子层沉积设备 项目所在采购意向： 中国科学院青岛生物能源与过程研究所2024年6至12月政府采购意向 采购单位： 中国科学院青岛生物能源与过程研究所 采购项目名称： 原子层沉积设备 预算金额： 180.000000万元(人民币) 采购品目： A02100401电化学分析仪器 查看详情>>
子层沉积设备 项目所在采购意向： 中国科学院上海技术物理研究所2024年5至12月政府采购意向 采购单位： 中国科学院上海技术物理研究所 采购项目名称： 原子层沉积设备 预算金额： 125.000000万元(人民币) 采购品目： A02109900其他仪器仪表 采购需求概况： 查看详情>>
测量膜厚范围可从单原子层至微米量级，具有测量精度高、非接触且不需要真空等优点。测量光谱范围覆盖190nm至2100nm，配置相位调制、旋转补偿器、自动相位延迟器、宽带补偿器等椭偏类型和疝灯光源，并提供变温样品台和原位池等辅助装置，提供测试培训和不少于2年内的免费维保 预计采购时间： 2024-0 查看详情>>
子层沉积系统 项目所在采购意向： 北京大学2024年6月政府采购意向 采购单位： 北京大学 采购项目名称： 原子层沉积系统 预算金额： 200.000000万元(人民币) 采购品目： A02330300电子工业生产设备 采购需求概况： 专门应用于科学研究领域的单原子层沉积系统 查看详情>>
手套箱式百克级粉末原子层沉积系统 采购内容：手套箱式百克级粉末原子层沉积系统 采购数量：1套 主要功能或目标：1.1最高工艺温度≥280℃ 1.2样品装载重量≥80g 1.3需配备双工位手套箱 1.4需配备臭氧发生器 1.5需配备旋转床，可实现粉末样品流化，实现工艺中粉体的均匀流动 2. 查看详情>>
瞬态表面光电压谱、原子层沉积仪等科研设备，满足光伏材料与技术研究需求，具体见招标文件。 预算金额（元） 2000000 预计采购时间 2024年06月 中小企业预留情况 中小企业预留 落实政府采购政策功能情况 联系人 联系电话 / 备注 / 湖州师范学院 查看详情>>
子层沉积炉 项目所在采购意向： 中国科学院半导体研究所2024年5至12月政府采购意向 采购单位： 中国科学院半导体研究所 采购项目名称： 原子层沉积炉 预算金额： 180.000000万元(人民币) 采购品目： A02330300-电子工业生产设备 采购需求概况： 循环周期 查看详情>>
子层沉积系统 项目所在采购意向： 北京大学2024年6月政府采购意向 采购单位： 北京大学 采购项目名称： 原子层沉积系统 预算金额： 200.000000万元(人民币) 采购品目： A02330300电子工业生产设备 采购需求概况： 专门应用于科学研究领域的单原子层沉积系统 查看详情>>
购时间 备注 原子层沉积、单节手套箱 原子层沉积、单节手套箱 990000.0 2024年05月 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 江西师范大学 2024年04月25日 查看详情>>
购时间 备注 原子层沉积、单节手套箱 原子层沉积、单节手套箱 990000.0 2024年05月 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 江西师范大学 2024年04月25日 查看详情>>
显微镜、纳米压痕、原子层沉积集成系统等，以满足我校农业农村部农业传感器重点实验室发展需要，要求货物质量符合行业标准；免费质保期不低于一年，进口设备要求九十天内完成供货安装验收。 1450 2024年05月 本项目不专门面向中小企业 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目 查看详情>>
郑州大学化工学院原子层沉积设备采购项目 台式 ALD 系 统，在小巧的机身（ 82 x 64 x 31cm ） 中集成了原子层沉积 所需的所有功能，可最多容纳9 片8 英寸基片同时沉积。 GEMStar XT 全系配备热壁，结合前驱体瓶加热，管路加热， 横向喷头等设计，使温度均匀性高达99.9%， 查看详情>>
郑州大学化工学院原子层沉积设备采购项目 台式 ALD 系 统，在小巧的机身（ 82 x 64 x 31cm ） 中集成了原子层沉积 所需的所有功能，可最多容纳9 片8 英寸基片同时沉积。 GEMStar XT 全系配备热壁，结合前驱体瓶加热，管路加热， 横向喷头等设计，使温度均匀性高达99.9%， 查看详情>>
微电子材料只有几个原子层的厚度，离子能量过高则容易损伤或者刻蚀掉材料，因此采用传统的高能量离子注入设备无法对二维微电子材料进行掺杂。此外，二维微电子器件的结构非常复杂和精密，所以需要精确定点的对特定区域进行掺杂注入。提高注入精度也是微电子器件制造工艺的重大需求。总之，该设备是为微电子专线提精细离子注 查看详情>>
子层沉积系统 项目所在采购意向： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2024年4至11月政府采购意向 采购单位： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 采购项目名称： 原子层沉积系统 预算金额： 190.000000万元(人民币) 采购品目： A02339900其他电工、电 查看详情>>
概况： 解决大面积原子层材料转移过程中存在转移效率低、转移精度不高以及界面质量差的技术问题。拟研制一套可以在真空环境下工作且操作简单的低维材料异质集成平台.计划将原位解离制样、自动化样品识别、样品的定位与对准与真空互联平台已经具备的材料外延工艺、表征手段、器件性能评估相结合，从器件工艺和基础原理层面 查看详情>>
子层刻蚀系统 项目所在采购意向： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2024年4至8月政府采购意向 采购单位： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 采购项目名称： 多功能原子层刻蚀系统 预算金额： 850.000000万元(人民币) 采购品目： A02330300电子工业 查看详情>>
子层沉积镀膜机 项目所在采购意向： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2024年4至11月政府采购意向 采购单位： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 采购项目名称： 多进料端口原子层沉积镀膜机 预算金额： 172.000000万元(人民币) 采购品目： A0205240 查看详情>>
子层材料制备设备(MOCVD) 项目所在采购意向： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2024年4月政府采购意向 采购单位： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 采购项目名称： 原子层材料制备设备(MOCVD) 预算金额： 850.000000万元(人民币) 采购品目： 查看详情>>
子层刻蚀机 项目所在采购意向： 清华大学2024年6月政府采购意向 采购单位： 清华大学 采购项目名称： 原子层刻蚀机 预算金额： 400.000000万元(人民币) 采购品目： A-货物_A02000000-设备_A02100000-仪器仪表_A02100600-试验仪器及装置 查看详情>>
子层刻蚀系统 项目所在采购意向： 北京大学2024年5月政府采购意向 采购单位： 北京大学 采购项目名称： 原子层刻蚀系统 预算金额： 400.000000万元(人民币) 采购品目： A02330300电子工业生产设备 采购需求概况： 碳基栅叠层项目是为推动碳基芯片的发展而设 查看详情>>
大学（深圳）ALD原子层沉积系统意向公开 采购单位: 哈尔滨工业大学（深圳） 项目名称: ALD原子层沉积系统 预算金额（元）: 1,000,000.000 采购品目: 真空应用设备 采购需求概况: 1.适用于8英寸以及小尺寸样品薄膜沉积；2. 反应腔材质为316L不锈 查看详情>>
验室团簇式PVD及原子层沉积等设备采购采购品目A货物采购需求概况团簇式PVD及原子层沉积等设备采购预算金额（元）9500000预计采购时间2024年04月中小企业预留情况不预留落实政府采购政策功能情况联系人联系电话备注/温州市瓯海科技投资有限公司2024年03月21日 查看详情>>
统，实现从纳米甚至原子层面实时、动态监测电极、电解液及其界面在工况下的微观结构演化、反应动力学、相变、元素价态、化学变化及成分等信息 预计采购时间： 2024-04 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 ,大连,中 查看详情>>
VD设备(1套)、原子层沉积设备(1套)】、扩散设备(1套)，快速热退火炉(1套)。台套数:合计6套 3310000.00 2024-04 本项目仅面向中小企业 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 上海电子信 查看详情>>
采购需求概况: 原子层沉积仪采购 6,100,000元亚微米紫外光刻机采购 3,700,000元氢气纯化器采购 9,760,000元氢气产生器采购 4,900,000元 联系人: 黄老师 联系电话: * 预计采购时间: 2024-03 备注: 无 本次公 查看详情>>
仪表采购需求概况:原子层沉积仪采购 6,100,000元亚微米紫外光刻机采购 3,700,000元氢气纯化器采购 9,760,000元氢气产生器采购 4,900,000元联系人:黄老师联系电话:*预计采购时间:2024-03备注:无本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排 查看详情>>
各类固体材料的表面原子层进行表界面元素及化学态分析，实现能带、价带、费米能级、导带、功函数等电子结构的测量。 预计采购时间： 2024-05 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 ,重庆,重庆 查看详情>>
SiN等功能材料的原子层沉积，可在平片和高深宽比沟槽、微孔阵列内表面制备均匀的纳米级厚度的功能薄膜，适用于超薄、厚度精确、均匀性好、覆盖性好等方面有很高要求的工艺 需满足的要求："1、配备加热和等离子体生长两种模式； 2、前驱体通道：≥4路； 3、制备材料：AlN、TiN、SiN、TaN等介质薄 查看详情>>
SiN等功能材料的原子层沉积，可在平片和高深宽比沟槽、微孔阵列内表面制备均匀的纳米级厚度的功能薄膜，适用于超薄、厚度精确、均匀性好、覆盖性好等方面有很高要求的工艺 需满足的要求："1、配备加热和等离子体生长两种模式； 2、前驱体通道：≥4路； 3、制备材料：AlN、TiN、SiN、TaN等介质薄 查看详情>>
SiN等功能材料的原子层沉积，可在平片和高深宽比沟槽、微孔阵列内表面制备均匀的纳米级厚度的功能薄膜，适用于超薄、厚度精确、均匀性好、覆盖性好等方面有很高要求的工艺 需满足的要求："1、配备加热和等离子体生长两种模式； 2、前驱体通道：≥4路； 3、制备材料：AlN、TiN、SiN、TaN等介质薄 查看详情>>
子层沉积系统 项目所在采购意向： 中国科学院微电子研究所2024年6至10月政府采购意向 采购单位： 中国科学院微电子研究所 采购项目名称： 垂直流热型原子层沉积系统 预算金额： 392.000000万元(人民币) 采购品目： A02330300-电子工业生产设备 采购需求概 查看详情>>
中国科学院大学2024年2至8月政府采购意向-中科院北京纳米能源与系统研究所微纳制造与加工平台/感应耦合等离子体刻蚀机项目电子工业生产设备-预算金额万元人民币
招标预告 | 2024-02-28丨 北京
以实现均匀地、逐个原子层地精确刻蚀，获得极高的刻蚀选择率，是研制高性能氮化镓高电子迁移率晶体管的关键设备。所用的弱等离子体对器件的电学损伤也更小，同时在超薄的二维电子气层上实现原子层级的减薄与刻蚀能极大改善器件的输出性能。目前ALE可实现GaN、AlGaN、Si等材料在原子层精度的图形化刻蚀，是未来 查看详情>>
事件相关电位系统/原子层沉积系统/荧光量子效率测试系统/多源多功能微纳光电器件制备系统/高压原位高分辨稳态光谱测量系统/低温高阻电输运系统/介电材料频谱测试系统/光纤保密通信传输系统/高低温介电测试系统/高质量多功能薄膜磁控溅射系统/X射线衍射仪/5G综测基站/高性能服务器/5G技术原理仿真平台/5 查看详情>>
仪器设备采购项目 原子层气相沉积系统、氦检漏仪，3D纳米功能表面测量系统、高精密切削力测量系统、试验平台等，要求质保2年，售后服务不少于3年，现场培训时间不少于2天，培训人数不少于3人。 260 2024-06 专门面向中小企业 19 天津市高端智能数控机床研究中心仪器设备采购项目 超声音圈电 查看详情>>
子层沉积系统 项目所在采购意向： 北京大学2024年4月政府采购意向 采购单位： 北京大学 采购项目名称： 原子层沉积系统 预算金额： 430.000000万元(人民币) 采购品目： A02100499其他分析仪器 采购需求概况： 该设备用于制备原子层厚度介质薄膜，重点满足高 查看详情>>
子层沉积系统 项目所在采购意向： 清华大学2024年3月政府采购意向 采购单位： 清华大学 采购项目名称： 原子层沉积系统 预算金额： 200.000000万元(人民币) 采购品目： A-货物_A02000000-设备_A02100000-仪器仪表_A02109900-其他仪器仪 查看详情>>
采购项目名称 原子层沉积设备 采购品目 A02100603试验箱及气候环境试验设备 采购需求概况 用于钙钛矿模组的封装及电子传送层制备，用于钙钛矿功能层纳米粒子的包覆改性 预算金额（元） 650000 预计采购时间 2024年02月 中小企业预留情况 中小企业预留 落实 查看详情>>
采购项目名称 原子层沉积设备 采购品目 A02100603试验箱及气候环境试验设备 采购需求概况 用于钙钛矿模组的封装及电子传送层制备，用于钙钛矿功能层纳米粒子的包覆改性 预算金额（元） 650000 预计采购时间 2024年02月 中小企业预留情况 中小 查看详情>>
>（8英寸）原子层沉积设备（1台）； <6>（8英寸）双腔PEALD系统（1台）； <7>（8英寸）热蒸发-电子束蒸发二合一系统（1台）； <8>（8英寸）ITO生长设备（1台）； <9>（8英寸）电感增强化学气相沉积系统（1台）； <10 查看详情>>
