子层沉积设备 项目所在采购意向： 中国科学院青岛生物能源与过程研究所2024年6至12月政府采购意向 采购单位： 中国科学院青岛生物能源与过程研究所 采购项目名称： 原子层沉积设备 预算金额： 180.000000万元(人民币) 采购品目： A02100401电化学分析仪器 查看详情>>
子层沉积设备 项目所在采购意向： 中国科学院上海技术物理研究所2024年5至12月政府采购意向 采购单位： 中国科学院上海技术物理研究所 采购项目名称： 原子层沉积设备 预算金额： 125.000000万元(人民币) 采购品目： A02109900其他仪器仪表 采购需求概况： 查看详情>>
子层沉积系统 项目所在采购意向： 北京大学2024年6月政府采购意向 采购单位： 北京大学 采购项目名称： 原子层沉积系统 预算金额： 200.000000万元(人民币) 采购品目： A02330300电子工业生产设备 采购需求概况： 专门应用于科学研究领域的单原子层沉积系统 查看详情>>
子层沉积炉 项目所在采购意向： 中国科学院半导体研究所2024年5至12月政府采购意向 采购单位： 中国科学院半导体研究所 采购项目名称： 原子层沉积炉 预算金额： 180.000000万元(人民币) 采购品目： A02330300-电子工业生产设备 采购需求概况： 循环周期 查看详情>>
子层沉积系统 项目所在采购意向： 北京大学2024年6月政府采购意向 采购单位： 北京大学 采购项目名称： 原子层沉积系统 预算金额： 200.000000万元(人民币) 采购品目： A02330300电子工业生产设备 采购需求概况： 专门应用于科学研究领域的单原子层沉积系统 查看详情>>
微电子材料只有几个原子层的厚度，离子能量过高则容易损伤或者刻蚀掉材料，因此采用传统的高能量离子注入设备无法对二维微电子材料进行掺杂。此外，二维微电子器件的结构非常复杂和精密，所以需要精确定点的对特定区域进行掺杂注入。提高注入精度也是微电子器件制造工艺的重大需求。总之，该设备是为微电子专线提精细离子注 查看详情>>
子层沉积系统 项目所在采购意向： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2024年4至11月政府采购意向 采购单位： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 采购项目名称： 原子层沉积系统 预算金额： 190.000000万元(人民币) 采购品目： A02339900其他电工、电 查看详情>>
概况： 解决大面积原子层材料转移过程中存在转移效率低、转移精度不高以及界面质量差的技术问题。拟研制一套可以在真空环境下工作且操作简单的低维材料异质集成平台.计划将原位解离制样、自动化样品识别、样品的定位与对准与真空互联平台已经具备的材料外延工艺、表征手段、器件性能评估相结合，从器件工艺和基础原理层面 查看详情>>
子层刻蚀系统 项目所在采购意向： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2024年4至8月政府采购意向 采购单位： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 采购项目名称： 多功能原子层刻蚀系统 预算金额： 850.000000万元(人民币) 采购品目： A02330300电子工业 查看详情>>
子层沉积镀膜机 项目所在采购意向： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2024年4至11月政府采购意向 采购单位： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 采购项目名称： 多进料端口原子层沉积镀膜机 预算金额： 172.000000万元(人民币) 采购品目： A0205240 查看详情>>
子层材料制备设备(MOCVD) 项目所在采购意向： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2024年4月政府采购意向 采购单位： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 采购项目名称： 原子层材料制备设备(MOCVD) 预算金额： 850.000000万元(人民币) 采购品目： 查看详情>>
子层刻蚀机 项目所在采购意向： 清华大学2024年6月政府采购意向 采购单位： 清华大学 采购项目名称： 原子层刻蚀机 预算金额： 400.000000万元(人民币) 采购品目： A-货物_A02000000-设备_A02100000-仪器仪表_A02100600-试验仪器及装置 查看详情>>
子层刻蚀系统 项目所在采购意向： 北京大学2024年5月政府采购意向 采购单位： 北京大学 采购项目名称： 原子层刻蚀系统 预算金额： 400.000000万元(人民币) 采购品目： A02330300电子工业生产设备 采购需求概况： 碳基栅叠层项目是为推动碳基芯片的发展而设 查看详情>>
统，实现从纳米甚至原子层面实时、动态监测电极、电解液及其界面在工况下的微观结构演化、反应动力学、相变、元素价态、化学变化及成分等信息 预计采购时间： 2024-04 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 ,大连,中 查看详情>>
子层沉积系统 项目所在采购意向： 中国科学院微电子研究所2024年6至10月政府采购意向 采购单位： 中国科学院微电子研究所 采购项目名称： 垂直流热型原子层沉积系统 预算金额： 392.000000万元(人民币) 采购品目： A02330300-电子工业生产设备 采购需求概 查看详情>>
中国科学院大学2024年2至8月政府采购意向-中科院北京纳米能源与系统研究所微纳制造与加工平台/感应耦合等离子体刻蚀机项目电子工业生产设备-预算金额万元人民币
招标预告 | 2024-02-28丨 北京
以实现均匀地、逐个原子层地精确刻蚀，获得极高的刻蚀选择率，是研制高性能氮化镓高电子迁移率晶体管的关键设备。所用的弱等离子体对器件的电学损伤也更小，同时在超薄的二维电子气层上实现原子层级的减薄与刻蚀能极大改善器件的输出性能。目前ALE可实现GaN、AlGaN、Si等材料在原子层精度的图形化刻蚀，是未来 查看详情>>
子层沉积系统 项目所在采购意向： 北京大学2024年4月政府采购意向 采购单位： 北京大学 采购项目名称： 原子层沉积系统 预算金额： 430.000000万元(人民币) 采购品目： A02100499其他分析仪器 采购需求概况： 该设备用于制备原子层厚度介质薄膜，重点满足高 查看详情>>
子层沉积系统 项目所在采购意向： 清华大学2024年3月政府采购意向 采购单位： 清华大学 采购项目名称： 原子层沉积系统 预算金额： 200.000000万元(人民币) 采购品目： A-货物_A02000000-设备_A02100000-仪器仪表_A02109900-其他仪器仪 查看详情>>
测量膜厚范围可从单原子层至微,米量级，可用于测量各类薄膜的膜厚及光学参数，满足平台不同材料膜厚及光学参数的测试。,系统应满足可外部施加光、电、磁、热等信号，含定量纳米力学测试模式、电化学原子力,显微镜模块、扫描热显微镜模块，可实现装备防护材料力学性能测试、失效特征表征和失效机,理分析。,(二)主要指 查看详情>>
子层沉积镀膜系统项目所在采购意向：zycgr210713022023年11月政府采购意向采购单位：zycgr21071302采购项目名称：原子层沉积镀膜系统预算金额：1100.000000万元(人民币)采购品目：A02100699-其他试验仪器及装置采购需求概况 ：1、兼容12寸及以下晶圆的薄膜沉积 查看详情>>
采购需求概况：用于原子层沉积技术生产粉末催化剂预计采购时间：2023-10备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。,北京市 查看详情>>
子层沉积ALD系统项目所在采购意向：清华大学2023年10月政府采购意向采购单位：清华大学采购项目名称：原子层沉积ALD系统预算金额：3000.000000万元(人民币)采购品目：A02100699其他试验仪器及装置采购需求概况：三氧化二铝、氧化铪、氮化钛、铪哠氧、铪镧氧等薄膜沉积；厚度均匀性小于3 查看详情>>
子层刻蚀加工系统项目所在采购意向：中国科学院上海技术物理研究所2023年8月政府采购意向采购单位：中国科学院上海技术物理研究所采购项目名称：高精度原子层刻蚀加工系统预算金额：162.000000万元(人民币)采购品目：A021099采购需求概况：刻蚀材料尺寸: 4 英寸高真空度<5x10 mb 查看详情>>
刻蚀、低损伤刻蚀、原子层刻蚀和陡直侧壁的刻蚀。刻蚀材料包括以上各种化合物半导体材料，以及器件和电路工艺中用到的SiN、SiO、AlN、HfO等介质，和各种光刻胶等。F基Cl等不同气氛刻蚀可紧密衔接。具体包括：刻蚀速率：①GaN≥200nm/M 对胶选择比2,对SiO2选择比≥5；②SiN 50-30 查看详情>>
子层沉积系统项目所在采购意向：zycgr210708012023年4至12月政府采购意向采购单位：zycgr21070801采购项目名称：原子层沉积系统预算金额：220.000000万元(人民币)采购品目：A021099其他仪器仪表采购需求概况 ：1. 系统组成：1套沉积主腔，1套进样腔，自动机械手 查看详情>>
子层沉积系统项目所在采购意向：zycgr210708012023年4至12月政府采购意向采购单位：zycgr21070801采购项目名称：等离子体增强原子层沉积系统预算金额：250.000000万元(人民币)采购品目：A021099其他仪器仪表采购需求概况 ：等离子体增强原子层沉积系统，用于高 k介 查看详情>>
子层沉积镀膜仪项目所在采购意向：zycgr210708012023年4至12月政府采购意向采购单位：zycgr21070801采购项目名称：原子层沉积镀膜仪预算金额：450.000000万元(人民币)采购品目：A021099其他仪器仪表采购需求概况 ：1. 加热不锈钢反应腔室 2. 基片尺寸与类型： 查看详情>>
子层沉积系统项目所在采购意向：zycgr210708012023年4至12月政府采购意向采购单位：zycgr21070801采购项目名称：原子层沉积系统预算金额：250.000000万元(人民币)采购品目：A021099其他仪器仪表采购需求概况 ：我们希望购置一台ALD设备，能够实现硅通孔的TiN侧 查看详情>>
2. 等离子增强型原子层沉积系统1台，用于制备氧化铝、氧化铪等薄膜，主要指标：（1）标准 PE 反应腔室， 6 英寸样品；（2）4 路液态前驱体源， 1 路鼓泡前驱体源；（3）极限真空＜5×10-3Torr；（4）ICP 远程等离子体系统；（5）膜厚标准偏差≤± 1%。预计采购时间：2023-05备 查看详情>>
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2023年4至12月政府采购意向-GaN原子层刻蚀-A032103-电子工业专用生产设备-预算金额480.000000万元(人民币)
招标预告 | 2023-03-24丨 北京
子层刻蚀项目所在采购意向：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2023年4至12月政府采购意向采购单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所采购项目名称：GaN原子层刻蚀预算金额：480.000000万元(人民币)采购品目：A032103-电子工业专用生产设备采购需求概况：设备名称：GaN原子层 查看详情>>
子层沉积系统项目所在采购意向：北京大学2023年5月政府采购意向采购单位：北京大学采购项目名称：等离子增强原子层沉积系统预算金额：210.000000万元(人民币)采购品目：A032103电子工业专用生产设备采购需求概况：高K栅介质沉积是提高器件性能的关键工艺，低温下生长高K栅介质是柔性衬底器件的关 查看详情>>
中国科学院物理研究所2023年3月政府采购意向-等离子体增强原子层沉积系统(2023预算22)-A-货物_A02000000-设备_A0-预算金额405.000000万元(人民币)
招标预告 | 2023-03-20丨 北京
子层沉积系统(2023预算22)项目所在采购意向：中国科学院物理研究所2023年3月政府采购意向采购单位：中国科学院物理研究所采购项目名称：等离子体增强原子层沉积系统(2023预算22)预算金额：405.000000万元(人民币)采购品目：A-货物_A02000000-设备_A02100000-仪器 查看详情>>
中国科学院物理研究所2023年3月政府采购意向-原子层沉积镀膜机(2023预算07)-A-货物_A02000000-设备_A0-预算金额175.000000万元(人民币)
招标预告 | 2023-03-20丨 北京
子层沉积镀膜机(2023预算07)项目所在采购意向：中国科学院物理研究所2023年3月政府采购意向采购单位：中国科学院物理研究所采购项目名称：原子层沉积镀膜机(2023预算07)预算金额：175.000000万元(人民币)采购品目：A-货物_A02000000-设备_A02100000-仪器仪表_A 查看详情>>
子层沉积设备项目所在采购意向：中国科学院微电子研究所2023年4至12月政府采购意向采购单位：中国科学院微电子研究所采购项目名称：原子层沉积设备预算金额：150.000000万元(人民币)采购品目：A02330300-电子工业生产设备采购需求概况：在3D IC工艺开发过程中，需要在三维集成工艺中引入 查看详情>>
中国科学院微电子研究所2023年4至12月政府采购意向-超低损伤复杂结构干法刻蚀系统-A02330300-电子工业生产设备-预算金额435.000000万元(人民币)
招标预告 | 2023-02-24丨 北京
50℃；4、可实现原子层级低损伤刻蚀，该模式下最低启辉射频功率5W，刻蚀速率低至1-2nm/min。服务、安全、时限等要求：提供设备验收合格后1年质保。提供符合现场实际情况的设备安装方案。设备订单生成后1年内交货安装完成。预计采购时间：2023-10备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初 查看详情>>
设备项目采购要求：原子层沉积设备货期要求：120天联系方式：李帅*来源网址：点击进入 查看详情>>
教育部申请北京大学原子层沉积系统 采购项目采用单一来源方式采购，项目预算金额 130.0000000 万元（人民币），该项目拟由Veeco Process Equipment Inc.1 Terminal Drive Plainview, NY 11803, USA提供（或承担）。现将有关情况向潜在 查看详情>>
子层沉积ALD设备项目所在采购意向：清华大学2022年12月政府采购意向采购单位：清华大学采购项目名称：原子层沉积ALD设备预算金额：490.000000万元(人民币)采购品目：A02100699其他试验仪器及装置采购需求概况：拟采购原子层沉积ALD设备1台，技术参数需求：1套完整的双腔室ALD系统 查看详情>>
子层沉积系统项目所在采购意向：清华大学2022年12月政府采购意向采购单位：清华大学采购项目名称：原子层沉积系统预算金额：200.000000万元(人民币)采购品目：A02100699其他试验仪器及装置采购需求概况：拟采购原子层沉积系统一套，采购的原子层沉积系统，单片反应腔抽取真空速度在1分钟内达到 查看详情>>
子层沉积设备项目所在采购意向：清华大学2022年12月政府采购意向采购单位：清华大学采购项目名称：晶圆级薄膜原子层沉积设备预算金额：105.000000万元(人民币)采购品目：A02100699其他试验仪器及装置采购需求概况：拟采购晶圆级薄膜原子层沉积设备一套，主要技术参数：内外双区域加热生长硅片腔 查看详情>>
