大湾区大学（筹）原子层沉积系统等设备采购项目 标的名称：原子层沉积系统等设备 标的数量：1 主要功能或目标：满足光电子信息先进材料器件领域研究和教学需求，可实现光电半导体材料的生长及微区光谱成像表征。 需满足的要求：1.供应商参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录。 查看详情>>
大湾区大学（筹）原子层沉积系统等设备采购项目 标的名称：原子层沉积系统等设备 标的数量：1 主要功能或目标：满足光电子信息先进材料器件领域研究和教学需求，可实现光电半导体材料的生长及微区光谱成像表征。 需满足的要求：1.供应商参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录。 查看详情>>
大湾区大学（筹）原子层沉积系统等设备采购项目 标的名称：原子层沉积系统等设备 标的数量：1 主要功能或目标：满足光电子信息先进材料器件领域研究和教学需求，可实现光电半导体材料的生长及微区光谱成像表征。 需满足的要求：1.供应商参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录。 查看详情>>
仪、等离子增强系统原子层沉积、多通道电化学测试系统项目 标的名称：X射线衍射仪、等离子增强系统原子层沉积、多通道电化学测试系统等设备 标的数量：3 主要功能或目标：（1）X射线衍射仪：满足电池原位测试以及材料原位高温测试，并能够利用相关软件进行分析；（2）等离子增强系统原子层沉积：可实现 查看详情>>
仪、等离子增强系统原子层沉积、多通道电化学测试系统项目 标的名称：X射线衍射仪、等离子增强系统原子层沉积、多通道电化学测试系统等设备 标的数量：3 主要功能或目标：（1）X射线衍射仪：满足电池原位测试以及材料原位高温测试，并能够利用相关软件进行分析；（2）等离子增强系统原子层沉积：可实现 查看详情>>
备高性能致密薄膜。原子层沉积通过基于样品表面饱和化学吸附和氧化还原反应，可以实现薄膜单原子层厚度生长，并可以通过控制反应循环次数来精准控制膜厚，具有良好的台阶覆盖率和精确的膜厚控制能力，制备结果具有很高的膜厚均匀性。 需满足的要求：可加热至近300℃，确保多样样品均匀沉积。侧开门密封，支持手套箱 查看详情>>
备高性能致密薄膜。原子层沉积通过基于样品表面饱和化学吸附和氧化还原反应，可以实现薄膜单原子层厚度生长，并可以通过控制反应循环次数来精准控制膜厚，具有良好的台阶覆盖率和精确的膜厚控制能力，制备结果具有很高的膜厚均匀性。 需满足的要求：可加热至近300℃，确保多样样品均匀沉积。侧开门密封，支持手套箱 查看详情>>
：实现材料表面几个原子层的化学组成、价态，深度剖析及成像等综合分析与表征技术的研究，能够与手套箱直接连接和进样。单一靶面的水冷Al/Ag双阳极，至少可换8个Al和4个Ag点，软件自动控制换点并校准，能量分辨≥0.90eV，最大功率≥500W，分析室室温～800℃连续可调；可一次装入并存储3个样品条的 查看详情>>
：实现材料表面几个原子层的化学组成、价态，深度剖析及成像等综合分析与表征技术的研究，能够与手套箱直接连接和进样。单一靶面的水冷Al/Ag双阳极，至少可换8个Al和4个Ag点，软件自动控制换点并校准，能量分辨≥0.90eV，最大功率≥500W，分析室室温～800℃连续可调；可一次装入并存储3个样品条的 查看详情>>
：实现材料表面几个原子层的化学组成、价态，深度剖析及成像等综合分析与表征技术的研究，能够与手套箱直接连接和进样。单一靶面的水冷Al/Ag双阳极，至少可换8个Al和4个Ag点，软件自动控制换点并校准，能量分辨≥0.90eV，最大功率≥500W，分析室室温～800℃连续可调；可一次装入并存储3个样品条的 查看详情>>
仪、等离子增强系统原子层沉积、多通道电化学测试系统项目 标的名称：X射线衍射仪、等离子增强系统原子层沉积、多通道电化学测试系统等设备 标的数量：3 主要功能或目标：（1）X射线衍射仪：满足电池原位测试以及材料原位高温测试，并能够利用相关软件进行分析；（2）等离子增强系统原子层沉积：可实现 查看详情>>
备高性能致密薄膜。原子层沉积通过基于样品表面饱和化学吸附和氧化还原反应，可以实现薄膜单原子层厚度生长，并可以通过控制反应循环次数来精准控制膜厚，具有良好的台阶覆盖率和精确的膜厚控制能力，制备结果具有很高的膜厚均匀性。 需满足的要求：可加热至近300℃，确保多样样品均匀沉积。侧开门密封，支持手套箱 查看详情>>
1 华南师范大学原子层沉积系统采购项目 标的名称：原子层沉积系统 标的数量：1 主要功能或目标：该设备应同时具有T-ALD和PEALD功能，且两种功能能够自动切换来制备周期性交替薄膜。可加工8寸及8寸以下硅片样品，?4寸硅片生长重复性及厚度不均匀性控制在一定范围内。? 需满足的要求 查看详情>>
1 华南师范大学原子层沉积系统采购项目 标的名称：原子层沉积系统 标的数量：1 主要功能或目标：该设备应同时具有T-ALD和PEALD功能，且两种功能能够自动切换来制备周期性交替薄膜。可加工8寸及8寸以下硅片样品，4寸硅片生长重复性及厚度不均匀性控制在一定范围内。 需满足的要求：通 查看详情>>
1 华南师范大学原子层沉积系统采购项目 标的名称：原子层沉积系统 标的数量：1 主要功能或目标：该设备应同时具有T-ALD和PEALD功能，且两种功能能够自动切换来制备周期性交替薄膜。可加工8寸及8寸以下硅片样品，?4寸硅片生长重复性及厚度不均匀性控制在一定范围内。? 需满足的要求 查看详情>>
高精度、更大尺度的原子层面模拟计算以及多任务并发的开展基于多种自由度的电子关联效应研究和相关器件设计的高通量工作。 需满足的要求：1、构建不低于476万亿次双精度计算能力，存储能力不低于768TB。2、200G速率高速、低时延计算网络，满足科学计算需求。3、基于WEB端的晶体结构建模工具及材料计 查看详情>>
精准生长控制，在单原子层水平精准控制材料的层数和覆盖度，制备出高质量的低维单晶薄膜，为低维量子材料的物性研究奠定基础。 需满足的要求：1、进样室配有分子泵和机械泵，MBE腔室配有离子泵，烘烤后优于2.0×10-10mbar；2、配有磁力杆和机械手，便于传送样品，MBE样品台可三维移动，可通过热辐 查看详情>>
精准生长控制，在单原子层水平精准控制材料的层数和覆盖度，制备出高质量的低维单晶薄膜，为低维量子材料的物性研究奠定基础。 需满足的要求：1、进样室配有分子泵和机械泵，MBE腔室配有离子泵，烘烤后优于2.0×10-10mbar；2、配有磁力杆和机械手，便于传送样品，MBE样品台可三维移动，可通过热辐 查看详情>>
精准生长控制，在单原子层水平精准控制材料的层数和覆盖度，制备出高质量的低维单晶薄膜，为低维量子材料的物性研究奠定基础。 需满足的要求：1、进样室配有分子泵和机械泵，MBE腔室配有离子泵，烘烤后优于2.0×10-10mbar；2、配有磁力杆和机械手，便于传送样品，MBE样品台可三维移动，可通过热辐 查看详情>>
高精度、更大尺度的原子层面模拟计算以及多任务并发的开展基于多种自由度的电子关联效应研究和相关器件设计的高通量工作。 需满足的要求：1、构建不低于476万亿次双精度计算能力，存储能力不低于768TB。2、200G速率高速、低时延计算网络，满足科学计算需求。3、基于WEB端的晶体结构建模工具及材料计 查看详情>>
高精度、更大尺度的原子层面模拟计算以及多任务并发的开展基于多种自由度的电子关联效应研究和相关器件设计的高通量工作。 需满足的要求：1、构建不低于476万亿次双精度计算能力，存储能力不低于768TB。2、200G速率高速、低时延计算网络，满足科学计算需求。3、基于WEB端的晶体结构建模工具及材料计 查看详情>>
P基材料常规刻蚀和原子层级刻蚀。 需满足的要求：主要技术指标和要求： 1）样品尺寸：8寸向下兼容，可进行碎片工艺； 2）刻蚀材料：GaAs、InP等半导体材料； 3）可进行220℃以上高温工艺； 4）配备ALE模块，可进行原子层级刻蚀和低损伤刻蚀； 5）片内、片间刻蚀均匀性（8寸）：≤±5%； 查看详情>>
P基材料常规刻蚀和原子层级刻蚀。 需满足的要求：主要技术指标和要求：1）样品尺寸：8寸向下兼容，可进行碎片工艺；2）刻蚀材料：GaAs、InP等半导体材料；3）可进行220℃以上高温工艺；4）配备ALE模块，可进行原子层级刻蚀和低损伤刻蚀；5）片内、片间刻蚀均匀性（8寸）：≤±5%；6）配备8路 查看详情>>
24年化学化工学院原子层沉积系统设备购置项目 标的名称：广州大学2024年化学化工学院原子层沉积系统设备购置项目 标的数量：1 主要功能或目标：原子层沉积系统主要用于在特定的基底上沉积薄膜材料，这些材料包括氧化物、氮化物和贵金属等。系统通过控制生长周期的数目，可以精确调节沉积薄膜的厚度， 查看详情>>
24年化学化工学院原子层沉积系统设备购置项目 标的名称：广州大学2024年化学化工学院原子层沉积系统设备购置项目 标的数量：1 主要功能或目标：原子层沉积系统主要用于在特定的基底上沉积薄膜材料，这些材料包括氧化物、氮化物和贵金属等。系统通过控制生长周期的数目，可以精确调节沉积薄膜的厚度， 查看详情>>
24年化学化工学院原子层沉积系统设备购置项目 标的名称：广州大学2024年化学化工学院原子层沉积系统设备购置项目 标的数量：1 主要功能或目标：原子层沉积系统主要用于在特定的基底上沉积薄膜材料，这些材料包括氧化物、氮化物和贵金属等。系统通过控制生长周期的数目，可以精确调节沉积薄膜的厚度， 查看详情>>
山大学柔性电子学院原子层沉积系统采购项目 项目所在采购意向： 中山大学2024年9至11月政府采购意向 采购单位： 中山大学 采购项目名称： 中山大学柔性电子学院原子层沉积系统采购项目 预算金额： 160.000000万元(人民币) 采购品目： A02339900其他电工、电子生 查看详情>>
8英寸等离子体增强原子层沉积系统、磁控溅射镀膜系统、GaN刻蚀设备、二氟化氙气相刻蚀系统、四槽自动湿法刻蚀与清洗系统 、单槽湿法刻蚀与清洗系统、氧化扩散炉、四探针测试系统、金相显微镜探针台、椭偏仪、金相显微镜、热红外显微镜、超级净化手套箱等 2759.5 2024年7月 其他需要说明的情况 查看详情>>
8英寸等离子体增强原子层沉积系统、磁控溅射镀膜系统、GaN刻蚀设备、二氟化氙气相刻蚀系统、四槽自动湿法刻蚀与清洗系统 、单槽湿法刻蚀与清洗系统、氧化扩散炉、四探针测试系统、金相显微镜探针台、椭偏仪、金相显微镜、热红外显微镜、超级净化手套箱等 需满足的要求： 按照国家相关政策执行。 27,5 查看详情>>
8英寸等离子体增强原子层沉积系统、磁控溅射镀膜系统、GaN刻蚀设备、二氟化氙气相刻蚀系统、四槽自动湿法刻蚀与清洗系统 、单槽湿法刻蚀与清洗系统、氧化扩散炉、四探针测试系统、金相显微镜探针台、椭偏仪、金相显微镜、热红外显微镜、超级净化手套箱等 需满足的要求： 按照国家相关政策执行。 27,5 查看详情>>
24年化学化工学院原子层沉积系统设备购置项目 标的名称：广州大学2024年化学化工学院原子层沉积系统设备购置项目 标的数量：1 主要功能或目标：原子层沉积系统主要用于在特定的基底上沉积薄膜材料，这些材料包括氧化物、氮化物和贵金属等。系统通过控制生长周期的数目，可以精确调节沉积薄膜的厚度， 查看详情>>
24年化学化工学院原子层沉积系统设备购置项目 标的名称：广州大学2024年化学化工学院原子层沉积系统设备购置项目 标的数量：1 主要功能或目标：原子层沉积系统主要用于在特定的基底上沉积薄膜材料，这些材料包括氧化物、氮化物和贵金属等。系统通过控制生长周期的数目，可以精确调节沉积薄膜的厚度， 查看详情>>
24年化学化工学院原子层沉积系统设备购置项目 标的名称：广州大学2024年化学化工学院原子层沉积系统设备购置项目 标的数量：1 主要功能或目标：原子层沉积系统主要用于在特定的基底上沉积薄膜材料，这些材料包括氧化物、氮化物和贵金属等。系统通过控制生长周期的数目，可以精确调节沉积薄膜的厚度， 查看详情>>
大学（深圳）ALD原子层沉积系统意向公开 采购单位: 哈尔滨工业大学（深圳） 项目名称: ALD原子层沉积系统 预算金额（元）: 1,000,000.000 采购品目: 真空应用设备 采购需求概况: 1.适用于8英寸以及小尺寸样品薄膜沉积；2. 反应腔材质为316L不锈 查看详情>>
采购需求概况: 原子层沉积仪采购 6,100,000元亚微米紫外光刻机采购 3,700,000元氢气纯化器采购 9,760,000元氢气产生器采购 4,900,000元 联系人: 黄老师 联系电话: * 预计采购时间: 2024-03 备注: 无 本次公 查看详情>>
仪表采购需求概况:原子层沉积仪采购 6,100,000元亚微米紫外光刻机采购 3,700,000元氢气纯化器采购 9,760,000元氢气产生器采购 4,900,000元联系人:黄老师联系电话:*预计采购时间:2024-03备注:无本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排 查看详情>>
SiN等功能材料的原子层沉积，可在平片和高深宽比沟槽、微孔阵列内表面制备均匀的纳米级厚度的功能薄膜，适用于超薄、厚度精确、均匀性好、覆盖性好等方面有很高要求的工艺 需满足的要求："1、配备加热和等离子体生长两种模式； 2、前驱体通道：≥4路； 3、制备材料：AlN、TiN、SiN、TaN等介质薄 查看详情>>
SiN等功能材料的原子层沉积，可在平片和高深宽比沟槽、微孔阵列内表面制备均匀的纳米级厚度的功能薄膜，适用于超薄、厚度精确、均匀性好、覆盖性好等方面有很高要求的工艺 需满足的要求："1、配备加热和等离子体生长两种模式； 2、前驱体通道：≥4路； 3、制备材料：AlN、TiN、SiN、TaN等介质薄 查看详情>>
SiN等功能材料的原子层沉积，可在平片和高深宽比沟槽、微孔阵列内表面制备均匀的纳米级厚度的功能薄膜，适用于超薄、厚度精确、均匀性好、覆盖性好等方面有很高要求的工艺 需满足的要求："1、配备加热和等离子体生长两种模式； 2、前驱体通道：≥4路； 3、制备材料：AlN、TiN、SiN、TaN等介质薄 查看详情>>
1月 无 2 原子层沉积系统 可通过原子层热沉积生长方式进行Al2O3、HfO2、ZrO2、TiO2等高K材料、阻变材料及原位电极材料的制备，可支持6英寸单片晶圆并向下兼容；1台 223 2023年11月 无 3 氟化氙气相刻蚀机 用于对硅材料进行同向性刻蚀，能够实现对光刻胶、金属、化合物半 查看详情>>
