和反应腔双腔结构，反应腔为全热壁，加热方式采用外部环绕对称式辐射加热模式，真空腔外壁为全冷壁，在设备的正常运行时，真空腔外壁温度不超过35℃，腔体漏率低于10-7m 查看详情>>
膜。同时具有普通的原子层沉积能力。具有5个蒸气传输管道, 包含:a.4个标准钢瓶蒸气传输管道b.1个气泡式钢瓶蒸气传输管道1.25个钢瓶卡匣模块, 具有温度传感器, 加热器及过热自动断电保护功能, 包含:a.4个标准钢瓶卡匣模块b.1 个气泡式钢瓶卡匣模块1.35 个钢瓶, 搭配手动阀门, 包含: 查看详情>>
目详情28同济大学原子层沉积ALD镀膜设备（氟化物）A9999其他不另分类的物品详见项目详情478.6305002023年02月详见项目详情本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。中国政府采购网公告地址：http://cgyx.ccgp.gov 查看详情>>
子层沉积ALD镀膜设备（氟化物）项目所在采购意向：同济大学2023年2月政府采购意向采购单位：同济大学采购项目名称：原子层沉积ALD镀膜设备（氟化物）预算金额：478.630500万元(人民币)采购品目：A9999其他不另分类的物品采购需求概况 ：利用本设备将在国内首先开展原子层沉积制备氟化物薄膜的 查看详情>>
子层沉积项目所在采购意向：复旦大学2022年12月政府采购意向采购单位：复旦大学采购项目名称：热型原子层沉积预算金额：138.000000万元(人民币)采购品目：A032103电子工业专用生产设备采购需求概况：以原子单层级别逐层反应的方法在基底上高保型的生长致密的几个nm到几十nm氧化铝、氧化铪、氧 查看详情>>
子层沉积系统项目所在采购意向：复旦大学2022年12月政府采购意向采购单位：复旦大学采购项目名称：等离子体辅助原子层沉积系统预算金额：240.000000万元(人民币)采购品目：A032103电子工业专用生产设备采购需求概况：双腔型等离子体设备较传统单腔型ALD，其优势在于可以生长高质量氮化物和金属 查看详情>>
子层沉积系统项目所在采购意向：上海交通大学2022年12月政府采购意向采购单位：上海交通大学采购项目名称：等离子辅助原子层沉积系统预算金额：240.000000万元(人民币)采购品目：A032103电子工业专用生产设备采购需求概况：专用用于Ti、TiN、Ta、TaN、W、Cu等金属的原子层沉积，特别 查看详情>>
子层沉积设备项目所在采购意向：复旦大学2022年12月政府采购意向采购单位：复旦大学采购项目名称：原子层沉积设备预算金额：600.000000万元(人民币)采购品目：A02052402真空应用设备采购需求概况：用于集成电路工艺的薄膜材料制备，具有厚度高度可控、优异的均匀性及良好的保形性，具有热原子层 查看详情>>
子层沉积设备项目所在采购意向：复旦大学2022年12月政府采购意向采购单位：复旦大学采购项目名称：原子层沉积设备预算金额：600.000000万元(人民币)采购品目：A032103电子工业专用生产设备采购需求概况：用于先进半导体器件制备原子层沉积预计采购时间：2022-12备注： 本次公开的采购意向 查看详情>>
子层沉积系统项目所在采购意向：华东师范大学2022年11月政府采购意向采购单位：华东师范大学采购项目名称：原子层沉积系统预算金额：150.000000万元(人民币)采购品目：A02100400分析仪器采购需求概况 ：贴息贷款采购科研教学用设备预计采购时间：2022-11备注：本次公开的采购意向是本单 查看详情>>
济大学等离子体增强原子层沉积设备A9999其他不另分类的物品详见项目详情350.0000002022年12月详见项目详情49同济大学大口径空气炮试验系统（含安装）A9999其他不另分类的物品详见项目详情600.0000002022年12月详见项目详情50同济大学工程实践教育中心智能仓储实训设备采购项 查看详情>>
子层沉积设备项目所在采购意向：同济大学2022年12月政府采购意向采购单位：同济大学采购项目名称：等离子体增强原子层沉积设备预算金额：350.000000万元(人民币)采购品目：A9999其他不另分类的物品采购需求概况 ：主要功能：将物质以单原子膜形式一层一层的镀在粉末、晶圆等基底表面。数量：1保修 查看详情>>
目详情45同济大学原子层沉积系统A9999其他不另分类的物品详见项目详情270.0000002022年12月详见项目详情46同济大学低温强磁场多功能物理性能测量系统（PPMS）A9999其他不另分类的物品详见项目详情528.0000002022年12月详见项目详情47同济大学纳米压痕测试仪A9999 查看详情>>
子层沉积系统（ALD）项目所在采购意向：华东师范大学2022年11至12月政府采购意向采购单位：华东师范大学采购项目名称：原子层沉积系统（ALD）预算金额：380.000000万元(人民币)采购品目：A02100400分析仪器采购需求概况 ：科研教学用设备预计采购时间：2022-11备注：本次公开的 查看详情>>
子层沉积系统项目所在采购意向：同济大学2022年12月政府采购意向采购单位：同济大学采购项目名称：原子层沉积系统预算金额：270.000000万元(人民币)采购品目：A9999其他不另分类的物品采购需求概况 ：规格参数：Beneq TFS 200；尺寸720 x 1340 x 1280 mm；腔体容 查看详情>>
子等材料的表面几个原子层（1~10纳米厚的表面）的化学组成、价态，深度剖析及成像、功函数特性的分析与表征。要求：1、原位的多功能自动化分析；2、可聚焦≤ 5μm 的微区 X 射线束斑；3、优秀的二次电子影像（SXI）；4、高性能的深度剖析。采购数量1台。240天内交货，由货物制造厂商提供3年或以上免 查看详情>>
项目详情3同济大学原子层沉积ALD镀膜设备A9999其他不另分类的物品详见项目详情800.0000002022年11月详见项目详情4同济大学激光量热法弱吸收测量仪设备A9999其他不另分类的物品详见项目详情195.0000002022年11月详见项目详情5同济大学高精度光学薄膜沉积设备A9999其他 查看详情>>
子层沉积ALD镀膜设备项目所在采购意向：同济大学2022年10至12月政府采购意向采购单位：同济大学采购项目名称：原子层沉积ALD镀膜设备预算金额：800.000000万元(人民币)采购品目：A9999其他不另分类的物品采购需求概况 ：原子层沉积ALD镀膜设备（氟化物）的采购，可以实现埃量级薄膜厚度 查看详情>>
各类固体材料的表面原子层进行表界面元素及化学态分析，从而实现能带、价带、费米能级、导带、功函数等电子结构的测量。预计采购时间：2022-11备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。,复旦大学 查看详情>>
生物材料的表面几个原子层（1~10nm厚的表面）的化学组成、价态，深度剖析及成像、功函数特性等的分析与表征。具体要求详见采购文件。 供货期：签订合同之日起12个月货到采购人指定地点并安装验收完毕。（包括供货，安装，调试，验收合格所需时间）。具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。预计 查看详情>>
） 备注 1 原子层沉积系统 原子层沉积系统，1台。用于特种光纤制备，定制化三层嵌套腔体管式炉，针对不同直径尺寸石英管，有效镀膜区域500mm，膜厚标准偏差≤±1%；反应温度最高600℃，温度控制精度±1℃。满足不低于5种特种材料高品质沉积。供货周期合同 1500000 2022年06月 2 查看详情>>
子层沉积系统项目所在采购意向：复旦大学2022年6月政府采购意向采购单位：复旦大学采购项目名称：原子层沉积系统预算金额：186.000000万元(人民币)采购品目：A021099其他仪器仪表采购需求概况：采购壹台原子层沉积系统，主要沉积各种高质量的纳米薄膜。预计采购时间：2022-06备注： 本次公 查看详情>>
子层薄膜气相沉积系统项目所在采购意向：复旦大学2022年8月政府采购意向采购单位：复旦大学采购项目名称：原子层薄膜气相沉积系统预算金额：175.000000万元(人民币)采购品目：A02052402真空应用设备采购需求概况：原子层沉积设备主要用于沉积出薄膜材料，满足沉积Al2O3、HfO2、ZrO2 查看详情>>
学性质，尤其是在单原子层面测量拓扑物质、量子材料的力学性质。我们的极低温矢量磁场下的原子力显微镜一共包括二个部分：极低温强磁场兼容超高真空原子摩擦力测量系统和低温磁场系统。一旦最终搭建成功，将大大促进对量子材料的深刻理解。预计采购时间：2021-12备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初 查看详情>>
子层沉积系统项目所在采购意向：上海交通大学2021年12月政府采购意向采购单位：上海交通大学采购项目名称：原子层沉积系统预算金额：300.000000万元(人民币)采购品目：A02100402物理特性分析仪器及校准仪器采购需求概况：原子层沉积系统采用多靶溅射，可以在超高真空的环境下制备具有高均匀性和 查看详情>>
子层沉积系统项目所在采购意向：中国科学院紫金山天文台2021年5至12月政府采购意向采购单位：中国科学院紫金山天文台采购项目名称：原子层沉积系统预算金额：199.000000万元(人民币)采购品目：A033411天文仪器采购需求概况：需求原子层沉积系统通过交替或同时向真空反应腔室内交替通入不同气态前 查看详情>>
设备采购需求概况：原子层沉积(Atomic Layer Deposition，ALD)技术，是一种基于有序、表面自饱和反应的化学气相薄膜沉积技术，该工艺可以实现最高精度为单原子层均与级别的薄膜增材制造，而基于ALD的增材制造系统是研究尖端微纳工程科学技术不可缺少的核心设备。该系统包括前驱体供给、反应 查看详情>>
生物材料的表面几个原子层（1~10nm厚的表面）的化学组成、价态，深度剖析及成像、功函数特性等的分析与表征。通过对已制备薄膜性能的了解，反向推测制备过程中可能存在的问题，完善薄膜制备的工艺条件摸索，开创可能的新材料新功能体系和制备路线，为实验总体目标提供材料制备方面的坚实预计采购时间：2021-05 查看详情>>
统与信息技术研究所原子层沉积系统 A02062099详见项目详情 100.0000002021年06月详见项目详情 7中国科学院上海微系统与信息技术研究所散射仪探测系统 A02080399详见项目详情 100.0000002021年06月详见项目详情 8中国科学院上海微系统与信息技术研究所3D打印机 查看详情>>
子层沉积(ALD)项目所在采购意向：华中科技大学2021年3至6月政府采购意向采购单位：华中科技大学采购项目名称：原子层沉积(ALD)预算金额：350.000000万元(人民币)采购品目：A032199其他电工电子专用生产设备采购需求概况 ：PEALD(等离子增强原子层沉积)，支持氧化铝、氧化铪、氧 查看详情>>
统与信息技术研究所原子层沉积系统 A02062099详见项目详情 100.0000002021年04月详见项目详情 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 查看详情>>
子层沉积仪项目所在采购意向：上海交通大学2020年12月政府采购意向采购单位：上海交通大学采购项目名称：原子层沉积仪预算金额：120.000000万元(人民币)采购品目：A02100499分析仪器采购需求概况：N型半导体薄膜的制备（掺杂SnO2, 掺杂TiO2）的制备。1台。预计采购时间：2020- 查看详情>>
分析，从而精确控制原子层沉积薄膜的相关特性。电参数的准确测量是获取薄膜材料微观结构信息的重要保证，薄膜材料电参数测量仪可为表征任务提供更高的性能、更强的可用性以及更高的效率。预计采购时间：2020-07备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件 查看详情>>
