E离子束刻蚀系统、原子层淀积设备等一批 713.8000 2022年12月 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 广西师范大学 2022年10月24日 查看详情>>
队设备采购 ALD原子层沉积系统、硒化炉、椭偏仪 140 2022年04月 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 桂林理工大学 2022年03月23日 查看详情>>
2021年04月3原子层沉积(ALD)YX202100018A032199其他电工电子专用生产设备PEALD(等离子增强原子层沉积)，支持氧化铝、氧化铪、氧化锌、氧化锡、氮化钛沉积。等离子、NH3、O3源，多路固体源.氧化铪、氧化铝等氧化物、氮化物薄膜制备，分子层级别的沉积，速率稳定，台阶覆盖能力超 查看详情>>
